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摩托罗拉

半导体技术资料

订购此文件

由MPX7200 / D

200千帕

高寻，片上温度

补偿&校准

硅压力传感器

MPX7200

系列

摩托罗拉的首选设备

新MPX7200系列压力传感器采用的所有创新功能

摩托罗拉MPX2000系列家族，包括专利，单压阻式应变

计（X -能器）和片上温度补偿和校准。此外，该

MPX7200系列具有通常为10kΩ的那些便携式，低的高输入阻抗

电源和电池供电应用。此装置适用于这些系统中

该用户必须拥有一个不会消耗一个可靠，精确的压力传感器

显著的力量。该MPX7200系列设备是一个合乎逻辑的和经济的选择

应用，例如便携式医疗仪器，遥感系统与

4 - 20毫安传输和现场气压计/高度计。

0到200千帕（ 0 29 psi）的

40 mV的满量程

（典型值）

特点

温度补偿在0 ° C至+ 85°C

独特的硅剪应力应变计

易于使用的芯片载体封装选项

提供绝压，差压和表压配置

供电电压成正比

0.25 ％，线性度（ MPX7200D ）

应用实例

便携式医疗仪器

现场高度表

现场气压表

图1示出的独立的压力，内部电路的示意

传感器芯片。

薄膜

温度

赔偿金

和

校准

电路

基本CHIP

载体部件

CASE 344-15 ，风格1

迪FF erential

端口选项

CASE 344C -01 ，风格1

注： 1脚是缺口引脚。

高

寻

X -能器

传感

元素

VOUT +

VOUT =

引脚数

GND

+ VOUT

ΔVOUT

GND

图1.温度补偿压力传感器的原理

电压输出与应用差压

在X -能器的差分电压输出正比于差分

施加压力。

绝对传感器具有一个内置的基准真空。输出电压将减小

如真空，相对于周围环境，被描绘在压力（P1）的一侧。

的随差分或测量传感器的输出电压增加

压力施加到相对于真空（P2）侧的压力（P1）的一侧。同样，

输出电压随着增大施加真空至真空（P2）的侧

相对于压力（P1）的一侧。

首选

设备是摩托罗拉建议以供将来使用和最佳的总体值的选择。

Senseon和X -能器是Motorola，Inc.的商标。

REV 3

摩托罗拉传感器设备数据

摩托罗拉1997年公司

MPX7200系列

最大额定值

等级

过压（8）（ P 1 > P2）的

爆破压力（ 8 ）（ P1 > P2 ）

储存温度

工作温度

符号

P最高

Pburst

TSTG

价值

400

2000

- 40 + 125

单位

帕

°C

工作特性

（ VS = 10 VDC ， TA = 25 ° C除非另有说明， P1 > P2 ）

特征

压力范围（ 1 ）

电源电压（ 2 ）

电源电流

满量程（ 3 ）

Offset(4)

灵敏度

Linearity(5)

压力滞后（ 5）（ 0至200千帕）

温度迟滞（ 5 ）（ - 40 ° C至+ 125°C ）

在满量程温度影响（ 5 ）

温度效应所抵消（ 5 ）

输入阻抗

输出阻抗

响应时间（ 6）

热身

偏置稳定性（ 9 ）

MPX7200D

MPX7200A

MPX7200A ， MPX7200D

MPX7200D

MPX7200A

符号

POP

VFSS

VOFF

ΔV / ΔP

—

TCVFSS

TCVoff

寻

ZOUT

—

民

—

38.5

–1.0

– 2.0

—

– 0.25

– 1.0

—

–1.0

5000

2500

—

典型值

—

1.0

—

0.2

—

0.1

0.5

—

1.0

0.5

最大

200

—

41.5

1.0

2.0

—

0.25

1.0

—

1.0

15,000

6000

—

单位

帕

VDC

MADC

毫伏/帕

％ VFSS

机械特性

特征

重量（基本元素案例344-15 ）

共模线压力（ 7 ）

符号

—

民

—

典型值

2.0

—

最大

—

690

单位

克

帕

注意事项：

1. 1.0千帕（千帕）等于0.145磅。

2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外

错误，由于设备自身的发热。

3.满量程（ VFSS ）被定义为输出电压之间在全额定压力，并在该代数差的输出电压

最小额定压力。

4.偏移（ Voff时）被定义为输出电压在最小额定压力。

5.精度（误差预算）由以下部分组成：

线性：

从具有压力的直线关系输出偏差，采用终点法，通过所指定的

压力范围。

温度滞后：在工作温度范围内的任意温度输出偏差后的温度是

循环，并从最小或最大操作温度点，零压差

应用。

压力滞后：

在指定范围内的任何压力输出偏差时，该压力被循环到并从

最小或最大的额定压力，在25℃下。

TcSpan ：

输出偏差超过0 85 ℃的温度范围内充分的额定压力，相对于25 ℃。

TcOffset ：

与最小额定压力输出偏差施加，在0的温度范围内，以85 ℃，相对

至25℃ 。

当经受6.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化，从10％至到90 ％，其最终值的

指定的步骤的变化压力。

超出规定7.共模的压力可能会导致泄漏的情况下对引线接口。

8.接触超过这些限制可能造成永久性损坏或退化到设备。

9.偏置稳定性是产品的输出偏差时，受到千小时脉冲压力，温度循环有偏差测试。

摩托罗拉传感器设备数据

MPX7200系列

线性

线性度是指传感器输出有多好如下

公式：输出电压= Voff的+药敏X P在工作

压力范围。有两种基本的方法来计算

非线性：（1）端点的直线拟合（见图2）或（2）

最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出

的“最佳情况”的线性误差（低级数值），则

所需的计算是沉重的负担。

相反地，一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误

（通常多在误差预算计算期望的）和

计算更加简单明了的用户。摩托罗拉

指定的压力传感器非线性是基于端

点直线法测得的中端压力

肯定。

最小二乘法拟合

相对电压输出

夸大

性能

曲线

至少

方

偏差

直线

偏差

终点

直线拟合

OFFSET

压力（％满量程）

100

图2.线性度规格比较

片上温度补偿和校准

图3示出了MPX7200的输出特性

系列，在25℃ 。的输出是正比于昼夜温差

髓鞘压力和基本上是一条直线。

温度对满量程和失调的影响

是非常小的，并在工作Characteris-显示

抽动。

OUTPUT （ MVDC ）

–5

帕0

PSI

VS = 10 VDC

TA = 25°C

P1 P2 >

最大

典型值

跨度

范围

（典型值）

民

7.25

125

100

14.5

压力

150

21.75

175

200

OFFSET

图3.输出与差压

硅凝胶

模涂

引线键合

引线框架

差分/压力表元

DIE

BOND

引线框架

图4的横截面图（不按比例）

图4示出了绝对传感结构（右）

并在基本芯片的差分或测量仪配置

载体（案例344-15 ）。有机硅凝胶隔离模具表面

和引线键从环境中，同时允许压力

确认信号将被发送到的硅膜片。

该MPX7200系列压力传感器工作字符

开创性意义和内在的可靠性和资格测试

根据使用的干燥空气作为压力介质。其他媒体

较干燥的空气可能对传感器perfor-不良影响

曼斯和长期可靠性。联系工厂IN-

就在你的应用程序的介质兼容性的形成。

摩托罗拉传感器设备数据

ABSOLUTE元

差分/压力表

不锈钢

DIE

金属盖

环氧树脂

例

硅凝胶绝对

模涂

DIE

不锈钢

金属盖

环氧树脂

例

DIE

BOND

MPX7200系列

压力（ P 1 ） /真空（P2）的侧面识别表

摩托罗拉表示压力传感器的双方

作为压力（ P1）侧和真空（P2）的一侧。该

压力（P1）的一侧是含有聚硅氧烷凝胶的侧

它可以隔离来自环境的模具。微分

和式传感器被设计为具有正differ-操作

产品型号

MPX7200A

MPX7200DP

MPX7200AP

MPX7200GVP

MPX7200AS

MPX7200ASX

MPX7200GVSX

MPX7200GSX

MPX7200GP

MPX7200D

无穷区间施加的压力， P1 > P2 。绝对的传感器是DE-

签署应用到P1侧真空。

的压力（ P1）的一侧可以通过使用被识别

下表：

案例类型

344–15C

344C–01

344B–01

344D–01

344E–01

344F–01

344G–01

高压侧（ P1 ）标识符

不锈钢帽

方用最热

方用端口连接

不锈钢帽

方用端口连接

不锈钢帽

订购信息

MPX7200系列压力传感器是绝对的，微分和仪表的配置。设备可用

基本要素包或带压口接头，其提供的印刷电路板安装方便和刺喉

压力连接。

MPX系列

设备类型

I T

基本元素

移植的要素

选项

O I

绝压，差压

迪FF erential

绝压

真空压力表

绝对的，火炉管

绝压推力

真空压力表轴向

案例类型

CASE 344-15

CASE 344C -01

CASE 344B -01

CASE 344D -01

CASE 344E -01

CASE 344F -01

CASE 344G -01

订单号

MPX7200A

MPX7200D

MPX7200DP

MPX7200AP

MPX7200D

MPX7200GVP

MPX7200AS

MPX7200ASX

MPX7200GSX

MPX7200GVSX

器件标识

MPX7200A

MPX7200D

MPX7200DP

MPX7200AP

MPX7200GP

MPX7200GVP

MPX7200A

MPX7200D

摩托罗拉传感器设备数据

MPX7200系列

包装尺寸

注意事项：

–A–

销1

积极

压力（P1）的

1.尺寸和公差符合ASME

Y14.5M ， 1994年。

2.控制尺寸：英寸。

3.尺寸-A-是包容的模具

止动环。模具止动环不超过

16.00 (0.630).

英寸

民

最大

0.595

0.630

0.514

0.534

0.200

0.220

0.016

0.020

0.048

0.064

0.100 BSC

0.014

0.016

0.695

0.725

喃

0.475

0.495

0.430

0.450

MILLIMETERS

民

最大

15.11

16.00

13.06

13.56

5.08

5.59

0.41

0.51

1.22

1.63

2.54 BSC

0.36

0.40

17.65

18.42

喃

12.07

12.57

10.92

11.43

–T–

座位

飞机

积极

压力

(P1)

4 PL

0.136 (0.005)

T A

暗淡

风格1 ：

PIN 1 。

地

+输出

+电源

=输出

CASE 344-15

ISSUE W

座位

飞机

–T–

端口＃ 1

积极

压力

(P1)

–A–

注意事项：

1.尺寸和公差符合ANSI

Y14.5, 1982.

2.控制尺寸：英寸。

英寸

民

最大

1.145

1.175

0.685

0.715

0.305

0.325

0.016

0.020

0.048

0.064

0.100 BSC

0.182

0.194

0.014

0.016

0.695

0.725

0.290

0.300

0.420

0.440

0.153

0.159

0.153

0.159

0.230

0.250

0.220

0.240

0.910 BSC

MILLIMETERS

民

最大

29.08

29.85

17.40

18.16

7.75

8.26

0.41

0.51

1.22

1.63

2.54 BSC

4.62

4.93

0.36

0.41

17.65

18.42

7.37

7.62

10.67

11.18

3.89

4.04

3.89

4.04

5.84

6.35

5.59

6.10

23.11 BSC

–Q–

1 2

3 4

销1

4 PL

0.13 (0.005)

–P–

0.25 (0.010)

暗淡

吨s

风格1 ：

PIN 1 。

地

+输出

+电源

=输出

CASE 344B -01

问题B