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摩托罗拉
半导体技术资料
订购此文件
由MPX5010 / D
MPX5010
集成硅压力传感器
片内信号调节,
温度补偿
和校准
该MPX5010系列压阻式传感器是国家的最先进的单片硅
压力传感器设计用于广泛的应用范围,但特别是那些
采用微控制器或微处理器与A / D输入。这项专利,单
晶探头结合先进的微机械加工技术,薄膜metalliza-
化,和双极型处理,以提供准确的,高水平的模拟输出信号,即
正比于所施加的压力。
特点
5.0 %,最大误差在0 °到85°C
非常适合于微处理器或微控制器为基础的系统
专利的硅剪应力应变计
耐用的环氧树脂承载式车身元素
温度补偿过
基本CHIP
载体部件
CASE 867-08 ,风格1
系列
集成
压力传感器
0至10千帕( 0 1.45 psi)的
0.2 4.7 V输出
*
40 °C至+ 125°C
VS
3
X -能器
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
增益级# 1
2
GND
增益级# 2
参考
位移电路
1
VOUT
迪FF erential
端口选项
CASE 867C -05 ,风格1
引脚4 , 5和6是无连接
引脚数
1
2
3
VOUT
GND
VS
4
5
6
N / C
N / C
N / C
图1.完全集成压力传感器的原理
最大额定值( 1 )
参数变化
过压(2)( P 1 > P2)的
爆裂压力( 2)( P 1 > P2)的
储存温度
工作温度
符号
P最高
Pburst
TSTG
TA
价值
75
100
- 40 + 125
- 40 + 125
单位
°C
°C
注:引脚4,5 ,和6是内部
设备连接。不要连接
到外部电路或接地。销1
注意通过在引线的切口。
1, TC = 25 ° C除非另有说明。
2.暴露超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
Senseon和X -能器是Motorola,Inc.的商标。
REV 2
摩托罗拉传感器设备数据
摩托罗拉1997年公司
1
MPX5010系列
工作特性
( VS = 5.0伏, TA = 25 ° C除非另有说明, P1 > P2 )
特征
压力范围( 1 )
电源电压( 2 )
电源电流
最小压力失调( 3 )
@ VS = 5.0伏特
满量程输出( 4 )
@ VS = 5.0伏特
满量程( 5 )
@ VS = 5.0伏特
Accuracy(6)
灵敏度
响应时间( 7)
输出源电流满量程输出
预热时间( 8 )
偏置稳定性( 9 )
(0至85℃ )
(0至85℃ )
(0至85℃ )
(0至85℃ )
符号
POP
VS
Io
VOFF
Vfso
VFSS
V / P
tR
IO +
0
4.75
0
4.475
典型值
5.0
7.0
0.2
4.7
4.5
450
1.0
0.1
20
±
0.5
最大
10
5.25
10
0.425
4.925
±
5.0
单位
VDC
MADC
VDC
VDC
VDC
% VFSS
毫伏/帕
ms
MADC
ms
% VFSS
机械特性
特征
重量,基本元素(案例867 )
共模线压力( 10 )
符号
典型值
4.0
最大
690
单位
注意事项:
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。
3.偏移( Voff时)被定义为输出电压在最小额定压力。
4.满量程输出( VFSO )被定义为输出电压在最大或满额定压力。
5.满量程( VFSS )被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
6.精度(误差预算)由以下部分组成:
线性:
输出偏离与压力超过规定的压力范围内的直线关系。
温度滞后:在工作温度范围内的任意温度输出偏差后的温度是
循环,并从最小或最大操作温度点,零压差
应用。
压力滞后:
在指定范围内的任何压力输出偏差时,该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力,在25℃下。
TcSpan :
输出偏差在0 °至85℃ ,相对于25 ℃的温度范围内。
TcOffset :
与最小额定压力输出偏差施加,在0 °至85 ℃的温度范围内,相对
至25℃ 。
变异的名义:从标称值,偏移和满量程的变化,作为VFSS的百分比,在25 ℃。
当经受7.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定的步骤的变化压力。
8.预热被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后,所需的产物的时间。
9.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
超出指定什么10.共模的压力可能会导致泄漏的情况下,对引线的界面。
2
摩托罗拉传感器设备数据
MPX5010系列
片上温度补偿,校准和信号调理
图2示出了差分/计传感芯片中
基本的芯片载体(案例867 ) 。氟硅凝胶分离
从环境的模具表面和引线键合,而
允许压力信号被传输到传感器
隔膜。
该MPX5010系列压力传感器工作character-
istics ,和内部的可靠性和鉴定试验的基础
在使用干燥空气作为压力介质。媒体,比干其他
空气,可对传感器的性能和副作用
长期可靠性。与工厂联系信息
就在你的应用程序的介质兼容性。
图3示出了用于连接一个典型的去耦电路
集成传感器与微处理器的A / D输入。
建议适当的去耦电源。
图4示出了输出信号相对于所述传感器到压力
请务必输入。典型的,最小和最大输出曲线
示工作在0°到的温度范围内
85 ℃下使用下面的去耦电路。 (输出将卫星 -
指定的压力范围之外的尿酸盐)。
硅胶
模涂
引线键合
DIE
P1
不锈钢
金属盖
MPX5010
产量
(引脚1)
50 pF的
51 k
A / D
引线框架
输出(V )
摩托罗拉传感器设备数据
P2
环氧情况
处理器
RTV DIE
BOND
图2横截面图
(不按比例)
图3.典型的去耦滤波的传感器来
微处理器接口
5.0
传递函数为:
4.5 V = V * ( 0.09 * P + 0.04 )
±
错误
输出S
VS = 5.0伏
4.0
TEMP = 0 85 ℃下
3.5
3.0
2.5
2.0
1.5
1.0
0.5
0
0
1
2
4
5
6
8
3
7
压差(千帕)
9
10
11
最大
典型
图4.输出与差压
3
MPX5010系列
传递函数( MPX5010D )
标称传输值:
VOUT = VS ×( 0.09 X P + 0.04 )
标称传输值:
±
(压力误差X温度系数X 0.09 X VS )
标称传输值:
VS = 5.0 V
±
0.25伏
温度误差带
MPX5010D系列
4.0
3.0
温度
错误
因素
2.0
1.0
0.0
–40
–20
0
20
40
60
80
100
120
140
温度
– 40
0到85
+125
倍增器
3
1
3
在C°温度
注:该温度乘数是从0°线性响应至-40 ℃,并从85°至125°C 。
压力误差带
0.5
0.4
0.3
压力误差(千帕)
0.2
0.1
0
–0.1
–0.2
–0.3
–0.4
–0.5
压力
0至10千帕
误差(最大值)
±
0.5千帕
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
压(kPa )
4
摩托罗拉传感器设备数据
MPX5010系列
压力( P 1 ) /真空(P2)的侧面识别表
摩托罗拉表示压力传感器的双方
作为压力( P1)侧和真空(P2)的一侧。该
压力(P1)的一侧是含有氟的有机硅凝胶的侧
其保护免受恶劣介质模具。摩托罗拉MPX
压力传感器被设计为具有正differen-操作
TiAl金属施加压力, P1 > P2 。
的压力( P1)的一侧可以通过使用表中识别
如下:
压力(P1)的
侧标识
不锈钢帽
方用最热
方用端口连接
不锈钢帽
方用端口连接
不锈钢帽
方用端口连接
不锈钢帽
产品型号
MPX5010D
MPX5010DP
MPX5010GP
MPX5010GVP
MPX5010GS
MPX5010GVS
MPX5010GSX
MPX5010GVSX
案例类型
867–08C
867C–05
867B–04
867D–04
867E–03
867A–04
867F–03
867G–03
订购信息
的MPX5010压力传感器是在差动和压力计配置。设备在基本的元素可用
包换包或压口接头提供印刷电路板安装方便和刺喉的压力连接
系统蒸发散。
MPX系列
设备类型
I T
基本元素
移植的要素
迪FF erential
差分双端口
压力表真空口
压力表,轴向
真空压力表轴向
压力表,轴向PC山
真空压力表轴向PC安装
选项
O I
案例类型
C
T
867–08
867C–05
867B–04
867D–04
867E–03
867A–04
867F–03
867G–03
订单号
MPX5010D
MPX5010DP
MPX5010GP
MPX5010GVP
MPX5010GS
MPX5010GVS
MPX5010GSX
MPX5010GVSX
器件标识
MPX5010D
MPX5010DP
MPX5010GP
MPX5010GVP
MPX5010D
MPX5010D
MPX5010D
MPX5010D
摩托罗拉传感器设备数据
5
飞思卡尔半导体公司
技术参数
MPX5010
转11 , 01/2007
集成硅压力传感器
片内信号调节,
温度补偿和
CALIBRATED
该MPX5010 / MPXV5010G系列压阻式传感器是国家OF-
最先进的单片硅压力传感器设计用于各种各样的
的应用,但特别是那些采用微控制器或
微处理器A / D输入。该传感器结合了先进的
微机械加工技术,薄膜金属化,和双极处理
提供正比于一个精确的,高水平的模拟输出信号
施加的压力。
特点
5.0 %,最大误差在0 °到85°C
非常适合微处理器或微控制器为基础的系统
耐用的Unibody的环氧树脂和热塑性塑料( PPS )表面贴装封装
温度补偿在-40 °C至+ 125°C
专利的硅剪应力应变计
提供差分和仪表的配置
提供表面贴装( SMT)或通孔( DIP )配置
应用实例
病床
暖通空调
呼吸系统
过程控制
订购信息
设备
MPX系列
填料
设备
选项
TYPE
订单号
选项
记号
小型封装( MPXV5010G系列)
基本计,只有元素, SMT
482
MPXV5010G6U
轨MPXV5010G
要素计,只有元素, DIP
482B MPXV5010G7U
轨MPXV5010G
移植压力表,轴向港, SMT
482A MPXV5010GC6U Rails的MPXV5010G
要素计,轴向港, DIP
482C MPXV5010GC7U Rails的MPXV5010G
压力表,轴向港, SMT
482A MPXV5010GC6T1磁带& MPXV5010G
REEL
计,侧口, SMT
1369 MPXV5010GP
托盘MPXV5010G
压力表,双端口, SMT
1351 MPXV5010DP
托盘MPXV5010G
一体成型机身包( MPX2202系列)
基本微分
867
MPX5010D
MPXV5010D
元素
移植差压,表压
867C MPX5010DP
MPXV5010DP
要素计
867B MPX5010GP
MPXV5010GP
压力表,轴向
867E MPX5010GS
MPXV5010D
压力表,轴向PC山
867F MPX5010GSX
MPXV5010D
MPX5010
MPXV5010G
系列
集成
压力传感器
0至10千帕( 0 1.45 psi)的
0.2 4.7 V输出
小外形封装
MPXV5010G6U
CASE 482-01
J
MPXV5010GC6U/C6T1
CASE 482A -01
MPXV5010G7U
CASE 482B -03
MPXV5010GC7U
CASE 482C -03
MPXV5010GP
CASE 1369至01年
MPXV5010DP
CASE 1351至01年
UNIBODY封装引脚号码
(1)
1
2
3
V
OUT
GND
V
S
4
5
6
N / C
N / C
N / C
1.销4 ,图5,和图6是内部设备连接。办
不连接到外部电路或接地。引脚1
注意到通过在引线的切口。
小外形封装
PIN号码
(1)
1
2
3
4
N / C
V
S
GND
V
OUT
5
6
7
8
N / C
N / C
N / C
N / C
1.引脚1 ,5,6 ,7,和图8是内部设备
连接。不要连接到外部电路或
地面上。 1脚注意到领先的缺口。
UNIBODY套餐
MPX5010D
CASE 867-08
MPX5010GP
CASE 867B -04
MPX5010DP
CASE 867C -05
MPX5010GS
CASE 867E -03
MPX5010GSX
CASE 867F -03
飞思卡尔半导体公司2007年版权所有。
V
S
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
增益级# 1
增益级# 2
参考
位移电路
V
OUT
GND
引脚1和5至8号连接
用于表面贴装封装
引脚4 , 5和6是未连接FOR
UNIBODY包装
图1.完全集成压力传感器的原理
表1.最大额定值
(1)
等级
最大压力( P1
& GT ;
P2)
储存温度
工作温度
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
75
-40到+125
-40到+125
单位
°C
°C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
MPX5010
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
表2.工作特性
(
V
S
= 5.0伏,T
A
= 25 ° C除非另有说明, P1 > P2 。在显示去耦电路
图3需要满足规范)。
特征
压力范围
(1)
电源电压
(2)
电源电流
最小压力失调
(3)
@ V
S
= 5.0伏特
满量程输出
(4)
@ V
S
= 5.0伏特
满量程
(5)
@ V
S
= 5.0伏特
准确性
(6)
灵敏度
响应时间
(7)
输出源电流满量程输出
预热时间
(8)
偏移稳定性
(9)
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。
3.偏移量(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
4.满量程输出(V
FSO
)被定义为输出电压在最大或满额定压力。
5.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
6.精度(误差预算)由以下部分组成:
线性度:
输出偏离与压力超过规定的压力范围内的直线关系。
温度滞后:在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差,在温度循环到
和从最小或最大操作温度点,零压差施加。
压力滞后:
在指定范围内的任何压力输出偏差时,该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力,在25℃下。
TcSpan :
输出偏差在0 °至85℃ ,相对于25 ℃的温度范围内。
TcOffset :
与最小额定压力输出偏差施加,在0 °至85 ℃的温度范围内,相对于
25°C.
从标称变化:在
变化的标称值,偏移和满量程,为V的百分比
FSS
在25 ℃。
当经受7.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定的步骤的变化压力。
8.预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后,所需的产物的时间。
9.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
(0至85℃ )
符号
P
OP
V
S
I
o
V
关闭
0
4.75
0
典型值
5.0
5.0
0.2
最大
10
5.25
10
0.425
单位
VDC
MADC
VDC
(0至85℃ )
V
FSO
4.475
4.7
4.925
VDC
(0至85℃ )
V
FSS
4.275
4.5
4.725
VDC
(0至85℃ )
V / P
t
R
I
O+
450
1.0
0.1
20
±0.5
±5.0
—-
—-
—-
—-
—-
%V
FSS
毫伏/帕
ms
MADC
ms
%V
FSS
表3.机械特性
特征
重量,基本元素(案例867 )
重量,基本元素(案例482 )
典型值
4.0
1.5
单位
MPX5010
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
片上温度补偿,校准和信号调理
在整个温度范围的性能通过下述方式实现
剪应力应变计积分,温度
补偿,校准和信号调理电路
到一个单芯片。
图2
说明了差分或计的配置
在基本芯片载体(情况482)。氟硅凝胶
隔离模具表面和引线键从环境,
同时使压力信号被传输到
传感器膜片。
该MPX5010和MPXV5010G系列压力传感器
经营特色,以及内部的可靠性和
鉴定试验是基于使用的干燥空气作为压力
媒体。媒体,比干燥空气以外,可以具有不利影响
传感器性能和长期的可靠性。联系
关于在介质兼容性工厂的信息,请
应用程序。
科幻gure 3
示出了用于推荐的去耦电路
接口的集成传感器的一对A / D输入
微处理器或微控制器。适当的去耦
电源的建议。
图4
示出了相对于传感器输出信号
压力输入。典型的,最小和最大输出
曲线示工作在一个温度范围内
示出在使用去耦电路0°到85℃
网络连接gure 3 。
输出将饱和指定的压力范围之外。
氟硅有机
GEL模涂
P1
引线键合
领导
FRAME
DIE
不锈
钢帽
+5 V
热塑性
V
OUT
V
s
IPS
1.0
F
0.01
F
GND
产量
470 pF的
P2
差分检测
元素
DIE BOND
图2横截面图的SOP
(不按比例)
图3.推荐的电源去耦
和输出滤波
(有关更多的输出滤波,请参考
应用笔记AN1646 )。
5.0
4.5
4.0
3.5
3.0
输出(V )
2.5
2.0
1.5
1.0
0.5
0
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
最大
典型
传递函数为:
V
OUT
= V
S
* ( 0.09 * P + 0.04 ) ± ERROR
V
S
= 5.0伏
TEMP = 0 85 ℃下
压差(千帕)
图4.输出与差压
MPX5010
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
传递函数( MPX5010 , MPXV5010G )
标称传输值:
V
OUT
= V
S
×( 0.09 X P + 0.04 )
± (压力误差X温度因子x 0.09 x垂直
S
)
V
S
= 5.0 V
±
0.25伏
温度误差带
MPX5010 , MPXV5010G系列
4.0
3.0
温度
错误
因素
2.0
1.0
0.0
–40
–20
0
20
40
60
80
100
120
140
在° C温度
注:该温度乘数是从0°线性响应至-40 ℃,并从85°至125°C 。
温度
–40
0到85
+125
倍增器
3
1
3
压力误差带
0.5
0.4
0.3
压力
错误
(千帕)
0.2
0.1
0
–0.1
–0.2
–0.3
–0.4
–0.5
压力
010 ( kPa)的
误差(最大值)
±0.5 (千帕)
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
压(kPa )
MPX5010
传感器
飞思卡尔半导体公司
5
压力
飞思卡尔半导体公司
集成硅压力传感器
片内信号调节,
温度补偿和
CALIBRATED
该MPxx5010系列压阻式传感器是国家的最先进的
单片硅压力传感器设计用于广泛的应用范围,
但特别是那些采用微控制器或微处理器与A / D
输入。该传感器结合了先进的微机械加工技术,
薄膜金属化,和双极型处理,以提供一种准确,高
平模拟输出信号,该信号正比于所施加的压力。该
轴向端口已被修改,以适应工业级管路。
MPX5010
启12 , 09/2009
MPX5010
MPXV5010
MPVZ5010
系列
0至10千帕( 0 1.45 psi)的
( 0至1019.78毫米
2
O)
0.2 4.7 V输出
应用实例
医院用床
暖通空调
呼吸道系统
过程控制
洗衣机水位
测量(参考AN1950 )
非常适合微处理器或
基于微控制器的系统
电器液位和压力
测量
特点
5.0 %,最大误差在0 °到85°C
非常适合于微处理器或微控制器为基础的系统
耐用的Unibody的环氧树脂和热塑性塑料( PPS )表面贴装封装
温度补偿在-40 °C至+ 125°C
专利的硅剪应力应变计
可在微分和仪表的配置
可在表面贴装( SMT)或通孔( DIP )配置
订购信息
设备名称
案件编号:
#端口
单身
压力式
迪FF erential
绝对
设备
记号
MPX5010DP
MPX5010GP
MPX5010D
MPX5010D
MPXV5010DP
MPXV5010G
MPXV5010G
MPXV5010G
MPXV5010G
MPXV5010GP
MPVZ5010G
MPVZ5010G
MPVZ5010G
MZ5010GW
MZ5010GW
一体成型机身包( MPX5010系列)
MPX5010DP
867C
MPX5010GP
867B
MPX5010GS
867E
MPX5010GSX
867F
小外形封装( MPXV5010系列)
MPXV5010DP
1351
MPXV5010G6U
482
MPXV5010GC6T1
482A
MPXV5010GC6U
482A
MPXV5010GC7U
482C
MPXV5010GP
1369
小外形封装(耐介质凝胶) ( MPVZ5010系列)
MPVZ5010G6U
MPVZ5010G6T1
MPVZ5010G7U
MPVZ5010GW6U
MPVZ5010GW7U
482
482
482B
1735
1560
飞思卡尔半导体公司, 2007-2009 。版权所有。
压力
小型封装表面贴装
MPXV5010GC6U/C6T1
CASE 482A -01
MPXV5010G6U,
MPVZ5010G6U/T1
CASE 482-01
MPXV5010DP
CASE 1351至01年
MPXV5010GP
CASE 1369至01年
MPVZ5010GW6U
CASE 1735至1701年
小型封装通孔
J
MPVZ5010G7U
CASE 482B -03
MPXV5010GC7U
CASE 482C -03
MPVZ5010GW7U
CASE 1560至1502年
UNIBODY套餐
MPX5010GP
CASE 867B -04
MPX5010DP
CASE 867C -05
MPX5010GS
CASE 867E -03
MPX5010GSX
CASE 867F -03
MPX5010
2
传感器
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压力
工作特性
表1.工作特性
(
V
S
= 5.0伏,T
A
= 25 ° C除非另有说明, P1 > P2 。在显示去耦电路
图3需要满足规范)。
特征
压力范围
电源电压
(1)
电源电流
最小压力失调
(2)
@ V
S
= 5.0伏特
满量程输出
(3)
@ V
S
= 5.0伏特
满量程
(4)
@ V
S
= 5.0伏特
准确性
(5)
灵敏度
(0至85℃ )
符号
P
OP
V
S
I
o
V
关闭
0
4.75
0
典型值
5.0
5.0
0.2
最大
10
1019.78
5.25
10
0.425
单位
mm高
2
O
VDC
MADC
VDC
(0至85℃ )
V
FSO
4.475
4.7
4.925
VDC
(0至85℃ )
V
FSS
4.275
4.5
4.725
VDC
(0至85℃ )
V / P
450
4.413
1.0
0.1
20
±0.5
±5.0
%V
FSS
毫伏/毫米
毫伏/ mm高
2
O
ms
MADC
ms
%V
FSS
响应时间
(6)
输出源电流满量程输出
预热时间
(7)
偏移稳定性
(8)
1.设备是在这个特定的激励范围比例。
2.补偿(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
t
R
I
O+
3.满量程输出(V
FSO
)被定义为输出电压在最大或满额定压力。
4.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
5.精度(误差预算)由以下部分组成:
线性度:从与压力超过规定的压力范围内的直线关系输出偏差。
温度滞后:在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差,温度之后被循环到并
从最小或最大操作温度点,零压差施加。
压力滞后:在指定范围内的任意压力输出的偏差,当此压力被循环到并从最小或
最大额定压力,在25℃下。
TcSpan :在0 °至85℃ ,相对于25 ℃的温度范围内的输出偏差。
TcOffset :与最小额定压力输出偏差施加,在0 °至85℃ ,相对于25 ℃的温度范围内。
变异的名义:从标称值,偏移和满量程的变化,作为V的百分比
FSS
在25 ℃。
当受到6.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定步骤压力的变化。
7.预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后,所需的产物的时间。
8.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
MPX5010
传感器
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3
压力
最大额定值
表2.最大额定值
(1)
等级
最大压力( P1
& GT ;
P2)
储存温度
工作温度
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
40
-40到+125
-40到+125
单位
°C
°C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
图1
示出内部电路上集成的压力传感器芯片的框图。
V
S
2( SOP)的
3 (承载式车身)
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
增益级# 1
增益级# 2
参考
位移电路
V
OUT
1 (承载式车身)
4 (SOP)
2 (承载式车身)
3( SOP)的
GND
引脚1和5至8号连接
对于小外形封装。
引脚4 , 5和6是未连接FOR
一体式封装。
图1.完全集成压力传感器的原理
MPX5010
4
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压力
片上温度补偿和校准
在整个温度范围的性能通过下述方式实现
剪应力应变计积分,温度
补偿,校准和信号调理电路
到一个单芯片。
科幻gure 3
说明了差分或计的配置
在基本芯片载体(情况482)。氟硅凝胶
隔离模具表面和引线键从环境,
同时使压力信号被传输到
传感器膜片。
该MPxx5010G系列压力传感器工作
特点和内部的可靠性和鉴定试验
是基于使用的干燥空气作为压力介质。媒体
不锈
钢帽
较干燥的空气等,可对传感器的不利影响
性能和长期的可靠性。联系工厂
就在你的应用程序的介质兼容性信息。
图4
示出了用于推荐的去耦电路
接口的集成传感器的一对A / D输入
微处理器或微控制器。适当的去耦
电源的建议。
图5
示出了相对于传感器输出信号
压力输入。典型的,最小和最大输出
曲线示工作在一个温度范围内
示出在使用去耦电路0°到85℃
图4中。
输出将饱和指定的压力范围之外。
氟硅有机
GEL模涂
P1
引线键合
领导
FRAME
DIE
+5 V
热塑性
V
OUT
V
s
IPS
1.0
μF
0.01
μF
GND
产量
470 pF的
P2
差分检测
元素
DIE BOND
图2横截面图的SOP
(不按比例)
图3.推荐的电源去耦
和输出滤波
(有关更多的输出滤波,请参考
应用笔记AN1646 )。
5.0
4.0
3.0
输出(V )
2.0
1.0
0
传递函数(千帕) :
V
OUT
= V
S
×
(0.09
×
P + 0.04 )± 5.0 %V
FSS
V
S
= 5.0伏
TEMP = 0 85 ℃下
最大
典型
0
2.0
4.0
6.0
8.0
10
压差(千帕)
图4.输出与差压
MPX5010
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器件数据手册
DL200/D
启5 , 01/2003
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数据分类
产品预览
此标题在数据表显示,该设备是在形成阶段或设计(开发中) 。
在第一页的底部免责声明内容如下:“本文件包含在开发一个产品信息
换货。摩托罗拉保留随时更改或终止本产品,恕不另行通知。 “
提前或初步信息
此标题在数据表显示,该设备是在取样,试,或者先生产阶段。该
免责声明在第一页的底部写着: “此文件包含一个新的产品信息。产品规格
而此处的信息如有变更,恕不另行通知。 “
充分释放
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一个完全公布的数据表包含既不是分类的标题,也不是免责条款部分第一页的底部。
本文件包含在满负荷生产一个产品信息。保证限制将不无改变
以书面形式通知您当地的摩托罗拉半导体销售办事处。
摩托罗拉设备分类
在努力提供关于任何给定的设备的状态,向上的最新信息给客户,摩托罗拉有
分类所有设备分为三类:首选设备,目前产品和不推荐用于新
设计的产品。
甲优选类型是被推荐为将来使用一个第一选择的装置。这些设备是“首选”
由于它们的性能,价格,功能或属性,它提供了整体的“最佳”值的组合的
客户。这个类别包含先进成熟的设备将保持可用的fore-
seeable未来。
在数据表部分的优选设备
标识为“摩托罗拉的优选设备。'
标识为“当前”设备类型可能不是首选
设计,但将继续是可用的
因为在目前的生产设计中的普及和/或标准化和批量使用。这些产品可以
可以接受的新的设计,但首选的类型被认为是对长期使用更好的选择。
任何一个没有被确定为“优选的装置”的设备是“当前”设备。
指定为产品“不推荐用于新设计”可能会变得过时,因为决定市场不佳
接受,或技术或包被达到其生命周期的结束。此类别中的设备有
不确定的未来,并不代表一个很好的选择对新设备的设计或长期使用。
传感器数据手册中不包含任何
“不推荐用于新设计”的设备。
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设备数据
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在这本书中的信息进行了认真审查,并认为是准确的;但是,没有责任
被假定为不准确。此外,这些信息并没有传达到半导体的采购
设备根据专利权的制造商的任何许可。
摩托罗拉保留更改,恕不另行通知这里的任何产品的权利。摩托罗拉不作任何war-
保修资格,陈述或对其产品是否适合任何特定用途的保证,也不Motoro-
LA承担由此产生的任何产品或电路的应用或使用任何责任,并明确拒绝承担任何和
所有责任,包括但不限于间接或附带损失。 “典型”参数可以做不同的
不同的应用和实际性能可能随时间变化。所有的操作参数,包括“典型” ,必须
每个客户的客户应用的技术专家进行验证。摩托罗拉并没有传达任何许可
根据其专利权或他人的权利。摩托罗拉产品不是设计,意,或授权使用
作为系统组件用于外科植入到体内,或用于支持其他应用程序或
维持生命,或任何其他应用程序在摩托罗拉产品的故障可能造成一种情况,
可能发生的人身伤害或死亡。如果买方购买或使用摩托罗拉产品的任何意外或非
授权的应用程序,买方应赔偿并持有摩托罗拉和其职员,雇员,子公司,关联公司,
和分销商对所有索赔,费用,损失,费用无害,以及合理的律师费所产生
出,直接或间接造成人身伤害或死亡索赔等意外或未经授权的联系
使用,即使此类索赔称,摩托罗拉对零件的设计或制造疏忽造成的。摩托罗拉
及风格化M徽标已在美国专利&商标局注册。所有其它产品或服务名称均为
其各自所有者的财产。摩托罗拉公司是一个机会均等/肯定行动雇主。
第5版
摩托罗拉公司2003
“版权所有”
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目录
第一节 - 基本信息
质量和可靠性
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–2
概述。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-2
可靠性问题的硅压力传感器。 。 。 。 。 。 1-3
焊接注意事项。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-10
压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-11
静电的工艺控制。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-17
统计过程控制。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-11
测试结果
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–17
加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-17
介质兼容性概述
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–18
压力传感器概述
一般信息。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-7
摩托罗拉压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-8
集成。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-12
传感器应用。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-13
压力传感器的常见问题解答。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-14
数据表
MPX10 , MPXV10GC系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-15
MPX12系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-19
MPX2010 , MPXV2010G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-23
MPX2050系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-27
MPX2053 , MPXV2053G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-31
MPX2100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-35
MPX2102 , MPXV2102G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-39
MPX2200系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-43
MPX2202 , MPXV2202G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-47
MPX2300DT1 , MPX2301DT1 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-51
MPX4080D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-54
MPX4100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-59
MPX4100A , MPXA4100A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-64
MPX4101A MPXA4101A , MPXH6101A系列。 。 。 。 3-70
MPX4105A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-75
MPX4115A , MPXA4115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-79
MPX4200A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-84
MPX4250A , MPXA4250A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-88
MPX4250D系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-93
MPX5010 , MPXV5010G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-97
MPX5050 , MPXV5050G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-103
MPX5100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-108
MPX53 , MPXV53GC系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-114
MPX5500系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-118
MPX5700系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-122
MPX5999D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-126
MPXA6115A , MPXH6115A 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-130
MPXAZ4100A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-135
MPXAZ4115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-140
MPXAZ6115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-145
MPXC2011DT1 , MPXC2012DT1 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-150
MPXH6300A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-153
MPXM2010系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-158
MPXM2053系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-161
MPXM2102系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-164
MPXM2202系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-167
MPXV4006G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-170
MPXV4115V系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-174
MPXV5004G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-179
MPXV6115VC6U 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-183
应用笔记
AN935
在补偿非线性
MPX10系列压力变送器。 。 。 3-188
AN936
安装技术,引线成型
和摩托罗拉MPX系列测试
MPX10系列压力传感器。 。 。 。 。 。 3-195
AN1082
简单的设计一个3-20 mA变送器
界面使用摩托罗拉
压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-200
(续 - 下页)
飞思卡尔半导体公司...
第二节 - 加速度传感器产品
迷你选型指南
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–2
设备编号系统
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–2
传感器应用
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–3
加速度传感器的常见问题解答
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–4
数据表
MMA1200D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-5
MMA1201P 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-12
MMA1220D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-18
MMA1250D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-24
MMA1260D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-30
MMA1270D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-36
MMA2201D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-42
MMA2202D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-48
MMA3201D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 55
应用笔记
AN1559
申请注意事项交换
电容加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 62
AN1611
影响和倾斜测量
使用加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-65
AN1612
震动和静音寻呼应用
使用加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-77
AN1632
MMA1201P产品概述
和接口注意事项。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 84
AN1635
棒球间距测速仪。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 89
AN1640
降低加速度计
易患BCI 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-101
AN1925
使用摩托罗拉的加速度
评估板。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 104
案例大纲
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–107
术语表
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–109
第三节 - 压力传感器产品
迷你选型指南
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–2
设备编号系统
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–4
封装选择
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–5
订购的部件编号
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–6
v
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摩托罗拉
半导体技术资料
订购此文件
由MPX5010 / D
MPX5010
集成硅压力传感器
片内信号调节,
温度补偿
和校准
该MPX5010系列压阻式传感器是国家的最先进的单片硅
压力传感器设计用于广泛的应用范围,但特别是那些
采用微控制器或微处理器与A / D输入。这项专利,单
晶探头结合先进的微机械加工技术,薄膜metalliza-
化,和双极型处理,以提供准确的,高水平的模拟输出信号,即
正比于所施加的压力。
特点
5.0 %,最大误差在0 °到85°C
非常适合于微处理器或微控制器为基础的系统
专利的硅剪应力应变计
耐用的环氧树脂承载式车身元素
温度补偿过
基本CHIP
载体部件
CASE 867-08 ,风格1
系列
集成
压力传感器
0至10千帕( 0 1.45 psi)的
0.2 4.7 V输出
*
40 °C至+ 125°C
VS
3
X -能器
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
增益级# 1
2
GND
增益级# 2
参考
位移电路
1
VOUT
迪FF erential
端口选项
CASE 867C -05 ,风格1
引脚4 , 5和6是无连接
引脚数
1
2
3
VOUT
GND
VS
4
5
6
N / C
N / C
N / C
图1.完全集成压力传感器的原理
最大额定值( 1 )
参数变化
过压(2)( P 1 > P2)的
爆裂压力( 2)( P 1 > P2)的
储存温度
工作温度
符号
P最高
Pburst
TSTG
TA
价值
75
100
- 40 + 125
- 40 + 125
单位
°C
°C
注:引脚4,5 ,和6是内部
设备连接。不要连接
到外部电路或接地。销1
注意通过在引线的切口。
1, TC = 25 ° C除非另有说明。
2.暴露超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
Senseon和X -能器是Motorola,Inc.的商标。
REV 2
摩托罗拉传感器设备数据
摩托罗拉1997年公司
1
MPX5010系列
工作特性
( VS = 5.0伏, TA = 25 ° C除非另有说明, P1 > P2 )
特征
压力范围( 1 )
电源电压( 2 )
电源电流
最小压力失调( 3 )
@ VS = 5.0伏特
满量程输出( 4 )
@ VS = 5.0伏特
满量程( 5 )
@ VS = 5.0伏特
Accuracy(6)
灵敏度
响应时间( 7)
输出源电流满量程输出
预热时间( 8 )
偏置稳定性( 9 )
(0至85℃ )
(0至85℃ )
(0至85℃ )
(0至85℃ )
符号
POP
VS
Io
VOFF
Vfso
VFSS
V / P
tR
IO +
0
4.75
0
4.475
典型值
5.0
7.0
0.2
4.7
4.5
450
1.0
0.1
20
±
0.5
最大
10
5.25
10
0.425
4.925
±
5.0
单位
VDC
MADC
VDC
VDC
VDC
% VFSS
毫伏/帕
ms
MADC
ms
% VFSS
机械特性
特征
重量,基本元素(案例867 )
共模线压力( 10 )
符号
典型值
4.0
最大
690
单位
注意事项:
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。
3.偏移( Voff时)被定义为输出电压在最小额定压力。
4.满量程输出( VFSO )被定义为输出电压在最大或满额定压力。
5.满量程( VFSS )被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
6.精度(误差预算)由以下部分组成:
线性:
输出偏离与压力超过规定的压力范围内的直线关系。
温度滞后:在工作温度范围内的任意温度输出偏差后的温度是
循环,并从最小或最大操作温度点,零压差
应用。
压力滞后:
在指定范围内的任何压力输出偏差时,该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力,在25℃下。
TcSpan :
输出偏差在0 °至85℃ ,相对于25 ℃的温度范围内。
TcOffset :
与最小额定压力输出偏差施加,在0 °至85 ℃的温度范围内,相对
至25℃ 。
变异的名义:从标称值,偏移和满量程的变化,作为VFSS的百分比,在25 ℃。
当经受7.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定的步骤的变化压力。
8.预热被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后,所需的产物的时间。
9.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
超出指定什么10.共模的压力可能会导致泄漏的情况下,对引线的界面。
2
摩托罗拉传感器设备数据
MPX5010系列
片上温度补偿,校准和信号调理
图2示出了差分/计传感芯片中
基本的芯片载体(案例867 ) 。氟硅凝胶分离
从环境的模具表面和引线键合,而
允许压力信号被传输到传感器
隔膜。
该MPX5010系列压力传感器工作character-
istics ,和内部的可靠性和鉴定试验的基础
在使用干燥空气作为压力介质。媒体,比干其他
空气,可对传感器的性能和副作用
长期可靠性。与工厂联系信息
就在你的应用程序的介质兼容性。
图3示出了用于连接一个典型的去耦电路
集成传感器与微处理器的A / D输入。
建议适当的去耦电源。
图4示出了输出信号相对于所述传感器到压力
请务必输入。典型的,最小和最大输出曲线
示工作在0°到的温度范围内
85 ℃下使用下面的去耦电路。 (输出将卫星 -
指定的压力范围之外的尿酸盐)。
硅胶
模涂
引线键合
DIE
P1
不锈钢
金属盖
MPX5010
产量
(引脚1)
50 pF的
51 k
A / D
引线框架
输出(V )
摩托罗拉传感器设备数据
P2
环氧情况
处理器
RTV DIE
BOND
图2横截面图
(不按比例)
图3.典型的去耦滤波的传感器来
微处理器接口
5.0
传递函数为:
4.5 V = V * ( 0.09 * P + 0.04 )
±
错误
输出S
VS = 5.0伏
4.0
TEMP = 0 85 ℃下
3.5
3.0
2.5
2.0
1.5
1.0
0.5
0
0
1
2
4
5
6
8
3
7
压差(千帕)
9
10
11
最大
典型
图4.输出与差压
3
MPX5010系列
传递函数( MPX5010D )
标称传输值:
VOUT = VS ×( 0.09 X P + 0.04 )
标称传输值:
±
(压力误差X温度系数X 0.09 X VS )
标称传输值:
VS = 5.0 V
±
0.25伏
温度误差带
MPX5010D系列
4.0
3.0
温度
错误
因素
2.0
1.0
0.0
–40
–20
0
20
40
60
80
100
120
140
温度
– 40
0到85
+125
倍增器
3
1
3
在C°温度
注:该温度乘数是从0°线性响应至-40 ℃,并从85°至125°C 。
压力误差带
0.5
0.4
0.3
压力误差(千帕)
0.2
0.1
0
–0.1
–0.2
–0.3
–0.4
–0.5
压力
0至10千帕
误差(最大值)
±
0.5千帕
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
压(kPa )
4
摩托罗拉传感器设备数据
MPX5010系列
压力( P 1 ) /真空(P2)的侧面识别表
摩托罗拉表示压力传感器的双方
作为压力( P1)侧和真空(P2)的一侧。该
压力(P1)的一侧是含有氟的有机硅凝胶的侧
其保护免受恶劣介质模具。摩托罗拉MPX
压力传感器被设计为具有正differen-操作
TiAl金属施加压力, P1 > P2 。
的压力( P1)的一侧可以通过使用表中识别
如下:
压力(P1)的
侧标识
不锈钢帽
方用最热
方用端口连接
不锈钢帽
方用端口连接
不锈钢帽
方用端口连接
不锈钢帽
产品型号
MPX5010D
MPX5010DP
MPX5010GP
MPX5010GVP
MPX5010GS
MPX5010GVS
MPX5010GSX
MPX5010GVSX
案例类型
867–08C
867C–05
867B–04
867D–04
867E–03
867A–04
867F–03
867G–03
订购信息
的MPX5010压力传感器是在差动和压力计配置。设备在基本的元素可用
包换包或压口接头提供印刷电路板安装方便和刺喉的压力连接
系统蒸发散。
MPX系列
设备类型
I T
基本元素
移植的要素
迪FF erential
差分双端口
压力表真空口
压力表,轴向
真空压力表轴向
压力表,轴向PC山
真空压力表轴向PC安装
选项
O I
案例类型
C
T
867–08
867C–05
867B–04
867D–04
867E–03
867A–04
867F–03
867G–03
订单号
MPX5010D
MPX5010DP
MPX5010GP
MPX5010GVP
MPX5010GS
MPX5010GVS
MPX5010GSX
MPX5010GVSX
器件标识
MPX5010D
MPX5010DP
MPX5010GP
MPX5010GVP
MPX5010D
MPX5010D
MPX5010D
MPX5010D
摩托罗拉传感器设备数据
5
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