摩托罗拉
半导体技术资料
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由MPX7050 / D
50千帕
高寻,片上温度
补偿&校准
硅压力传感器
新MPX7050系列压力传感器采用的所有创新功能
摩托罗拉MPX2000系列家族,包括专利,单压阻式应变
计(X -能器)和片上温度补偿和校准。此外,该
MPX7050系列具有通常为10kΩ的那些便携式,低的高输入阻抗
电源和电池供电应用。此装置适用于这些系统中
该用户必须拥有一个不会消耗一个可靠,精确的压力传感器
显著的力量。该MPX7050系列设备是一个合乎逻辑的和经济的选择
应用,如便携式医疗仪器和遥感系统
4 - 20毫安传输。
特点
温度补偿在0 ° C至+ 85°C
独特的硅剪应力应变计
易于使用的芯片载体封装选项
可在微分和仪表的配置
供电电压成正比
±
0.25 %线性度
应用实例
便携式医疗仪器
遥感系统
图1示出的内部电路上的独立压力的示意
传感器芯片。
VS
3
薄膜
温度
赔偿金
和
校准
电路
MPX7050
系列
0至50千帕( 0 7.25 psi)的
40 mV的满量程
(典型值)
基本CHIP
载体部件
CASE 344-15 ,风格1
迪FF erential
端口选项
CASE 344C -01 ,风格1
注: 1脚是缺口引脚。
高
寻
X -能器
传感
元素
2
4
引脚数
VOUT +
VOUT =
1
2
GND
+ VOUT
3
4
VS
ΔVOUT
1
GND
图1.温度补偿压力传感器的原理
电压输出与应用差压
在X -能器的差分电压输出正比于差分
施加压力。
的随差分或测量传感器的输出电压增加
压力施加到压力侧(P1)相对于所述真空侧(P2) 。同样,
输出电压随着增加真空施加到真空侧(P2)的
相对于所述压力侧(P1)。
Senseon和X -能器是Motorola,Inc.的商标。
REV 3
摩托罗拉传感器设备数据
摩托罗拉1997年公司
1
MPX7050系列
最大额定值
等级
过压(8)( P 1 > P2)的
爆破压力( 8 ) ( P1 > P2 )
储存温度
工作温度
符号
P最高
Pburst
TSTG
TA
价值
200
500
- 40 + 125
- 40 + 125
单位
帕
帕
°C
°C
工作特性
( VS = 10 VDC , TA = 25 ° C除非另有说明, P1 > P2 )
特征
压力范围( 1 )
电源电压( 2 )
电源电流
满量程( 3 )
Offset(4)
灵敏度
Linearity(5)
压力滞后( 5)( 0至50千帕)
温度迟滞( 5 ) ( - 40 ° C至+ 125°C )
在满量程温度影响( 5 )
温度效应所抵消( 5 )
输入阻抗
输出阻抗
响应时间( 6) (10%至90%)的
热身
偏置稳定性( 9 )
符号
POP
VS
Io
VFSS
VOFF
ΔV / ΔP
—
—
—
TCVFSS
TCVoff
寻
ZOUT
tR
—
—
民
0
—
—
38.5
–1.0
—
–0.25
—
—
–1.0
–1.0
5000
2500
—
—
—
典型值
—
10
1.0
40
—
0.80
—
±
0.1
±
0.5
—
—
—
—
1.0
20
±
0.5
最大
50
16
—
41.5
1.0
—
0.25
—
—
1.0
1.0
15,000
6000
—
—
—
单位
帕
VDC
MADC
mV
mV
毫伏/帕
% VFSS
% VFSS
% VFSS
% VFSS
mV
ms
ms
% VFSS
机械特性
特征
重量(基本元素案例344-15 )
共模线压力( 7 )
符号
—
—
民
—
—
典型值
2.0
—
最大
—
690
单位
克
帕
注意事项:
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误,由于设备自身的发热。
3.满量程( VFSS )被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移( Voff时)被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度(误差预算)由以下部分组成:
线性:
从具有压力的直线关系输出偏差,采用终点法,通过所指定的
压力范围。
温度滞后:在工作温度范围内的任意温度输出偏差后的温度是
循环,并从最小或最大操作温度点,零压差
应用。
压力滞后:
在指定范围内的任何压力输出偏差时,该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力,在25℃下。
TcSpan :
输出偏差超过0 85 ℃的温度范围内充分的额定压力,相对于25 ℃。
TcOffset :
与最小额定压力输出偏差施加,在0的温度范围内,以85 ℃,相对
至25℃ 。
当经受6.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定的步骤的变化压力。
超出规定7.共模的压力可能会导致泄漏的情况下对引线接口。
8.接触超过这些限制可能造成永久性损坏或退化到设备。
9.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
2
摩托罗拉传感器设备数据
MPX7050系列
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式:输出电压= Voff的+药敏X P在工作
压力范围。有两种基本的方法来计算
非线性:(1)端点的直线拟合(见图2)或(2)
最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出
的“最佳情况”的线性误差(低级数值),则
所需的计算是沉重的负担。
相反地,一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
(通常多在误差预算计算期望的)和
计算更加简单明了的用户。摩托罗拉
指定的压力传感器非线性是基于端
点直线法测得的端
压力。
最小二乘法拟合
相对电压输出
夸大
性能
曲线
至少
方
偏差
直线
偏差
终点
直线拟合
OFFSET
0
50
压力( %满量程)
100
图2.线性度规格比较
片上温度补偿和校准
图3示出了MPX7050的输出特性
系列,在25℃ 。的输出是正比于昼夜温差
髓鞘压力和基本上是一条直线。
温度对满量程的影响
偏移量是非常小的,并在工作列
的特点。
40
35
OUTPUT ( MVDC )
30
25
20
15
10
5
0
–5
帕0
PSI
VS = 10 VDC
TA = 25°C
P1 P2 >
最大
典型值
跨度
范围
(典型值)
民
硅胶
模涂
引线键合
DIE
P1
不锈钢
金属盖
环氧树脂
例
引线框架
12.5
1.83
25
3.63
37.5
5.44
50
7.3
OFFSET
(典型值)
图3.输出与差压
图4示出了差分或测量仪配置
在基本芯片载体(事例344-15 ) 。有机硅凝胶异
鲈从环境的模具表面和引线键合,
同时使压力信号被传输到SIL-
图标隔膜。
该MPX7050系列压力传感器工作字符
开创性意义和内在的可靠性和资格测试
根据使用的干燥空气作为压力介质。其他媒体
较干燥的空气可能对传感器perfor-不良影响
曼斯和长期可靠性。联系工厂IN-
就在你的应用程序的介质兼容性的形成。
摩托罗拉传感器设备数据
差分/压力表元
P2
RTV DIE
BOND
图4横截面图
(不按比例)
3
MPX7050系列
压力( P 1 ) /真空(P2)的侧面识别表
摩托罗拉表示压力传感器的双方
作为压力( P1)侧和真空(P2)的一侧。该
压力(P1)的一侧是含有聚硅氧烷凝胶的侧
它可以隔离来自环境的模具。摩托罗拉
MPX的压力传感器被设计为具有正操作
差压应用, P1 > P2 。
的压力( P1)的一侧可以通过使用被识别
下表:
压力(P1)的
侧标识
不锈钢帽
方用最热
方用端口连接
不锈钢帽
方用端口连接
不锈钢帽
方用端口连接
不锈钢帽
产品型号
MPX7050D
MPX7050DP
MPX7050GP
MPX7050GVP
MPX7050GS
MPX7050GVS
MPX7050GSX
MPX7050GVSX
案例类型
344–15C
344C–01
344B–01
344D–01
344E–01
344A–01
344F–01
344G–01
订购信息
MPX7050系列压力传感器是差分和仪表的配置。器件采用基本
元件封装或带压口接头,其提供的印刷电路板安装方便和刺喉的压力
连接。
MPX系列
I T
设备类型
基本元素
移植的要素
迪FF erential
差分,双端口
规
压力表,真空
计,炉灶管
压力表,真空炉管
压力表,轴向
压力表,真空推力
O I
选项
C
T
案例类型
CASE 344-15
CASE 344C -01
CASE 344B -01
CASE 344D -01
CASE 344E -01
CASE 344A -01
CASE 344F -01
CASE 344G -01
订单号
MPX7050D
MPX7050DP
MPX7050GP
MPX7050GVP
MPX7050GS
MPX7050GVS
MPX7050GSX
MPX7050GVSX
器件标识
MPX7050D
MPX7050DP
MPX7050GP
MPX7050GVP
MPX7050D
MPX7050D
MPX7050D
MPX7050D
4
摩托罗拉传感器设备数据