飞思卡尔半导体公司
技术参数
MPX5100
转10 ， 05/2005
集成硅压力传感器
片内信号调节，
温度补偿，以及
CALIBRATED
该MPX5100系列压阻式传感器是国家的最先进的单片
硅压力传感器设计用于广泛的应用范围，但特别是
那些采用微控制器或微处理器与A / D输入。这
专利，单元素传感器结合先进的微机械加工
技术中，薄膜金属化，和双极处理，以提供一种准确，
高电平模拟输出信号，该信号正比于所施加的压力。
特点
2.5 ％，最大误差在0 °到85°C
非常适合于微处理器或微控制器为基础的系统
专利的硅剪应力应变计
提供绝压，差压和表压配置
耐用的环氧树脂承载式车身元素
易于使用芯片载体选项
病人监护
过程控制
泵/电机控制
压力魔力
S
订购信息
设备
TYPE
选项
例
号
867
867
867C
867B
867B
867F
482A
482C
1351
MPX系列订单
器件标识
数
MPX5100A
MPX5100D
MPX5100DP
MPX5100AP
MPX5100GP
MPX5100GSX
MPXV5100GC6U
MPX5V100GC7U
MPXV5100DP
MPX5100A
MPX5100D
MPX5100DP
MPX5100AP
MPX5100GP
MPX5100D
MPXV5100G
MPXV5100G
MPXV5100
MPX5100/MPXV5100
系列
集成压力传感器
0 100千帕（ 0 14.5 psi）的
15 115千帕
（ 2.2至16.7磅）
0.2 4.7 V输出
小外形封装
MPXV5100GC6U
CASE 482A -01
MPXV5100GC7U
CASE 482C -03
典型应用
MPXV5100DP
CASE 1351至01年
引脚数
(1)
1
2
3
4
N / C
V
S
GND
V
OUT
5
6
7
8
N / C
N / C
N / C
N / C
UNIBODY包装（ MPX5100系列）
BASIC
绝对
元素的差异
移植
差分双端口
元素绝对，单端口
计，单端口
压力表，轴向PC山
压力表，轴向港， SMT
压力表，轴向港， DIP
压力表，双端口， SMT
1.引脚1 ，5，6 ，7，和图8是内部设备
连接。不要连接到外部
电路或接地。 1脚注意到由
缺口处于领先地位。
引脚数
(1)
1
2
3
V
OUT
GND
V
S
4
5
6
N / C
N / C
N / C
1.销4 ，图5，和图6是内部设备
连接。不要连接到外部
电路或接地。 1脚注意到
缺口处于领先地位。
UNIBODY套餐
MPX5100A/D
CASE 867-08
MPX5100GSX
CASE 867F -03
MPX5100AP/GP
CASE 867B -04
MPX5100DP
CASE 867C -05
飞思卡尔半导体公司2005年版权所有。
V
S
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
和增益
STAGE ＃ 1
增益级＃ 2
和地面
参考
位移电路
V
OUT
GND
引脚1和5至8是没有连接的小外形封装
引脚4,5和6是未连接的一体式机身包
图1.完全集成压力传感器的原理
表1.最大额定值
(1)
等级
最大压力（ P1 > P2 ）
储存温度
工作温度
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
400
-40 °C至+ 125°C
-40 °C至+ 125°C
单位
帕
°C
°C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
表2.工作特性
(V
S
= 5.0 V
DC
, T
A
= 25 ° C除非另有说明， P1 > P2 。在显示去耦电路
图4
为满足电气规范要求。 ）
特征
压力范围
(1)
表压，差压： MPX5100D / MPX5100G / MPXV5100G
绝对的： MPX5100A
电源电压
(2)
电源电流
最小压力失调
(3)
@ V
S
= 5.0 V
满量程输出
(4)
@ V
S
= 5.0 V
满量程
(5)
@ V
S
= 5.0 V
准确性
(6)
灵敏度
响应时间
(7)
输出源电流满量程输出
预热时间
(8)
偏移稳定性
(9)
1.
2.
3.
4.
5.
（0至85℃ ）
差分和绝对（ 0至85°C ）
差分和绝对（ 0至85°C ）
符号
P
OP
民
0
15
4.75
—
0.088
4.587
—
—
—
—
—
—
—
典型值
—
—
5.0
7.0
0.20
4.700
4.500
—
45
1.0
0.1
20
±0.5
最大
100
115
5.25
10
0.313
4.813
—
±2.5
—
—
—
—
—
单位
帕
V
S
I
O
V
关闭
V
FSO
V
FSS
—
V / P
t
R
I
O+
—
—
V
DC
MADC
V
DC
V
DC
V
DC
%V
FSS
毫伏/帕
ms
MADC
ms
%V
FSS
0.1千帕（千帕）等于0.145磅。
设备是在这个特定的激励范围比例。
偏移量（ V
关闭
）被定义为输出电压在最小额定压力。
满量程输出（V
FSO
）被定义为输出电压在最大或满额定压力。
满量程（V
FSS
）被定义为输出电压之间在全额定压力，并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
6.精度（误差预算）由以下部分组成：
线性度：
输出偏离与压力超过规定的压力范围内的直线关系。
温度滞后：在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差，在温度循环到
和从最小或最大操作温度点，零压差施加。
压力滞后：
在指定范围内的任意压力，当此压力被循环到并从最小输出偏差
或最大额定在25℃下的压力。
TcSpan ：
输出偏差在0 °至85℃ ，相对于25 ℃的温度范围内。
TcOffset ：
输出偏差与施加在0°的温度范围内，以85 ℃的最小压力，相对于25 ℃。
从标称变化：从标称值，偏移和满量程的变化，作为V的百分比
FSS
在25℃ 。
MPX5100
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
当sugected到7.响应时间定义为在时间中的输出变化的增量从10％至到90 ％其最终值的
指定的步骤的变化压力。
8.预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后，所需的产物的时间。
9.偏置稳定性是产品的输出偏差时，受到1000小时脉冲压力，温度循环有偏差测试。
片上温度补偿，校准和信号调理
图2
示出了相对于传感器输出信号
压力输入。典型的，最小和最大输出
曲线示工作在一个温度范围内
示出在使用去耦电路0°到85℃
图4中。
的输出将饱和的指定压力的外
范围内。
科幻gure 3
说明两者的差异/计及
绝对传感芯片在基本芯片载体（案例867 ） 。一
氟硅凝胶分离物从模具表面和引线键合
的环境，同时使压力信号是
传递给传感器隔膜。
该MPX5100系列压力传感器工作
特点和内部的可靠性和鉴定试验
是基于使用的干燥空气作为压力介质。媒体
较干燥的空气等，可对传感器的不利影响
性能和长期的可靠性。联系工厂
就在你的应用程序的介质兼容性信息。
不锈钢
金属盖
环氧塑封
例
5
4
输出Voltabe （ V）
3
2
1
民
100
110
（典型值）
OFFSET
10
20
30
40
50
60
0
70
80
90
0
跨度范围（典型值）
环氧塑封
例
DIE BOND
V
OUT
= V
S
*(0.009*P+0.04)
± （压力误差*温度系数* 0.009 * V
S
V
S
= 5.0 V± 0.25伏
PE = 2.5
TM = 1
TEMP = 0 85 ℃下
最大
典型值
压（kPa ）
图2.输出与差压
氟
GEL模涂
引线键合
DIE
氟硅凝胶
模涂
引线键合
DIE
不锈钢
金属盖
引线框架
DIE BOND
差分/压力表元
引线框架
ABSOLUTE元
图3的剖视图（不按比例）
图4
示出了用于推荐的去耦电路
接口的集成传感器的输出到A / D输入
的微处理器或微控制器。适当的去耦
电源被推荐的。
+5.0
V
V
OUT
Vs
IPS
1.0
F
0.01
F
GND
产量
470 pF的
图4.推荐的电源去耦和输出滤波
（有关更多的输出滤波，请参考应用笔记AN1646 ）。
MPX5100
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
输出范围（典型值）
传递函数（ MPX5100D ， MPX5100G ， MPXV5100G
标称传输值：
V
OUT
VS = （P X 0.009 + 0.04 ）
± （压力误差X温度MULT英寸x 0.009 x垂直
S
)
V
S
= 5.0 V± 5 ％P帕
温度误差倍增
MPX5100D / MPX5100G / MPXV5100G系列
断点
温度
- 40
0至85 ℃的
+125°
倍增器
3
1
3
4.0
3.0
2.0
1.0
0.0
-40
-20
0
20
40
60
在° C温度
80
100
120
140
注：该温度乘数是从0°线性响应至-40 ℃，并从85°至125°C 。
压力误差带
3.0
2.0
错误（千帕）
1.0
0.0
-1.0
-2.0
-3.0
MPX5100D / MPX5100G / MPXV5100G系列
误差极限压力
0
20
40
60
80
100
120
压力，以kPa
压力
0 100千帕
误差（最大值）
±2.5千帕
MPX5100
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
传递函数（ MPX5100A ）
标称传输值：
V
OUT
= V
S
（P X 0.009 + 0.095 ）
± （压力误差X温度MULT英寸x 0.009 x垂直
S
)
V
S
= 5.0 V± 5 ％P帕
温度误差倍增
MPX5100A系列
断点
温度
倍增器
- 40
0至85 ℃的
+125°
3
1
3
4.0
3.0
2.0
1.0
0.0
-40
-20
0
20
40
60
80
100
120
130
140
在° C温度
注：该温度乘数是从0°线性响应至-40 ℃，并从85°至125°C 。
压力误差带
3.0
2.0
错误（千帕）
1.0
0.0
-1.0
-2.0
-3.0
0
20
MPX5100A系列
误差极限压力
40
60
80
100
130
压力，以kPa
压力
15 115千帕
误差（最大值）
±2.5千帕
MPX5100
传感器
飞思卡尔半导体公司
5
飞思卡尔半导体公司
摩托罗拉
半导体技术资料
订单号： MPX5100 / D
第9版， 3/2004
集成硅压力传感器
片内信号调节，
温度补偿
和校准
该MPX5100 / MPXV5100系列压阻式传感器是国家OF-
最先进的单片硅压力传感器设计用于各种各样的应用程序
阳离子，但特别是那些采用一个微控制器或微处理器
与A / D输入。这项专利，单件传感器结合了先进的
微机械加工技术，薄膜金属化，和双极处理
提供正比于一个精确的，高水平的模拟输出信号
施加的压力。
MPX5100/MPXV5100
系列
集成压力传感器
迪FF erential
绝对
0 100千帕（ 0 14.5 psi）的
15 115千帕（ 2.18至16.68磅）
0.2至4.7伏特输出
小尺寸
包
UNIBODY包装
飞思卡尔半导体公司...
特点
2.5 ％，最大误差在0 °到85°C
非常适合于微处理器或微控制器为基础的
系统
专利的硅剪应力应变计
提供绝压，差压和表压配置
非常适用于汽车和非汽车应用
V
S
MPX5100D
CASE 867
MPXV5100GC6U
CASE 482A
MPX5100DP
CASE 867C
薄膜
温度
赔偿金
和
增益级＃ 1
增益级＃ 2
和
地
参考
位移电路
传感
元素
MPXV5100GC7U
V
OUT
CASE 482C
GND
引脚1和5至8号连接
小外形封装
引脚4 ， 5和6是未连接FOR
UNIBODY包装
1
2
3
4
MPX5100GSX
CASE 867F
引脚数
N / C
V
S
GND
V
OUT
5
6
7
8
N / C
N / C
N / C
N / C
1
2
3
引脚数
V
OUT
GND
V
S
4
5
6
N / C
N / C
N / C
图1.完全集成压力传感器的原理
注：引脚1，5， 6，7，和
8顷内部设备
连接。别
连接到外部
电路或接地。 PIN1是
通过在切口注意到
导致。
注：引脚4,5 ，和6
是内部设备
连接。别
连接到外部
电路或接地。 PIN1是
通过在切口注意到
导致。
摩托罗拉公司2004年
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飞思卡尔半导体公司
MPX5100 / MPXV5100系列
表1.最大额定值
（注）
等级
最大压力（ P1 > P2 ）
储存温度
工作温度
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
400
-40 °C至+ 125 °
-40 °C至+ 125 °
单位
帕
°C
°C
注意：
曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
在图4所示必需的，以满足电气规范。 ）
特征
压力范围
(1)
表压，差压： MPX5100D / MPX5100G / MPXV5100G
绝对的： MPX5100A
表2.工作特性
(V
S
= 5.0伏，T
A
= 25 ° C除非另有说明， P1 > P2 。去耦电路
符号
P
OP
V
S
I
o
（0至85℃ ）
V
关闭
V
FSO
V
FSS
—
V / P
t
R
I
o+
—
—
民
0
15
4.75
—
0.088
4.587
—
—
—
—
—
—
—
典型值
—
—
5.0
7.0
0.20
4.700
4.500
—
45
1.0
0.1
20
± 0.5
最大
100
115
5.25
10
0.313
4.813
—
± 2.5
—
—
—
—
—
单位
帕
VDC
MADC
VDC
VDC
VDC
%V
FSS
毫伏/帕
ms
MADC
ms
%V
FSS
飞思卡尔半导体公司...
电源电压
(2)
电源电流
最小压力失调
(3)
@ V
S
= 5.0伏特
满量程输出
(4)
差分和绝对（ 0至85°C ）
@ V
S
= 5.0伏特
满量程
(5)
@ V
S
= 5.0伏特
准确性
(6)
灵敏度
响应时间
(7)
输出源电流满量程输出
预热时间
(8)
偏移稳定性
(9)
差分和绝对（ 0至85°C ）
注意事项：
1.
2.
3.
4.
5.
6.
7.
8.
9.
1.0kPa （千帕）等于0.145磅。
设备是在这个特定的激励范围比例。
偏移量（ V
关闭
）被定义为输出电压在最小额定压力。
满量程输出（V
FSO
）被定义为输出电压在最大或满额定压力。
满量程（V
FSS
）被定义为输出电压之间在全额定压力，并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
精度（误差预算）由以下部分组成：
线性度：
输出偏离与压力超过规定的压力范围内的直线关系。
温度滞后：在工作温度范围内的任意温度输出偏差后的温度是
循环，并从最小或最大操作温度点，零压差
应用。
压力滞后：
在指定范围内的任意压力，当此压力被循环到并从输出偏差
最小或最大的额定压力，在25℃ 。
TcSpan ：
输出偏差在0 °至85℃ ，相对于25 ℃的温度范围内。
TcOffset ：
以最小的压力输出偏差施加，在0 °至85℃ ，相对于25 ℃的温度范围内。
从标称变化：从标称值，偏移和满量程的变化，作为V的百分比
FSS
在25℃ 。
当经受一个响应时间定义为在时间为输出中的增量变化，从10％至到90 ％，其最终值的
指定步骤压力的变化。
预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后，所需的产物的时间。
偏置稳定性是产品的输出偏差时，受到1000小时脉冲压力，温度循环有偏差测试。
表3.机械特性
特征
重量，基本元素（案例867 ）
重量，基本元素（案例482 ）
典型值
4.0
1.5
单位
克
克
2
摩托罗拉传感器设备数据
摩托罗拉
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飞思卡尔半导体公司
MPX5100 / MPXV5100系列
片上温度补偿，校准和信号调理
图2示出了传感器的输出信号相对于压力
输入。典型的，最小和最大输出曲线
示出工作在0°的温度范围内，以85 ℃的
使用图4的输出中所示的去耦电路将
饱和指定的压力范围之外。
图3示出两个差分/计和Abso-
琵琶传感芯片在基本芯片载体（案例867 ） 。一氟
有机硅凝胶可隔离模具表面和引线键合
的环境中，同时允许所述压力信号，以待发送
泰德到传感器隔膜。
该MPX5100 / MPXV5100系列压力传感器工作
特点和内部的可靠性和资格测试
根据使用的干燥空气作为压力介质。媒体，其他
较干燥的空气，可对传感器的性能产生不利影响
和长期可靠性。工厂的信息，请联系重新
褒贬应用程序中的介质兼容性。
图4示出了用于IN-推荐的去耦电路
terfacing集成传感器的输出来的A / D输入
微处理器或微控制器。适当的去耦
电源的建议。
图1 。
传递函数MPX5100D / MPX5100G / MPXV5100G系列
5
V
OUT
= V
S
×（ 0.009 X P + 0.04 ）
± （压力误差X温度因子x 0.009 x垂直
S
)
V
S
= 5.0 V± 0.25伏
PE = 2.5
TM = 1
温度= 0-85 ℃，
飞思卡尔半导体公司...
输出电压（V）
3
典型
2
最大
民
1
0
0
10
20
30
40
50
60
70
80
90
100
110
压（kPa ）
OFFSET
（典型值）
图2.输出与差压
氟硅有机
GEL模涂
引线键合
不锈钢
金属盖
氟硅有机
GEL模涂
不锈钢
金属盖
环氧塑封
例
DIE
DIE
环氧塑封
引线键合
例
引线框架
差分/压力表元
DIE
BOND
引线框架
ABSOLUTE元
输出范围（典型值）
4
跨度范围（典型值）
DIE
BOND
图3的横截面图
（不按比例）
+5 V
V
OUT
V
S
IPS
1.0
F
0.01
F
GND
470 pF的
产量
图4.推荐的电源去耦和输出滤波
（有关更多的输出滤波，请参考应用笔记AN1646 ）
摩托罗拉
摩托罗拉传感器设备数据
3
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飞思卡尔半导体公司
MPX5100 / MPXV5100系列
传递函数（ MPX5100D ， MPX5100G ， MPXV5100G ）
标称传输值：
V
OUT
= V
S
（P X 0.009 + 0.04 ）
± （压力误差X温度MULT英寸x 0.009 x垂直
S
)
V
S
= 5.0 V± 5 ％P帕
温度误差倍增
MPX5100D / MPX5100G / MPXV5100G系列
4.0
3.0
温度乘数
–40
3
0到85
1
+125
3
飞思卡尔半导体公司...
2.0
1.0
0.0
–40
–20
0
20
40
60
80
在° C温度
100
120
130
140
注：该温度乘数是从0°线性响应至-40 ℃，并从85°至125°C 。
压力误差带
MPX5100D / MPX5100G / MPXV5100G系列
误差极限压力
3.0
2.0
错误（千帕）
1.0
0.0
–1.0
–2.0
–3.0
0
压力，以kPa
20
40
60
80
100
120
压力
0 100千帕
误差（最大值）
±2.5千帕
4
摩托罗拉传感器设备数据
摩托罗拉
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飞思卡尔半导体公司
MPX5100 / MPXV5100系列
传递函数（ MPX5100A ）
标称传输值：
V
OUT
= V
S
（P X 0.009 - 0.095 ）
± （压力误差X温度MULT英寸x 0.009 x垂直
S
)
V
S
= 5.0 V± 5 ％P帕
温度误差倍增
MPX5100A系列
4.0
3.0
温度乘数
–40
3
0到85
1
+125
3
飞思卡尔半导体公司...
2.0
1.0
0.0
–40
–20
0
20
40
60
80
100
120
130
140
在° C温度
注：该温度乘数是从0°线性响应至-40 ℃，并从85°至125°C 。
压力误差带
MPX5100A系列
误差极限压力
3.0
2.0
错误（千帕）
1.0
0.0
-1.0
-2.0
-3.0
0
20
压力，以kPa
40
60
80
100
130
压力
15 115千帕
误差（最大值）
±2.5千帕
摩托罗拉
摩托罗拉传感器设备数据
5
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飞思卡尔半导体公司
摩托罗拉
半导体技术资料
订单号： MPX5100 / D
第9版， 3/2004
集成硅压力传感器
片内信号调节，
温度补偿
和校准
该MPX5100 / MPXV5100系列压阻式传感器是国家OF-
最先进的单片硅压力传感器设计用于各种各样的应用程序
阳离子，但特别是那些采用一个微控制器或微处理器
与A / D输入。这项专利，单件传感器结合了先进的
微机械加工技术，薄膜金属化，和双极处理
提供正比于一个精确的，高水平的模拟输出信号
施加的压力。
MPX5100/MPXV5100
系列
集成压力传感器
迪FF erential
绝对
0 100千帕（ 0 14.5 psi）的
15 115千帕（ 2.18至16.68磅）
0.2至4.7伏特输出
小尺寸
包
UNIBODY包装
飞思卡尔半导体公司...
特点
2.5 ％，最大误差在0 °到85°C
非常适合于微处理器或微控制器为基础的
系统
专利的硅剪应力应变计
提供绝压，差压和表压配置
非常适用于汽车和非汽车应用
V
S
MPX5100D
CASE 867
MPXV5100GC6U
CASE 482A
MPX5100DP
CASE 867C
薄膜
温度
赔偿金
和
增益级＃ 1
增益级＃ 2
和
地
参考
位移电路
传感
元素
MPXV5100GC7U
V
OUT
CASE 482C
GND
引脚1和5至8号连接
小外形封装
引脚4 ， 5和6是未连接FOR
UNIBODY包装
1
2
3
4
MPX5100GSX
CASE 867F
引脚数
N / C
V
S
GND
V
OUT
5
6
7
8
N / C
N / C
N / C
N / C
1
2
3
引脚数
V
OUT
GND
V
S
4
5
6
N / C
N / C
N / C
图1.完全集成压力传感器的原理
注：引脚1，5， 6，7，和
8顷内部设备
连接。别
连接到外部
电路或接地。 PIN1是
通过在切口注意到
导致。
注：引脚4,5 ，和6
是内部设备
连接。别
连接到外部
电路或接地。 PIN1是
通过在切口注意到
导致。
摩托罗拉公司2004年
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飞思卡尔半导体公司
MPX5100 / MPXV5100系列
表1.最大额定值
（注）
等级
最大压力（ P1 > P2 ）
储存温度
工作温度
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
400
-40 °C至+ 125 °
-40 °C至+ 125 °
单位
帕
°C
°C
注意：
曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
在图4所示必需的，以满足电气规范。 ）
特征
压力范围
(1)
表压，差压： MPX5100D / MPX5100G / MPXV5100G
绝对的： MPX5100A
表2.工作特性
(V
S
= 5.0伏，T
A
= 25 ° C除非另有说明， P1 > P2 。去耦电路
符号
P
OP
V
S
I
o
（0至85℃ ）
V
关闭
V
FSO
V
FSS
—
V / P
t
R
I
o+
—
—
民
0
15
4.75
—
0.088
4.587
—
—
—
—
—
—
—
典型值
—
—
5.0
7.0
0.20
4.700
4.500
—
45
1.0
0.1
20
± 0.5
最大
100
115
5.25
10
0.313
4.813
—
± 2.5
—
—
—
—
—
单位
帕
VDC
MADC
VDC
VDC
VDC
%V
FSS
毫伏/帕
ms
MADC
ms
%V
FSS
飞思卡尔半导体公司...
电源电压
(2)
电源电流
最小压力失调
(3)
@ V
S
= 5.0伏特
满量程输出
(4)
差分和绝对（ 0至85°C ）
@ V
S
= 5.0伏特
满量程
(5)
@ V
S
= 5.0伏特
准确性
(6)
灵敏度
响应时间
(7)
输出源电流满量程输出
预热时间
(8)
偏移稳定性
(9)
差分和绝对（ 0至85°C ）
注意事项：
1.
2.
3.
4.
5.
6.
7.
8.
9.
1.0kPa （千帕）等于0.145磅。
设备是在这个特定的激励范围比例。
偏移量（ V
关闭
）被定义为输出电压在最小额定压力。
满量程输出（V
FSO
）被定义为输出电压在最大或满额定压力。
满量程（V
FSS
）被定义为输出电压之间在全额定压力，并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
精度（误差预算）由以下部分组成：
线性度：
输出偏离与压力超过规定的压力范围内的直线关系。
温度滞后：在工作温度范围内的任意温度输出偏差后的温度是
循环，并从最小或最大操作温度点，零压差
应用。
压力滞后：
在指定范围内的任意压力，当此压力被循环到并从输出偏差
最小或最大的额定压力，在25℃ 。
TcSpan ：
输出偏差在0 °至85℃ ，相对于25 ℃的温度范围内。
TcOffset ：
以最小的压力输出偏差施加，在0 °至85℃ ，相对于25 ℃的温度范围内。
从标称变化：从标称值，偏移和满量程的变化，作为V的百分比
FSS
在25℃ 。
当经受一个响应时间定义为在时间为输出中的增量变化，从10％至到90 ％，其最终值的
指定步骤压力的变化。
预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后，所需的产物的时间。
偏置稳定性是产品的输出偏差时，受到1000小时脉冲压力，温度循环有偏差测试。
表3.机械特性
特征
重量，基本元素（案例867 ）
重量，基本元素（案例482 ）
典型值
4.0
1.5
单位
克
克
2
摩托罗拉传感器设备数据
摩托罗拉
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飞思卡尔半导体公司
MPX5100 / MPXV5100系列
片上温度补偿，校准和信号调理
图2示出了传感器的输出信号相对于压力
输入。典型的，最小和最大输出曲线
示出工作在0°的温度范围内，以85 ℃的
使用图4的输出中所示的去耦电路将
饱和指定的压力范围之外。
图3示出两个差分/计和Abso-
琵琶传感芯片在基本芯片载体（案例867 ） 。一氟
有机硅凝胶可隔离模具表面和引线键合
的环境中，同时允许所述压力信号，以待发送
泰德到传感器隔膜。
该MPX5100 / MPXV5100系列压力传感器工作
特点和内部的可靠性和资格测试
根据使用的干燥空气作为压力介质。媒体，其他
较干燥的空气，可对传感器的性能产生不利影响
和长期可靠性。工厂的信息，请联系重新
褒贬应用程序中的介质兼容性。
图4示出了用于IN-推荐的去耦电路
terfacing集成传感器的输出来的A / D输入
微处理器或微控制器。适当的去耦
电源的建议。
图1 。
传递函数MPX5100D / MPX5100G / MPXV5100G系列
5
V
OUT
= V
S
×（ 0.009 X P + 0.04 ）
± （压力误差X温度因子x 0.009 x垂直
S
)
V
S
= 5.0 V± 0.25伏
PE = 2.5
TM = 1
温度= 0-85 ℃，
飞思卡尔半导体公司...
输出电压（V）
3
典型
2
最大
民
1
0
0
10
20
30
40
50
60
70
80
90
100
110
压（kPa ）
OFFSET
（典型值）
图2.输出与差压
氟硅有机
GEL模涂
引线键合
不锈钢
金属盖
氟硅有机
GEL模涂
不锈钢
金属盖
环氧塑封
例
DIE
DIE
环氧塑封
引线键合
例
引线框架
差分/压力表元
DIE
BOND
引线框架
ABSOLUTE元
输出范围（典型值）
4
跨度范围（典型值）
DIE
BOND
图3的横截面图
（不按比例）
+5 V
V
OUT
V
S
IPS
1.0
F
0.01
F
GND
470 pF的
产量
图4.推荐的电源去耦和输出滤波
（有关更多的输出滤波，请参考应用笔记AN1646 ）
摩托罗拉
摩托罗拉传感器设备数据
3
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飞思卡尔半导体公司
MPX5100 / MPXV5100系列
传递函数（ MPX5100D ， MPX5100G ， MPXV5100G ）
标称传输值：
V
OUT
= V
S
（P X 0.009 + 0.04 ）
± （压力误差X温度MULT英寸x 0.009 x垂直
S
)
V
S
= 5.0 V± 5 ％P帕
温度误差倍增
MPX5100D / MPX5100G / MPXV5100G系列
4.0
3.0
温度乘数
–40
3
0到85
1
+125
3
飞思卡尔半导体公司...
2.0
1.0
0.0
–40
–20
0
20
40
60
80
在° C温度
100
120
130
140
注：该温度乘数是从0°线性响应至-40 ℃，并从85°至125°C 。
压力误差带
MPX5100D / MPX5100G / MPXV5100G系列
误差极限压力
3.0
2.0
错误（千帕）
1.0
0.0
–1.0
–2.0
–3.0
0
压力，以kPa
20
40
60
80
100
120
压力
0 100千帕
误差（最大值）
±2.5千帕
4
摩托罗拉传感器设备数据
摩托罗拉
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飞思卡尔半导体公司
MPX5100 / MPXV5100系列
传递函数（ MPX5100A ）
标称传输值：
V
OUT
= V
S
（P X 0.009 - 0.095 ）
± （压力误差X温度MULT英寸x 0.009 x垂直
S
)
V
S
= 5.0 V± 5 ％P帕
温度误差倍增
MPX5100A系列
4.0
3.0
温度乘数
–40
3
0到85
1
+125
3
飞思卡尔半导体公司...
2.0
1.0
0.0
–40
–20
0
20
40
60
80
100
120
130
140
在° C温度
注：该温度乘数是从0°线性响应至-40 ℃，并从85°至125°C 。
压力误差带
MPX5100A系列
误差极限压力
3.0
2.0
错误（千帕）
1.0
0.0
-1.0
-2.0
-3.0
0
20
压力，以kPa
40
60
80
100
130
压力
15 115千帕
误差（最大值）
±2.5千帕
摩托罗拉
摩托罗拉传感器设备数据
5
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压力
飞思卡尔半导体公司
集成硅压力传感器
片内信号调节，
温度补偿和
CALIBRATED
该MPX5100系列压阻式传感器是国家的最先进的单片
硅压力传感器设计用于广泛的应用范围，但特别是
那些采用微控制器或微处理器与A / D输入。该专利，
单元素传感器结合先进的微机械加工技术，薄膜
金属化，和双极型处理，以提供一种准确，高电平模拟
输出信号产生正比于所施加的压力。
MPX5100
转13 ， 05/2010
MPX5100
MPXV5100
系列
0 100千帕（ 0 14.5 psi）的
15 115千帕（ 2.2 16.7磅）
0.2 4.7 V输出
典型应用
病人监护
过程控制
泵/电机控制
压力开关
特点
2.5 ％，最大误差在0 °到85°C
非常适合于微处理器或微控制器为基础的系统
专利的硅剪应力应变计
提供绝压，差压和表压配置
耐用的环氧树脂承载式车身元素
易于使用芯片载体选项
订购信息
例
号
UNIBODY包装（ MPX5100系列）
设备名称
无
＃端口
单身
双
规
压力式
迪FF erential
绝对
设备
记号
MPX5100A
MPX5100AP
MPX5100D
MPX5100DP
MPX5100GP
MPXV5100G
MPXV5100G
MPXV5100DP
MPXV5100GP
MPX5100A
867
MPX5100AP
867B
MPX5100D
867
MPX5100DP
867C
MPX5100GP
867B
小外形封装（ MPXV5100系列）
MPXV5100GC6U
MPXV5100GC7U
MPXV5100DP
MPXV5100GP
482A
482C
1351
1369
飞思卡尔半导体公司， 2005-2010 。版权所有。
压力
工作特性
表1.工作特性
(
V
S
= 5.0伏，T
A
= 25 ° C除非另有说明， P1 > P2 。在显示去耦电路
图5
为满足电气规范要求。 ）
特征
压力范围
(1)
表压，差压： MPX5100D / MPX5100G / MPXV5100G
绝对的： MPX5100A
电源电压
(2)
电源电流
最小压力失调
(3)
@ V
S
= 5.0 V
满量程输出
(4)
@ V
S
= 5.0 V
满量程
(5)
@ V
S
= 5.0 V
准确性
(6)
灵敏度
响应时间
(7)
输出源电流满量程输出
预热时间
(8)
偏移稳定性
(9)
1. 1.0千帕（千帕）等于0.145磅。
2.
3.
4.
5.
6.
设备是在这个特定的激励范围比例。
偏移量（ V
关闭
）被定义为输出电压在最小额定压力。
满量程输出（V
FSO
）被定义为输出电压在最大或满额定压力。
满量程（V
FSS
）被定义为输出电压之间在全额定压力，并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
精度（误差预算）由以下部分组成：
线性度：
输出偏离与压力超过规定的压力范围内的直线关系。
温度滞后：在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差，在温度循环到
和从最小或最大操作温度点，零压差施加。
压力滞后：
在指定范围内的任意压力，当此压力被循环到并从最小输出偏差
或最大额定在25℃下的压力。
TcSpan ：
输出偏差在0 °至85℃ ，相对于25 ℃的温度范围内。
TcOffset ：
输出偏差与施加在0°的温度范围内，以85 ℃的最小压力，相对于25 ℃。
从标称变化：从标称值，偏移和满量程的变化，作为V的百分比
FSS
在25℃ 。
当经受响应时间定义为在时间中的输出变化的增量从10％至到90 ％其最终值的
指定的步骤的变化压力。
预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后，所需的产物的时间。
偏置稳定性是产品的输出偏差时，受到1000小时脉冲压力，温度循环有偏差测试。
（0至85℃ ）
符号
P
OP
0
15
V
S
I
O
V
关闭
V
FSO
V
FSS
—
V / P
t
R
I
O+
—
—
4.75
—
0.088
—
—
5.0
7.0
0.20
100
115
5.25
10
0.313
V
DC
MADC
V
DC
V
DC
V
DC
%V
FSS
毫伏/帕
ms
MADC
ms
%V
FSS
民
典型值
最大
单位
帕
差分和绝对（ 0至85°C ）
4.587
4.700
4.813
差分和绝对（ 0至85°C ）
—
4.500
—
—
—
—
—
—
—
—
45
1.0
0.1
20
±0.5
±2.5
—
—
—
—
—
7.
8.
9.
MPX5100
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
压力
最大额定值
表2.最大额定值
(1)
等级
最大压力（ P1
＆ GT ;
P2)
储存温度
工作温度
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
400
-40 ℃至+ 125 ℃
-40 ℃至+ 125 ℃
单位
帕
°C
°C
1.Exposure超过规定的限制可能会造成永久性的损坏或退化到设备。
图1
示出内部电路集成在一个单片式封装的压力传感器芯片的框图。
V
S
3
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
和
增益级＃ 1
增益级＃ 2
和
地
参考
位移电路
V
OUT
1
2
GND
引脚4,5和6是未连接。
图1.完全集成压力传感器的原理图承载式车身封装器件
图2
示出内部电路在一个小型封装集成在压力传感器芯片的框图。
V
S
2
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
和
增益级＃ 1
增益级＃ 2
和
地
参考
位移电路
V
OUT
4
3
GND
引脚1和5-8号连接。
图2.完全集成压力传感器原理图小外形封装器件
MPX5100
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
压力
片上温度补偿和校准
科幻gure 3
示出了相对于传感器输出信号
压力输入。典型的，最小和最大输出
曲线示工作在一个温度范围内
示出在使用去耦电路0°到85℃
图5中。
该
输出将饱和指定的压力范围之外。
图4
说明两者的差异/计及
绝对传感芯片在基本芯片载体（案例867 ） 。一
氟硅凝胶分离物从模具表面和引线键合
5
4
输出电压（V）
3
2
1
0
的环境，同时使压力信号是
传递给传感器隔膜。
该MPX5100系列压力传感器工作
特点和内部的可靠性和鉴定试验
是基于使用的干燥空气作为压力介质。媒体
较干燥的空气等，可对传感器的不利影响
性能和长期的可靠性。联系工厂
就在你的应用程序的介质兼容性信息。
跨度范围（典型值）
100
110
90
V
OUT
= V
S
*(0.009*P+0.04)
± （压力误差*温度系数* 0.009 * V
S
)
V
S
= 5.0 V± 0.25伏
PE = 2.5
TM = 1
TEMP = 0 85 ℃下
最大
典型值
民
10
20
30
40
50
60
70
80
0
压（kPa ）
（典型值）
OFFSET
图3.输出与差压
氟
GEL模涂
引线键合
DIE
不锈钢
金属盖
环氧塑封
例
引线键合
氟硅凝胶
模涂
DIE
输出范围（典型值）
不锈钢
金属盖
环氧塑封
例
引线框架
差分/压力表元
DIE BOND
引线框架
ABSOLUTE元
DIE BOND
图4的剖视图（未按比例）
图5
示出了用于推荐的去耦电路
接口的集成传感器的输出到A / D输入
的微处理器或微控制器。适当的去耦
电源被推荐的。
+5.0
V
V
OUT
Vs
IPS
1.0
μF
0.01
μF
GND
产量
470 pF的
图5.推荐的电源去耦和输出滤波
（有关更多的输出滤波，请参考应用笔记AN1646 ）。
MPX5100
传感器
飞思卡尔半导体公司
5
飞思卡尔半导体公司
技术参数
MPX5100
转11 ， 4/2008
集成硅压力传感器
片内信号调节，
温度补偿，以及
CALIBRATED
该MPX5100系列压阻式传感器是国家的最先进的单片
硅压力传感器设计用于广泛的应用范围，但特别是
那些采用微控制器或微处理器与A / D输入。这
专利，单元素传感器结合先进的微机械加工
技术中，薄膜金属化，和双极处理，以提供一种准确，
高电平模拟输出信号，该信号正比于所施加的压力。
特点
2.5 ％，最大误差在0 °到85°C
非常适合于微处理器或微控制器为基础的系统
专利的硅剪应力应变计
提供绝压，差压和表压配置
耐用的环氧树脂承载式车身元素
易于使用芯片载体选项
MPX5100/MPXV5100
系列
集成压力传感器
0 100千帕（ 0 14.5 psi）的
15 115千帕
（ 2.2至16.7磅）
0.2 4.7 V输出
小外形封装
MPXV5100GC6U
CASE 482A -01
MPXV5100GC7U
CASE 482C -03
典型应用
病人监护
过程控制
泵/电机控制
压力开关
订购信息
设备
TYPE
选项
例
号
867
867
867C
867B
867B
867F
482A
482C
1351
1369
MPX系列订单
器件标识
数
MPX5100A
MPX5100D
MPX5100DP
MPX5100AP
MPX5100GP
MPX5100GSX
MPXV5100GC6U
MPX5V100GC7U
MPXV5100DP
MPXV5100GP
MPX5100A
MPX5100D
MPX5100DP
MPX5100AP
MPX5100GP
MPX5100D
MPXV5100G
MPXV5100G
MPXV5100
MPXV5100G
1
2
3
MPXV5100DP
CASE 1351至01年
MPXV5100GP
CASE 1369至01年
引脚数
(1)
1
2
3
4
N / C
V
S
GND
V
OUT
5
6
7
8
N / C
N / C
N / C
N / C
UNIBODY包装（ MPX5100系列）
BASIC
绝对
元素的差异
移植
差分双端口
元素绝对，单端口
计，单端口
压力表，轴向PC山
压力表，轴向港， SMT
压力表，轴向港， DIP
压力表，双端口， SMT
计，侧口， SMT
1.引脚1 ，5，6 ，7，和图8是内部设备
连接。不要连接到外部
电路或接地。 1脚注意到由
缺口处于领先地位。
引脚数
(1)
V
OUT
GND
V
S
4
5
6
N / C
N / C
N / C
1.销4 ，图5，和图6是内部设备
连接。不要连接到外部
电路或接地。 1脚注意到
缺口处于领先地位。
UNIBODY套餐
MPX5100A/D
CASE 867-08
MPX5100GSX
CASE 867F -03
MPX5100AP/GP
CASE 867B -04
MPX5100DP
CASE 867C -05
飞思卡尔半导体公司， 2005-2008 。版权所有。
V
S
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
和增益
STAGE ＃ 1
增益级＃ 2
和地面
参考
位移电路
V
OUT
GND
引脚1和5至8是没有连接的小外形封装
引脚4,5和6是未连接的一体式机身包
图1.完全集成压力传感器的原理
表1.最大额定值
(1)
等级
最大压力（ P1 > P2 ）
储存温度
工作温度
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
400
-40 °C至+ 125°C
-40 °C至+ 125°C
单位
帕
°C
°C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
表2.工作特性
(V
S
= 5.0 V
DC
, T
A
= 25 ° C除非另有说明， P1 > P2 。在显示去耦电路
图4
为满足电气规范要求。 ）
特征
压力范围
(1)
表压，差压： MPX5100D / MPX5100G / MPXV5100G
绝对的： MPX5100A
电源电压
(2)
电源电流
最小压力失调
(3)
@ V
S
= 5.0 V
满量程输出
(4)
@ V
S
= 5.0 V
满量程
(5)
@ V
S
= 5.0 V
准确性
(6)
灵敏度
响应时间
(7)
输出源电流满量程输出
预热时间
(8)
偏移稳定性
(9)
1.
2.
3.
4.
5.
（0至85℃ ）
差分和绝对（ 0至85°C ）
差分和绝对（ 0至85°C ）
符号
P
OP
民
0
15
4.75
—
0.088
4.587
—
—
—
—
—
—
—
典型值
—
—
5.0
7.0
0.20
4.700
4.500
—
45
1.0
0.1
20
±0.5
最大
100
115
5.25
10
0.313
4.813
—
±2.5
—
—
—
—
—
V
DC
MADC
V
DC
V
DC
V
DC
%V
FSS
毫伏/帕
ms
MADC
ms
%V
FSS
单位
帕
V
S
I
O
V
关闭
V
FSO
V
FSS
—
V / P
t
R
I
O+
—
—
1千帕（千帕）等于0.145磅。
设备是在这个特定的激励范围比例。
偏移量（ V
关闭
）被定义为输出电压在最小额定压力。
满量程输出（V
FSO
）被定义为输出电压在最大或满额定压力。
满量程（V
FSS
）被定义为输出电压之间在全额定压力，并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
6.精度（误差预算）由以下部分组成：
线性度：
输出偏离与压力超过规定的压力范围内的直线关系。
温度滞后：在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差，在温度循环到
和从最小或最大操作温度点，零压差施加。
压力滞后：
在指定范围内的任意压力，当此压力被循环到并从最小输出偏差
或最大额定在25℃下的压力。
TcSpan ：
输出偏差在0 °至85℃ ，相对于25 ℃的温度范围内。
TcOffset ：
输出偏差与施加在0°的温度范围内，以85 ℃的最小压力，相对于25 ℃。
从标称变化：从标称值，偏移和满量程的变化，作为V的百分比
FSS
在25℃ 。
MPX5100
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
当经受7.响应时间定义为在时间中的输出变化的增量从10％至到90 ％其最终值的
指定的步骤的变化压力。
8.预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后，所需的产物的时间。
9.偏置稳定性是产品的输出偏差时，受到1000小时脉冲压力，温度循环有偏差测试。
片上温度补偿，校准和信号调理
图2
示出了相对于传感器输出信号
压力输入。典型的，最小和最大输出
曲线示工作在一个温度范围内
示出在使用去耦电路0°到85℃
图4中。
的输出将饱和的指定压力的外
范围内。
科幻gure 3
说明两者的差异/计及
绝对传感芯片在基本芯片载体（案例867 ） 。一
氟硅凝胶分离物从模具表面和引线键合
的环境，同时使压力信号是
传递给传感器隔膜。
该MPX5100系列压力传感器工作
特点和内部的可靠性和鉴定试验
是基于使用的干燥空气作为压力介质。媒体
较干燥的空气等，可对传感器的不利影响
性能和长期的可靠性。联系工厂
就在你的应用程序的介质兼容性信息。
不锈钢
金属盖
环氧塑封
例
5
4
输出电压（V）
3
2
1
0
跨度范围（典型值）
100
110
90
环氧塑封
例
DIE BOND
V
OUT
= V
S
*(0.009*P+0.04)
± （压力误差*温度系数* 0.009 * V
S
V
S
= 5.0 V± 0.25伏
PE = 2.5
TM = 1
TEMP = 0 85 ℃下
最大
典型值
民
10
20
30
40
50
60
70
80
0
压（kPa ）
（典型值）
OFFSET
图2.输出与差压
氟硅凝胶
模涂
引线键合
氟
GEL模涂
引线键合
DIE
DIE
不锈钢
金属盖
引线框架
DIE BOND
差分/压力表元
引线框架
ABSOLUTE元
图3的剖视图（不按比例）
图4
示出了用于推荐的去耦电路
接口的集成传感器的输出到A / D输入
的微处理器或微控制器。适当的去耦
电源被推荐的。
+5.0
V
V
OUT
Vs
IPS
1.0
μF
0.01
μF
GND
产量
470 pF的
图4.推荐的电源去耦和输出滤波
（有关更多的输出滤波，请参考应用笔记AN1646 ）。
MPX5100
传感器
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3
输出范围（典型值）
传递函数（ MPX5100D ， MPX5100G ， MPXV5100G
标称传输值：
V
OUT
VS = （P X 0.009 + 0.04 ）
± （压力误差X温度MULT英寸x 0.009 x垂直
S
)
V
S
= 5.0 V± 5 ％P帕
温度误差倍增
MPX5100D / MPX5100G / MPXV5100G系列
断点
4.0
3.0
2.0
1.0
0.0
-40
-20
0
20
40
60
在° C温度
80
100
120
140
温度
- 40
0至85 ℃的
+125°
倍增器
3
1
3
注：该温度乘数是从0°线性响应至-40 ℃，并从85°至125°C 。
压力误差带
3.0
2.0
错误（千帕）
1.0
0.0
-1.0
-2.0
-3.0
MPX5100D / MPX5100G / MPXV5100G系列
误差极限压力
0
20
40
60
80
100
120
压力，以kPa
压力
0 100千帕
误差（最大值）
±2.5千帕
MPX5100
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
传递函数（ MPX5100A ）
标称传输值：
V
OUT
= V
S
（P X 0.009 + 0.095 ）
± （压力误差X温度MULT英寸x 0.009 x垂直
S
)
V
S
= 5.0 V± 5 ％P帕
温度误差倍增
MPX5100A系列
断点
温度
倍增器
- 40
0至85 ℃的
+125°
3
1
3
4.0
3.0
2.0
1.0
0.0
-40
-20
0
20
40
60
80
100
120
130
140
在° C温度
注：该温度乘数是从0°线性响应至-40 ℃，并从85°至125°C 。
压力误差带
MPX5100A系列
3.0
2.0
错误（千帕）
1.0
0.0
-1.0
-2.0
-3.0
压力
15 115千帕
误差（最大值）
±2.5千帕
0
20
40
60
80
100
130
压力，以kPa
误差极限压力
MPX5100
传感器
飞思卡尔半导体公司
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QQ：2881677436 复制
