飞思卡尔半导体公司
技术参数
MPXA6115A
REV 3 , 01/2007
高温度精度
集成硅压力传感器
用于测量绝对压力,
片内信号调节,
温度补偿和
CALIBRATED
该MPXA6115A / MPXH6115A系列传感器集成了片上,双极性运算
放大器电路和薄膜电阻器网络,以提供较高的输出信号和
温度补偿。小巧的外形和内部的高可靠性
整合使压力传感器的逻辑和经济的选择了
系统设计师。
该MPXA6115A / MPXH6115A系列压阻式传感器是国家OF-
最先进的单片,信号调理,硅压力传感器。该传感器
结合先进的微机械加工技术,薄膜金属化,并
双极型半导体加工以提供精确的,高水平的类似物
输出信号,该信号正比于施加的压力。
图1
示出内部电路集成在一个框图
压力传感器芯片。
特点
高温提高了精度
可在小型和超小型封装
1.5 %,最大误差在0 °到85°C
非常适合于微处理器或微控制器为基础的系统
从-40温度补偿, + 125C
耐用的热塑性塑料( PPS )表面贴装封装
MPXA6115A
MPXH6115A
系列
集成压力传感器
15 115千帕( 2.2 16.7磅)
0.2 4.8 V的输出
小外形封装
MPXA6115A6U / 6T1 MPXA6115C6U / C6T1
CASE 482A -01
CASE 482-01
小外形封装
PIN号码
(1)
1
2
3
4
N / C
V
S
GND
V
OUT
5
6
7
8
N / C
N / C
N / C
N / C
典型应用
航空高度表
工业控制
发动机控制/歧管绝对压力( MAP)
气象站和天气报告设备气压表
订购信息
设备
TYPE
选项
例
号
MPX系列
订单号
填料
选项
设备
记号
1.引脚1 ,5,6 ,7,和图8是内部设备
连接。不要连接到外部
电路或接地。销1被表示为
缺口处于领先地位。
超小尺寸封装
MPXH6115A6U/6T1
CASE 1317至1304年
MPXH6115AC6U/C6T1
CASE 1317A -03
小外形封装
BASIC
元素
移植
元素
绝对的,只有元素
绝对的,只有元素
绝对的,轴向港
绝对的,轴向港
482
482
482A
482A
MPXA6115A6U
MPXA6115A6T1
MPXA6115AC6U
MPXA6115AC6T1
轨道
磁带&卷轴
轨道
磁带&卷轴
MPXA6115A
MPXA6115A
MPXA6115A
MPXA6115A
超小尺寸封装
PIN号码
(1)
1
2
3
N / C
V
S
GND
V
OUT
5
6
7
8
N / C
N / C
N / C
N / C
超小尺寸封装
BASIC
元素
移植
元素
绝对的,只有元素
绝对的,只有元素
绝对的,轴向港
绝对的,轴向港
1317
1317
MPXH6115A6U
MPXH6115A6T1
轨道
磁带&卷轴
轨道
磁带&卷轴
MPXH6115A
MPXH6115A
MPXH6115A
MPXH6115A
4
1317A MPXH6115AC6U
1317A MPXH6115AC6T1
1.引脚1 ,5,6 ,7,和图8是内部设备
连接。不要连接到外部
电路或接地。销1被表示为
缺口领先
飞思卡尔半导体公司2007年版权所有。
V
S
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
和
增益级# 1
增益级# 2
和地面
参考
移
电路
V
OUT
GND
引脚1 , 5 , 6 , 7 ,和8号连接
图1.完全集成压力传感器的原理
表1.最大额定值
(1)
等级
最大压力( P1 > P2 )
储存温度
工作温度
输出源电流@满量程输出
(2)
输出灌电流@最小压力失调
(2)
符号
P
最大
T
英镑
T
A
I
o
+
I
o
-
价值
400
-40 ℃至+ 125 ℃
-40 ℃至+ 125 ℃
0.5
-0.5
单位
帕
°C
°C
MADC
MADC
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
2.最大输出电流从V有效阻抗控制
OUT
到GND或V
OUT
到V
S
在应用电路中。
MPXA6115A
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
表2.工作特性
(V
S
= 5.0伏,T
A
= 25℃,除非另有说明, P1 > P2)的
特征
压力范围
电源电压
(1)
电源电流
最小压力失调
(2)
@ V
S
= 5.0伏特
满量程输出
(3)
@ V
S
= 5.0伏特
满量程
(4)
@ V
S
= 5.0伏特
准确性
(5)
灵敏度
响应时间
(6)
预热时间
(7)
偏移稳定性
(8)
1.设备是在这个特定的激励范围比例。
2.补偿(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
3.满量程输出(V
FSO
)被定义为输出电压在最大或满额定压力。
4.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
5.精度是作为跨度的百分比的偏差在从标称输出实际输出在整个压力范围和温度范围
在25℃时,由于错误包括以下的所有源:
线性度:
输出偏离与压力超过规定的压力范围内的直线关系。
温度滞后:在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差,在温度循环到
和从最小或最大操作温度点,零压差施加。
压力滞后:
在指定范围内的任意压力,当此压力被循环到并从最小输出偏差
或最大额定在25℃下的压力。
TcSpan :
输出偏差在0 °至85℃ ,相对于25 ℃的温度范围内。
TcOffset :
以最小的压力输出偏差施加,在0 °至85℃ ,相对于25 ℃的温度范围内。
当受到6.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定步骤压力的变化。
7.预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后,所需的产物的时间。
8.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000次脉冲压力,温度循环有偏差测试。
(0至85℃ )
(0至85℃ )
(0至85℃ )
(0至85℃ )
符号
P
OP
V
S
I
o
V
关闭
V
FSO
V
FSS
—
V / P
t
R
—
—
民
15
4.75
-
0.133
4.633
4.433
—
—
—
—
—
典型值
—
5.0
6.0
0.200
4.700
4.500
—
45.9
1.0
20
±0.25
最大
115
5.25
10
0.268
4.768
4.568
±1.5
—
—
—
—
单位
帕
VDC
MADC
VDC
VDC
VDC
%V
FSS
毫伏/帕
ms
ms
%V
FSS
MPXA6115A
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
.
+5.0 V
DIE
P1
不锈
钢帽
热塑性
例
V
S
销2
MPXA6115A
MPXH6115A
V
OUT
引脚4
GND引脚3
ABSOLUTE元
SEALED真空参考
DIE BOND
47 pF的
到了ADC
氟硅有机
GEL模涂
引线键合
领导
FRAME
100 nF的
51 K
图2剖视图的SSOP (不按比例)
图3.典型应用电路
(输出源电流操作)
5.0
4.5
4.0
3.5
输出(伏)
3.0
2.5
2.0
1.5
1.0
0.5
0
传递函数为:
V
OUT
= V
s
* ( 0.009 * P - 0.095 ) ±错误
V
S
= 5.0伏
TEMP = 0 85 ℃下
最大
典型值
民
图4.输出与绝对压力
图2
示出了在基本的绝对传感芯片
超小外形封装芯片载体(案例1317 ) 。
科幻gure 3
显示了一个典型应用电路(输出源
当前的操作) 。
图4
示出了相对于传感器输出信号
压力输入。典型的最小和最大输出
曲线示工作在0至85℃的温度
范围内。的输出将饱和的额定压力的外
范围内。
氟硅凝胶隔离模具表面和引线键合
从环境中,同时允许所述压力信号,以
被发送给硅膜片。该MPXA6115A /
MPXH6115A系列压力传感器工作
特性,内部的可靠性和资格测试
根据使用的干燥空气作为压力介质。其他媒体
较干燥的空气可能对传感器的性能产生不利影响
和长期可靠性。与工厂联系信息
就在你的应用程序的介质兼容性。
MPXA6115A
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
105
110
115
120
压力(参考:以密封真空)以kPa
传递函数( MPXA6115A / MPXH6115A )
标称传输值:
VOUT = VS ×( 0.009 X P - 0.095 )
± (压力误差X温度系数X 0.009 X VS )
VS = 5.0 ± 0.25伏
温度误差带
4.0
3.0
温度
错误
因素
2.0
1.0
0.0
-40
-20
0
MPXA6115A / MPXH6115A系列
断点
温度
- 40
0到85
125
倍增器
3
1
1.75
20
40
60
80
100
120
140
在C°温度
注:该温度乘数是从0℃到-40 ℃,并从85 ℃至125 ℃的线性响应
压力误差带
3.0
2.0
压力误差(千帕)
1.0
0.0
-1.0
-2.0
-3.0
压力
15 115 (千帕)
误差(最大值)
± 1.5 (千帕)
20
40
60
80
100
120
压力(千帕)
误差极限压力
MPXA6115A
传感器
飞思卡尔半导体公司
5
压力
飞思卡尔半导体公司
高温度精度
集成硅压力传感器
用于测量绝对压力,
片内信号调节,
温度补偿和
CALIBRATED
该MPXxx6115A系列传感器集成了片上,双极运算放大器
电路和薄膜电阻器网络,以提供较高的输出信号和
温度补偿。小巧的外形和导通可靠性高
芯片集成使压力传感器的逻辑和经济的选择
为系统设计师。
该MPXxx6115A系列压阻式传感器是一个国家的最先进的,
单片信号调节,硅压力传感器。该传感器结合
先进的微机械加工技术,薄膜金属化,和双极
半导体加工以提供精确的,高水平的模拟输出
信号正比于施加的压力。
MPXA6115A
第5版, 10/2009
MPXA6115A
MPXH6115A
MPXHZ6115A
系列
15 115千帕( 2.2 16.7磅)
0.2 4.8 V的输出
应用实例
航空高度表
工业控制
发动机控制/歧管绝对
压(MAP)
气象站和天气
报告设备气压表
特点
耐高湿度和普通汽车媒体
高温提高了精度
可在小型和超小型封装
1.5 %,最大误差在0 °到85°C
非常适合于微处理器或微控制器为基础的系统
从-40温度补偿, + 125C
耐用的热塑性塑料( PPS )表面贴装封装
订购信息
例
号
无
小外形封装( MPXA6115A系列)
设备名称
#端口
单身
双
规
压力式
迪FF erential
绝对
设备
记号
MPXA6115A
MPXA6115A
MPXA6115A
MPXA6115A
MPXA6115A
MPXAZ6115A
MPXAZ6115A
MPXAZ6115A
MPXAZ6115A
MPXAZ6115A
MPXH6115A
MPXH6115A
MPXH6115A
MPXH6115A
MPXA6115A6U
482
MPXA6115A6T1
482
MPXA6115AC6U
482A
MPXA6115AC6T1
482A
MPXA6115AC7U
482C
小外形封装(媒体凝胶抗) ( MPXAZ6115A系列)
MPXAZ6115A6U
482
MPXAZ6115AC6U
482A
MPXAZ6115AC6T1
482A
MPXAZ6115AP
1369
MPXAZ6115APT1
1369
超小外形封装( MPXH6115A系列)
MPXH6115A6U
MPXH6115A6T1
MPXH6115AC6U
MPXH6115AC6T1
1317
1317
1317A
1317A
飞思卡尔半导体公司, 2007-2009 。版权所有。
压力
订购信息
小外形封装(媒体凝胶抗) ( MPXHZ6115A系列)
MPXHZ6115A6U
MPXHZ6115A6T1
MPXHZ6115AC6U
MPXHZ6115AC6T1
1317
1317
1317A
1317A
MPXHZ6115A
MPXHZ6115A
MPXHZ6115A
MPXHZ6115A
小外形封装
MPXA6115A6U/T1
MPXAZ6115A6U
CASE 482-01
MPXA6115AC6U/T1
MPXAZ6115AC6U/T1
CASE 482A -01
MPXA6115AC7U
CASE 482C -03
MPXAZ6115AP/T1
CASE 1369至01年
超小型封装
MPXH6115A6U/T1
MPXHZ6115A6U/T1
CASE 1317至1304年
MPXH6115AC6U/T1
MPXHZ6115AC6U/T1
CASE 1317A -04
MPXA6115A
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
压力
工作特性
表1.工作特性
(V
S
= 5.0伏,T
A
= 25℃,除非另有说明, P1 > P2)的
特征
压力范围
电源电压
(1)
电源电流
最小压力失调
(2)
@ V
S
= 5.0伏特
满量程输出
(3)
@ V
S
= 5.0伏特
满量程
(4)
@ V
S
= 5.0伏特
准确性
(5)
灵敏度
响应时间
(6)
预热时间
(7)
偏移稳定性
(8)
1.设备是在这个特定的激励范围比例。
2.补偿(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
3.满量程输出(V
FSO
)被定义为输出电压在最大或满额定压力。
4.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
5.精度是作为跨度的百分比的偏差在从标称输出实际输出在整个压力范围和温度范围
在25℃时,由于错误包括以下的所有源:
线性度:从与压力超过规定的压力范围内的直线关系输出偏差。
温度滞后:在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差,温度之后被循环到并
从最小或最大操作温度点,零压差施加。
压力滞后:在指定范围内的任意压力输出的偏差,当此压力被循环到并从最小或
最大额定压力在25℃ 。
TcSpan :在0 °至85℃ ,相对于25 ℃的温度范围内的输出偏差。
TcOffset :以最小的压力输出偏差施加,在0 °至85℃ ,相对于25 ℃的温度范围内。
当受到6.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定步骤压力的变化。
7.预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后,所需的产物的时间。
8.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000次脉冲压力,温度循环有偏差测试。
(0至85℃ )
符号
P
OP
V
S
I
o
V
关闭
V
FSO
V
FSS
—
V / P
t
R
—
—
民
15
4.75
—
0.133
典型值
—
5.0
6.0
0.200
最大
115
5.25
10
0.268
单位
帕
VDC
MADC
VDC
(0至85℃ )
4.633
4.700
4.768
VDC
(0至85℃ )
4.433
4.500
4.568
VDC
(0至85℃ )
—
—
—
—
—
—
45.9
1.0
20
±0.25
±1.5
—
—
—
—
%V
FSS
毫伏/帕
ms
ms
%V
FSS
MPXA6115A
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
压力
最大额定值
表2.最大额定值
(1)
等级
最大压力( P1 > P2 )
储存温度
工作温度
输出源电流@满量程输出
(2)
输出灌电流@最小压力失调
(2)
符号
P
最大
T
英镑
T
A
I
o
+
I
o
-
价值
400
-40 ℃至+ 125 ℃
-40 ℃至+ 125 ℃
0.5
-0.5
单位
帕
°C
°C
MADC
MADC
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
2.最大输出电流从V有效阻抗控制
OUT
到GND或V
OUT
到V
S
在应用电路中。
图1
示出内部电路上集成的压力传感器芯片的框图。
V
S
2
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
和
增益级# 1
增益级# 2
和地面
参考
移
电路
4
V
OUT
3
GND
引脚1 , 5 , 6 , 7 ,和8号连接
图1.完全集成压力传感器的原理
MPXA6115A
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
压力
片上温度补偿和校准
图2
示出了在基本的绝对传感芯片
超小外形封装芯片载体(案例1317 ) 。
科幻gure 3
显示了一个典型应用电路(输出源
当前的操作) 。
图4
示出了相对于传感器输出信号
压力输入。典型的最小和最大输出
曲线示工作在0°至85℃的温度
范围内。的输出将饱和的额定压力的外
范围内。
氟
GEL模涂
P1
氟硅凝胶隔离模具表面和引线键合
从环境中,同时允许所述压力信号,以
被发送给硅膜片。该MPXxx6115A
系列压力传感器的工作特性,内部
可靠性和鉴定试验是基于使用的干燥空气作为
压力介质。媒体比干燥空气等都有可能
对传感器的性能和长期的不利影响
可靠性。该工厂有关的信息媒体联系
在你的应用程序的兼容性。
不锈
钢帽
热塑性
例
DIE
引线键合
领导
FRAME
ABSOLUTE元
SEALED真空参考
DIE BOND
图2剖视图的SSOP / SOP(不按比例)
+5.0 V
V
S
销2
100 nF的
MPXxx6115A
V
OUT
引脚4
GND引脚3
47 pF的
51 K
到了ADC
图3.典型应用电路
(输出源电流操作)
5.0
4.5
4.0
3.5
输出(伏)
3.0
2.5
2.0
1.5
1.0
0.5
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
105
110
115
120
压力(参考:以密封真空)以kPa
0
民
传递函数为:
V
OUT
= V
s
* ( 0.009 * P - 0.095 ) ±错误
V
S
= 5.0伏
TEMP = 0 85 ℃下
最大
典型值
图4.输出与绝对压力
MPXA6115A
传感器
飞思卡尔半导体公司
5