摩托罗拉
半导体技术资料
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由MPX2200 / D
该MPX2200和MPX2201系列设备是硅压阻式压力传感器
提供一种高度精确的和线性的电压输出 - 成正比的
施加的压力。该传感器是一个单片硅膜片的应变
测量和薄膜电阻网络集成在芯片上。该芯片激光调整,
精确的量程和偏移校正和温度补偿。它们被设计
对于在应用中,如泵/马达控制器,机器人,液位指示器,医疗用
诊断,压力开关,气压计,高度计等。
特点
温度补偿在0 ° C至+ 85°C
专利的硅剪应力应变计
±
0.25 %,线性度( MPX2200D )
易于使用的芯片载体封装
提供绝压,差压和表压配置
应用实例
泵/电机控制器
机器人
一级指标
医疗诊断
压力开关
气压表
高度表
图1示出的内部电路上的独立的方框图
压力传感器芯片。
VS
3
薄膜
温度
赔偿金
和
校准
电路
200千帕
片上温度
补偿&校准
压力传感器
MPX2200
MPX2201
系列
摩托罗拉的首选设备
0到200千帕( 0 29 psi)的
40 mV的满量程
(典型值)
基本CHIP
载体部件
CASE 344-15 ,风格1
迪FF erential
端口选项
CASE 344C -01 ,风格1
注: 1脚是缺口引脚。
X -能器
传感
元素
2
4
VOUT +
引脚数
VOUT =
1
2
GND
+ VOUT
3
4
VS
ΔVOUT
1
GND
图1.温度补偿压力传感器的原理
电压输出与应用差压
在X -能器的差分电压输出正比于差分
施加压力。
绝对传感器具有一个内置的基准真空。输出电压将减小
如真空,相对于周围环境,被描绘在压力(P1)的一侧。
的随差分或测量传感器的输出电压增加
压力施加到相对于真空(P2)侧的压力(P1)的一侧。同样,
输出电压随着增大施加真空至真空(P2)的侧
相对于压力(P1)的一侧。
首选
设备是摩托罗拉建议以供将来使用和最佳的总体值的选择。
Senseon和X -能器是Motorola,Inc.的商标。
第七版
摩托罗拉传感器设备数据
摩托罗拉1997年公司
1
MPX2200 MPX2201系列
最大额定值
等级
过压(8)( P 1 > P2)的
爆破压力( 8 ) ( P1 > P2 )
储存温度
工作温度
符号
P最高
Pburst
TSTG
TA
价值
400
2000
- 40 + 125
- 40 + 125
单位
帕
帕
°C
°C
工作特性
( VS = 10 VDC , TA = 25 ° C除非另有说明, P1 > P2 )
特征
压力范围( 1 )
电源电压
电源电流
满量程( 3 )
Offset(4)
MPX2200A , MPX2200D , MPX2201D
MPX2201A
MPX2200A , MPX2200D
MPX2200A
MPX2201A
符号
POP
VS
Io
VFSS
VOFF
民
0
—
—
38.5
37.5
–1.0
– 2.0
– 3.0
—
– 0.25
– 1.0
– 0.5
– 2.0
—
—
–1.0
–1.0
1300
1400
—
—
—
典型值
—
10
6.0
40
40
—
—
—
0.2
—
—
—
—
±
0.1
±
0.5
—
—
—
—
1.0
20
±
0.5
最大
200
16
—
41.5
42.5
1.0
2.0
3.0
—
0.25
1.0
0.5
2.0
—
—
1.0
1.0
2500
3000
—
—
—
单位
帕
VDC
MADC
mV
mV
灵敏度
Linearity(5)
ΔV / ΔP
MPX2200D
MPX2200A
MPX2201D
MPX2201A
—
毫伏/帕
% VFSS
压力滞后( 5)( 0至200千帕)
温度迟滞( 5 ) ( - 40 ° C至+ 125°C )
在满量程温度影响( 5 )
温度效应所抵消( 5 )
输入阻抗
输出阻抗
响应时间( 6) (10%至90%)的
热身
偏置稳定性( 9 )
—
—
TCVFSS
TCVoff
寻
ZOUT
tR
—
—
% VFSS
% VFSS
% VFSS
mV
ms
ms
% VFSS
机械特性
特征
重量(基本元素案例344-15 )
共模线压力( 7 )
符号
—
—
民
—
—
典型值
2.0
—
最大
—
690
单位
克
帕
注意事项:
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误,由于设备自身的发热。
3.满量程( VFSS )被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移( Voff时)被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度(误差预算)由以下部分组成:
线性:
从具有压力的直线关系输出偏差,采用终点法,通过所指定的
压力范围。
温度滞后:在工作温度范围内的任意温度输出偏差后的温度是
循环,并从最小或最大操作温度点,零压差
应用。
压力滞后:
在指定范围内的任何压力输出偏差时,该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力,在25℃下。
TcSpan :
输出偏差超过0 85 ℃的温度范围内充分的额定压力,相对于25 ℃。
TcOffset :
与最小额定压力输出偏差施加,在0的温度范围内,以85 ℃,相对
至25℃ 。
当经受6.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定的步骤的变化压力。
超出规定7.共模的压力可能会导致泄漏的情况下对引线接口。
8.接触超过这些限制可能造成永久性损坏或退化到设备。
9.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
2
摩托罗拉传感器设备数据
MPX2200 MPX2201系列
压力( P 1 ) /真空(P2)的侧面识别表
摩托罗拉表示压力传感器的双方
作为压力( P1)侧和真空(P2)的一侧。该
压力(P1)的一侧是含有聚硅氧烷凝胶的侧
它可以隔离来自环境的模具。微分
或压力表传感器的设计与正面differen-操作
产品型号
MPX2200A
MPX2200DP
MPX2200AP
MPX2200GVP
MPX2200AS
MPX2200GVS
MPX2200ASX
MPX2200GSX
MPX2201GSX
MPX2200GS
MPX2200GP
MPX2200D
MPX2201DP
MPX2201GP
TiAl金属施加压力, P1 > P2 。绝对的传感器是DE-
签署应用到P1侧真空。
的压力( P1)的一侧可以通过使用被识别
下表:
案例类型
344–15–
344C–01
344B–01
344D–01
344E–01
344A–01
344F–01
压力( P1 )侧面标识
不锈钢帽
方用最热
方用端口连接
不锈钢帽
方用端口连接
不锈钢帽
方用端口连接
订购信息
MPX2200系列压力传感器是绝对的,微分和仪表的配置。设备可用
基本要素包或带压口接头,其提供的印刷电路板安装方便和刺喉
压力连接。
MPX系列
设备类型
I T
基本元素
移植的要素
选项
O I
绝压,差压
迪FF erential
绝压
案例类型
C
T
CASE 344-15
CASE 344C -01
CASE 344B -01
订单号
MPX2200A
MPX2200D
MPX2200DP
MPX2201DP
MPX2200AP
MPX2200GP
MPX2201GP
MPX2200GVP
MPX2200AS
MPX2200GS
MPX2200GVS
MPX2200ASX
MPX2200GSX
MPX2201GSX
器件标识
MPX2200A
MPX2200D
MPX2200DP
MPX2201DP
MPX2200AP
MPX2200GP
MPX2201GP
MPX2200GVP
MPX2200A
MPX2200D
MPX2200D
MPX2200A
MPX2200D
MPX2201D
真空压力表
绝压炉管
计真空炉管
绝压推力
CASE 344D -01
CASE 344E -01
CASE 344A -01
CASE 344F -01
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摩托罗拉传感器设备数据