摩托罗拉
半导体技术资料
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通过MPXL5010 / D
MPXL5010
集成硅压力传感器
片内信号调节，
温度补偿
和校准
该MPXL5010低调系列压阻式传感器是一个国家的最先进的
单片硅压力传感器设计用于广泛的应用范围，但
特别是那些采用微控制器或微处理器与A / D输入。这
专利，单元素传感器结合先进的微机械加工技术，
薄膜金属化，和双极型处理，以提供一种准确，高电平模拟
输出信号产生正比于所施加的压力。
特点
低廓包
5.0 ％，最大误差在0 °到85°C
非常适合于微处理器或微控制器为基础的系统
专利的硅剪应力应变计
可在微分和仪表的配置
也可在承载式车身套件（见MPX5010数据表）
应用实例
医院用床
暖通空调
呼吸道系统
过程控制
VS
2
系列
操作概述
集成
压力传感器
0至10千帕（ 0 1.45 psi）的
0.2至4.7伏特输出
CASE 469-01 ，风格1
CASE 472B -01 ，风格1
X -能器
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
和
增益级＃ 1
3
GND
增益级＃ 2
和
地
参考
位移电路
4
VOUT
引脚1和5至8号连接
CASE 472-01 ，风格1
图1.完全集成压力传感器的原理
1
引脚数
N / C
VS
地
VOUT
5
6
7
8
N / C
N / C
N / C
N / C
2
最大额定值（ 1 ）
参数变化
过压（2）（ P 1 > P2）的
爆裂压力（ 2）（ P 1 > P2）的
储存温度
工作温度
符号
P最高
Pburst
TSTG
TA
价值
75
100
- 40 °C至+ 125 °
- 40 °C至+ 125 °
单位
帕
帕
°C
°C
3
4
注：引脚1 ， 5，6， 7和8是
内部设备的连接。别
连接到外部电路或
地面上。
1， TC = 25 ° C除非另有说明。
2.暴露超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
Senseon和X -能器是Motorola，Inc.的商标。
REV 2
摩托罗拉传感器设备数据
摩托罗拉1997年公司
1
MPXL5010系列
工作特性
（ VS = 5.0伏， TA = 25 ° C除非另有说明， P1 > P2 ）
特征
压力范围（ 1 ）
电源电压（ 2 ）
电源电流
最小压力失调（ 3 ）
@ VS = 5.0伏特
满量程输出（ 4 ）
@ VS = 5.0伏特
满量程（ 5 ）
@ VS = 5.0伏特
Accuracy(6)
灵敏度
响应时间（ 7）
输出源电流满量程输出
预热时间（ 8 ）
偏置稳定性（ 9 ）
去耦图3中，以满足电气规范要求所示的电路中。
（0至85℃ ）
（0至85℃ ）
（0至85℃ ）
（0至85℃ ）
符号
POP
VS
Io
VOFF
Vfso
VFSS
—
V / P
tR
IO +
—
—
民
0
4.75
—
0
4.475
—
—
—
—
—
—
—
典型值
—
5.0
7.0
0.2
4.7
4.5
—
450
1.0
0.1
20
±
0.5
最大
10
5.25
10
0.425
4.925
—
±
5.0
—
—
—
—
—
单位
帕
VDC
MADC
VDC
VDC
VDC
％ VFSS
毫伏/帕
ms
MADC
毫秒
％ VFSS
机械特性
特征
重量，基本元素
符号
—
民
—
典型值
1.5
最大
—
单位
克
注意事项：
1. 1.0千帕（千帕）等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。
3.偏移（ Voff时）被定义为输出电压在最小额定压力。
4.满量程输出（ VFSO ）被定义为输出电压在最大或满额定压力。
5.满量程（ VFSS ）被定义为输出电压之间在全额定压力，并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
6.精度（误差预算）由以下部分组成：
线性：
输出偏离与压力超过规定的压力范围内的直线关系。
温度滞后：在工作温度范围内的任意温度输出偏差后的温度是
循环，并从最小或最大操作温度点，零压差
应用。
压力滞后：
在指定范围内的任何压力输出偏差时，该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力，在25℃下。
TcSpan ：
输出偏差在0 °至85℃ ，相对于25 ℃的温度范围内。
TcOffset ：
与最小额定压力输出偏差施加，在0 °至85 ℃的温度范围内，相对
至25℃ 。
变异的名义：从标称值，偏移和满量程的变化，作为VFSS的百分比，在25 ℃。
当经受7.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化，从10％至到90 ％，其最终值的
指定的步骤的变化压力。
8.预热被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后，所需的产物的时间。
9.偏置稳定性是产品的输出偏差时，受到1000小时脉冲压力，温度循环有偏差测试。
2
摩托罗拉传感器设备数据
MPXL5010系列
片上温度补偿，校准和信号调理
图2示出了差分/计传感芯片中
基本的薄型封装（案例469 ） 。氟硅凝胶
隔离模具表面和引线键从环境，
同时使压力信号被传输到森
SOR隔膜。
该MPXL5010系列压力传感器工作字符
开创性意义，以及内部的可靠性和资格测试
根据使用的干燥空气作为压力介质。媒体，其他
较干燥的空气，可对传感器的性能产生不利影响
和长期可靠性。与工厂联系信息
就在你的应用程序的介质兼容性。
图3示出了用于连接一个典型的去耦电路
集成传感器与微处理器的A / D输入。
建议适当的去耦电源。
图4示出了输出信号相对于所述传感器到压力
请务必输入。典型的，最小和最大输出曲线
示工作在0°到的温度范围内
85 ℃下使用下面的去耦电路。 （输出将卫星 -
指定的压力范围之外的尿酸盐）。
不锈钢
金属盖
DIE
P1
氟硅有机
模涂
引线键合
图2横截面图
（不按比例）
输出（V ）
摩托罗拉传感器设备数据
环氧情况
引线框架
5.0
传递函数为：
4.5 V = V * （ 0.09 * P + 0.04 ）
±
错误
输出S
4.0 VS = 5.0伏
TEMP = 0 85 ℃下
3.5
3.0
2.5
2.0
1.5
1.0
0.5
0
0
1
2
最大
民
典型
MPXL5010
产量
（引脚4 ）
50 pF的
51 k
A / D
处理器
图3.典型的去耦滤波的传感器来
微处理器接口
4
5
6
8
3
7
压差（千帕）
9
10
11
图4.输出与差压
3
MPXL5010系列
传递函数（ MPXL5010 ）
标称传输值：
VOUT = VS ×（ 0.09 X P + 0.04 ）
标称传输值：
±
（压力误差X温度系数X 0.09 X VS ）
标称传输值：
VS = 5.0 V
±
0.25伏
温度误差带
MPXL5010系列
4.0
3.0
温度
错误
因素
2.0
1.0
0.0
–40
–20
0
20
40
60
80
100
120
140
温度
– 40
0到85
+125
倍增器
3
1
3
在C°温度
注：该温度乘数是从0°线性响应至-40 ℃，并从85°至125°C 。
压力误差带
0.5
0.4
0.3
压力
错误
（千帕）
0.2
0.1
0
–0.1
–0.2
–0.3
–0.4
–0.5
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
压（kPa ）
MPXL5010系列
压力
0至10千帕
误差（最大值）
±
0.5千帕
4
摩托罗拉传感器设备数据
MPXL5010系列
压力（ P 1 ） /真空（P2）的侧面识别表
摩托罗拉表示压力传感器的双方
作为压力（ P1）侧和真空（P2）的一侧。该
压力（P1）的一侧是含有氟硅凝胶的侧
其保护免受环境的模头。摩托罗拉
压力传感器被设计为具有正differen-操作
TiAl金属施加压力， P1 > P2 。
订购信息
该MPXL5010压力传感器是在差动和计配置。设备在基本的元素可用
包换包或带压口接头。
MPXL系列
设备名称
I N
MPXL5010G7U
MPXL5010G8U
MPXL5010GC7U
选项
O I
没有港口， 84 °弯铅
没有端口， 4直导线
轴向端口， 84 °弯铅
案例类型
C
T
472
469
472B
送货方式
管（套包）
管（套包）
管（套包）
器件标识
MPXL5010G
MPXL5010G
MPXL5010G
摩托罗拉传感器设备数据
5
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