摩托罗拉
半导体技术资料
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由MPX5010 / D
MPX5010
集成硅压力传感器
片内信号调节，
温度补偿
和校准
该MPX5010系列压阻式传感器是国家的最先进的单片硅
压力传感器设计用于广泛的应用范围，但特别是那些
采用微控制器或微处理器与A / D输入。这项专利，单
晶探头结合先进的微机械加工技术，薄膜metalliza-
化，和双极型处理，以提供准确的，高水平的模拟输出信号，即
正比于所施加的压力。
特点
5.0 ％，最大误差在0 °到85°C
非常适合于微处理器或微控制器为基础的系统
专利的硅剪应力应变计
耐用的环氧树脂承载式车身元素
温度补偿过
基本CHIP
载体部件
CASE 867-08 ，风格1
系列
集成
压力传感器
0至10千帕（ 0 1.45 psi）的
0.2 4.7 V输出
*
40 °C至+ 125°C
VS
3
X -能器
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
和
增益级＃ 1
2
GND
增益级＃ 2
和
地
参考
位移电路
1
VOUT
迪FF erential
端口选项
CASE 867C -05 ，风格1
引脚4 ， 5和6是无连接
引脚数
1
2
3
VOUT
GND
VS
4
5
6
N / C
N / C
N / C
图1.完全集成压力传感器的原理
最大额定值（ 1 ）
参数变化
过压（2）（ P 1 > P2）的
爆裂压力（ 2）（ P 1 > P2）的
储存温度
工作温度
符号
P最高
Pburst
TSTG
TA
价值
75
100
- 40 + 125
- 40 + 125
单位
帕
帕
°C
°C
注：引脚4,5 ，和6是内部
设备连接。不要连接
到外部电路或接地。销1
注意通过在引线的切口。
1， TC = 25 ° C除非另有说明。
2.暴露超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
Senseon和X -能器是Motorola，Inc.的商标。
REV 2
摩托罗拉传感器设备数据
摩托罗拉1997年公司
1
MPX5010系列
工作特性
（ VS = 5.0伏， TA = 25 ° C除非另有说明， P1 > P2 ）
特征
压力范围（ 1 ）
电源电压（ 2 ）
电源电流
最小压力失调（ 3 ）
@ VS = 5.0伏特
满量程输出（ 4 ）
@ VS = 5.0伏特
满量程（ 5 ）
@ VS = 5.0伏特
Accuracy(6)
灵敏度
响应时间（ 7）
输出源电流满量程输出
预热时间（ 8 ）
偏置稳定性（ 9 ）
（0至85℃ ）
（0至85℃ ）
（0至85℃ ）
（0至85℃ ）
符号
POP
VS
Io
VOFF
Vfso
VFSS
—
V / P
tR
IO +
—
—
民
0
4.75
—
0
4.475
—
—
—
—
—
—
—
典型值
—
5.0
7.0
0.2
4.7
4.5
—
450
1.0
0.1
20
±
0.5
最大
10
5.25
10
0.425
4.925
—
±
5.0
—
—
—
—
—
单位
帕
VDC
MADC
VDC
VDC
VDC
％ VFSS
毫伏/帕
ms
MADC
ms
％ VFSS
机械特性
特征
重量，基本元素（案例867 ）
共模线压力（ 10 ）
符号
—
—
民
—
—
典型值
4.0
—
最大
—
690
单位
克
帕
注意事项：
1. 1.0千帕（千帕）等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。
3.偏移（ Voff时）被定义为输出电压在最小额定压力。
4.满量程输出（ VFSO ）被定义为输出电压在最大或满额定压力。
5.满量程（ VFSS ）被定义为输出电压之间在全额定压力，并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
6.精度（误差预算）由以下部分组成：
线性：
输出偏离与压力超过规定的压力范围内的直线关系。
温度滞后：在工作温度范围内的任意温度输出偏差后的温度是
循环，并从最小或最大操作温度点，零压差
应用。
压力滞后：
在指定范围内的任何压力输出偏差时，该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力，在25℃下。
TcSpan ：
输出偏差在0 °至85℃ ，相对于25 ℃的温度范围内。
TcOffset ：
与最小额定压力输出偏差施加，在0 °至85 ℃的温度范围内，相对
至25℃ 。
变异的名义：从标称值，偏移和满量程的变化，作为VFSS的百分比，在25 ℃。
当经受7.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化，从10％至到90 ％，其最终值的
指定的步骤的变化压力。
8.预热被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后，所需的产物的时间。
9.偏置稳定性是产品的输出偏差时，受到1000小时脉冲压力，温度循环有偏差测试。
超出指定什么10.共模的压力可能会导致泄漏的情况下，对引线的界面。
2
摩托罗拉传感器设备数据
MPX5010系列
片上温度补偿，校准和信号调理
图2示出了差分/计传感芯片中
基本的芯片载体（案例867 ） 。氟硅凝胶分离
从环境的模具表面和引线键合，而
允许压力信号被传输到传感器
隔膜。
该MPX5010系列压力传感器工作character-
istics ，和内部的可靠性和鉴定试验的基础
在使用干燥空气作为压力介质。媒体，比干其他
空气，可对传感器的性能和副作用
长期可靠性。与工厂联系信息
就在你的应用程序的介质兼容性。
图3示出了用于连接一个典型的去耦电路
集成传感器与微处理器的A / D输入。
建议适当的去耦电源。
图4示出了输出信号相对于所述传感器到压力
请务必输入。典型的，最小和最大输出曲线
示工作在0°到的温度范围内
85 ℃下使用下面的去耦电路。 （输出将卫星 -
指定的压力范围之外的尿酸盐）。
硅胶
模涂
引线键合
DIE
P1
不锈钢
金属盖
MPX5010
产量
（引脚1）
50 pF的
51 k
A / D
引线框架
输出（V ）
摩托罗拉传感器设备数据
P2
环氧情况
处理器
RTV DIE
BOND
图2横截面图
（不按比例）
图3.典型的去耦滤波的传感器来
微处理器接口
5.0
传递函数为：
4.5 V = V * （ 0.09 * P + 0.04 ）
±
错误
输出S
VS = 5.0伏
4.0
TEMP = 0 85 ℃下
3.5
3.0
2.5
2.0
1.5
1.0
0.5
0
0
1
2
4
5
6
8
3
7
压差（千帕）
9
10
11
最大
民
典型
图4.输出与差压
3
MPX5010系列
传递函数（ MPX5010D ）
标称传输值：
VOUT = VS ×（ 0.09 X P + 0.04 ）
标称传输值：
±
（压力误差X温度系数X 0.09 X VS ）
标称传输值：
VS = 5.0 V
±
0.25伏
温度误差带
MPX5010D系列
4.0
3.0
温度
错误
因素
2.0
1.0
0.0
–40
–20
0
20
40
60
80
100
120
140
温度
– 40
0到85
+125
倍增器
3
1
3
在C°温度
注：该温度乘数是从0°线性响应至-40 ℃，并从85°至125°C 。
压力误差带
0.5
0.4
0.3
压力误差（千帕）
0.2
0.1
0
–0.1
–0.2
–0.3
–0.4
–0.5
压力
0至10千帕
误差（最大值）
±
0.5千帕
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
压（kPa ）
4
摩托罗拉传感器设备数据
MPX5010系列
压力（ P 1 ） /真空（P2）的侧面识别表
摩托罗拉表示压力传感器的双方
作为压力（ P1）侧和真空（P2）的一侧。该
压力（P1）的一侧是含有氟的有机硅凝胶的侧
其保护免受恶劣介质模具。摩托罗拉MPX
压力传感器被设计为具有正differen-操作
TiAl金属施加压力， P1 > P2 。
的压力（ P1）的一侧可以通过使用表中识别
如下：
压力（P1）的
侧标识
不锈钢帽
方用最热
方用端口连接
不锈钢帽
方用端口连接
不锈钢帽
方用端口连接
不锈钢帽
产品型号
MPX5010D
MPX5010DP
MPX5010GP
MPX5010GVP
MPX5010GS
MPX5010GVS
MPX5010GSX
MPX5010GVSX
案例类型
867–08C
867C–05
867B–04
867D–04
867E–03
867A–04
867F–03
867G–03
订购信息
的MPX5010压力传感器是在差动和压力计配置。设备在基本的元素可用
包换包或压口接头提供印刷电路板安装方便和刺喉的压力连接
系统蒸发散。
MPX系列
设备类型
I T
基本元素
移植的要素
迪FF erential
差分双端口
规
压力表真空口
压力表，轴向
真空压力表轴向
压力表，轴向PC山
真空压力表轴向PC安装
选项
O I
案例类型
C
T
867–08
867C–05
867B–04
867D–04
867E–03
867A–04
867F–03
867G–03
订单号
MPX5010D
MPX5010DP
MPX5010GP
MPX5010GVP
MPX5010GS
MPX5010GVS
MPX5010GSX
MPX5010GVSX
器件标识
MPX5010D
MPX5010DP
MPX5010GP
MPX5010GVP
MPX5010D
MPX5010D
MPX5010D
MPX5010D
摩托罗拉传感器设备数据
5
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