摩托罗拉
半导体技术资料
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通过MPX700 / D
700千帕
无偿
硅压力传感器
该MPX700系列器件的硅压阻式压力传感器提供了一个非常
准确和线性电压输出 - 正比于所施加的压力。这
标准，成本低，未补偿的传感器允许制造商设计和添加
自己的外部温度补偿和信号调理网络。
因为摩托罗拉的单一的可预测性补偿技术简化
元应变计的设计。
特点
低成本
专利的硅剪应力应变仪的设计
线性度
±
0.5 ％ （最大值）线性
易于使用的芯片载体封装选项
供电电压成正比
60 mV量程（典型值）
绝压，差压和表压选项
应用实例
环境控制系统
气动控制系统
家电
汽车性能的控制
医疗器械
工业控制
图1示出的独立的压力，内部电路的示意
传感器芯片。
3脚
+ VS
MPX700
系列
0 700千帕（ 0 - 100 psi）的
60 mV的满量程
（典型值）
基本CHIP
载体部件
CASE 344-15 ，风格1
迪FF erential
端口选项
CASE 344C -01 ，风格1
注： 1脚是缺口引脚。
销2
+ VOUT
X -能器
引脚4
- Vout的
销1
1
2
引脚数
GND
+ VOUT
3
4
VS
ΔVOUT
图1.未补偿压力传感器原理图
电压输出与应用差压
在X -能器的差分电压输出正比于差分
施加压力。
绝对传感器具有一个内置的基准真空。输出电压将减小
如真空，相对于周围环境，被描绘在压力（P1）的一侧。
的随差分或测量传感器的输出电压增加
压力施加到相对于真空（P2）侧的压力（P1）的一侧。同样，
输出电压随着增大施加真空至真空（P2）的侧
相对于压力（P1）的一侧。该传感器被设计用于的应用，其中P1是
总是大于或等于P2 。
Senseon和X -能器是Motorola，Inc.的商标。
第5版
摩托罗拉传感器设备数据
摩托罗拉1997年公司
1
MPX700系列
最大额定值
v
1大气压）
爆破压力（ 8 ） （ P2
v
1大气压）
超压（ 8 ） （ P2
储存温度
工作温度
等级
符号
P1max
P1burst
TSTG
TA
价值
2800
5000
- 40 + 125
- 40 + 125
单位
帕
帕
°C
°C
工作特性
（ VS = 3.0伏， TA = 25 ℃，除非另有说明。 P1
特征
压力范围（ 1 ）
电源电压（ 2 ）
电源电流
满量程（ 3 ）
Offset(4)
灵敏度
Linearity(5)
压力滞后（ 5）（ 0至700千帕）
温度迟滞（ 5 ） （ - 40 ° C至+ 125°C ）
满量程的温度系数（ 5 ）
温度系数补偿（ 5 ）
电阻温度系数（5）
输入阻抗
输出阻抗
响应时间（ 6） （10％至90％）的
热身（ 7 ）
MPX700D
MPX700A
符号
POP
VS
Io
VFSS
VOFF
ΔV / ΔP
—
—
—
TCVFSS
TCVoff
TCR
寻
ZOUT
tR
—
w
P2; P2
v
1个大气压。 ）
典型值
—
3.0
6.0
60
20
86
—
—
±
0.1
±
0.5
—
±15
—
—
—
1.0
20
最大
700
6.0
—
90
35
—
0.5
1.0
—
—
– 0.15
—
0.4
550
1800
—
—
单位
帕
VDC
MADC
mV
mV
μV /千帕
％ VFSS
％ VFSS
％ VFSS
VFSS ％ /°C的
μV/°C
寻％ /°C的
ms
ms
0
—
—
民
45
0
—
– 0.5
– 1.0
—
—
– 0.21
—
0.34
400
750
—
—
机械特性
特征
重量（基本元素，案例344-15 ）
符号
—
民
—
典型值
2.0
最大
—
单位
克
注意事项：
1. 1.0千帕（千帕）等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误，由于设备自身的发热。
3.满量程（ VFSS ）被定义为输出电压之间在全额定压力，并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移（ Voff时）被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度（误差预算）由以下部分组成：
线性：
从具有压力的直线关系输出偏差，采用终点法，通过所指定的
压力范围。
温度滞后：在工作温度范围内的任意温度输出偏差后的温度是
循环，并从最小或最大操作温度点，零压差
应用。
压力滞后：
在指定范围内的任何压力输出偏差时，该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力，在25℃下。
TcSpan ：
输出偏差超过0 85 ℃的温度范围内充分的额定压力，相对于25 ℃。
TcOffset ：
与最小额定压力输出偏差施加，在0的温度范围内，以85 ℃，相对
至25℃ 。
TCR ：
最小额定压力寻偏差应用，超过该温度范围 - 40 ° C至+ 125°C ，
相对于25 ℃。
当经受6.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化，从10％至到90 ％，其最终值的
指定的步骤的变化压力。
7.预热被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后所需的设备的时间。
仅8基本要素，案例344-15 。
9. P2最大： 500千帕。
2
摩托罗拉传感器设备数据
MPX700系列
温度补偿
图2示出了典型的输出特性
MPX700系列温度。
在X -能器压阻式压力传感器元件是一个
半导体装置，其给出的电输出信号
正比于施加在装置中的压力。这DE-
副采用了独特的横向电压扩散semiconduc-
器的应变计这是在一个产生的应力敏感
薄的硅膜片上所施加的压力。
因为此应变片是硅的一个组成部分
隔膜，没有温度的影响由于differ-
在应变仪和所述的热膨胀分配办法
振膜，因为常常在粘贴式应变计遭遇
压力传感器。的应变。然而，性能
测量本身是依赖于温度的，要求的
装置进行温度补偿，如果它是被使用过
广泛的温度范围内。
温度补偿和偏置校准即可
取得了较简单的附加电阻元件
80
70
OUTPUT （ MVDC ）
60
50
40
30
20
10
0
PSI 0
帕
20
140
40
60
80
560
OFFSET
（典型值）
100
700
– 40°C
MPX700
VS = 3伏直流
P1 P2 >
或者通过设计使用MPX2700系列系统
传感器。
有几种方法来外部温度补偿
化过两种 - 40至+ 125 ° C和0 + 80 ℃的范围
摩托罗拉在提交申请注AN840 。
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式：输出电压= Voff的+药敏X P在工作
压力范围（图3） 。有两种基本的方法来
计算非线性：（1）端点的直线拟合或（2）一
最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出了
“最好情况”的线性误差（低级数值），则校准 -
需要算结果是沉重的负担。
相反地，一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
（通常多在误差预算计算期望的）和
计算更加简单明了的用户。摩托罗拉
指定的压力传感器非线性是基于端
点直线法测得的端
压力。
70
线性
+ 25°C
跨度
范围
（典型值）
50
OUTPUT （ MVDC ）
实际
40
30
20
10
0
0
压（kPa ）
理论
OFFSET
（ VOFF ）
最大
POP
跨度
（ VFSS ）
+ 125°C
280
420
压力差
图2.输出与差压
图3.线性度规格比较
硅凝胶
模涂
引线键合
引线键合
引线框架
差分/压力表元
P2
DIE
BOND
引线框架
图4的横截面图（不按比例）
图4示出了差分或测量仪配置
在基本芯片载体（事例344-15 ） 。有机硅凝胶异
鲈从环境的模具表面和引线键合，
同时使压力信号被传输到SIL-
图标隔膜。
该MPX700系列压力传感器工作character-
istics和内部的可靠性和鉴定试验的基础
在使用干燥空气作为压力介质。媒体比干其他
空气可能对传感器的性能和副作用
长期可靠性。工厂的信息，请联系重新
褒贬应用程序中的介质兼容性。
摩托罗拉传感器设备数据
ABSOLUTE元
P2
差分/压力表
不锈钢
DIE
金属盖
P1
环氧树脂
例
硅凝胶绝对
模涂
DIE
P1
不锈钢
金属盖
环氧树脂
例
DIE
BOND
3
MPX700系列
压力（ P 1 ） /真空（P2）的侧面识别表
摩托罗拉表示压力传感器的双方
作为压力（ P1）侧和真空（P2）的一侧。该
压力（P1）的一侧是含侧硅氧烷凝胶哪个
隔离环境中的管芯。差分或
计传感器的设计与积极的工作差
产品型号
MPX700A ， MPX700D
MPX700DP
MPX700AP ， MPX700GP
MPX700GVP
MPX700AS ， MPX700GS
MPX700ASX ， MPX700GSX
MPX700GVSX
案例类型
344–15C
344C–01
344B–01
344D–01
344E–01
344F–01
344G–01
施加的压力， P1 > P2 。绝对传感器的设计
真空施加到P1侧。
的压力（ P1）的一侧可以通过使用被识别
表上的如下：
压力（ P1 ）侧面标识
不锈钢帽
方用最热
方用端口连接
不锈钢帽
方用端口连接
方用端口连接
不锈钢帽
订购信息
MPX700系列压力传感器是差分和仪表的配置。器件采用基本
元件封装或带压口接头，其提供的印刷电路板安装方便和刺喉的压力
连接。
MPX系列
设备类型
I T
基本元素
移植的要素
选项
O I
绝压，差压
迪FF erential
绝压
真空压力表
绝压炉管
绝压推力
真空压力表轴向
案例类型
C
T
CASE 344-15
CASE 344C -01
CASE 344B -01
CASE 344D -01
CASE 344E -01
CASE 344F -01
CASE 344G -01
订单号
MPX700A
MPX700D
MPX700DP
MPX700AP
MPX700GP
MPX700GVP
MPX700AS
MPX700GS
MPX700ASX
MPX700GSX
MPX700GVSX
器件标识
MPX700A
MPX700D
MPX700DP
MPX700AP
MPX700GP
MPX700GVP
MPX700A
MPX700D
MPX700A
MPX700D
MPX700D
4
摩托罗拉传感器设备数据
QQ：2880707522 复制
