摩托罗拉
半导体技术资料
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由MPX2100 / D
100千帕
片上温度
补偿&校准
硅压力传感器
MPX2100
MPX2101
系列
摩托罗拉的首选设备
该MPX2100和MPX2101系列设备是硅压阻式压力传感器
提供一种高度精确的和线性的电压输出 - 成正比的
施加的压力。该传感器是一个单一的，整体的硅膜片上的应变
测量和薄膜电阻网络集成在芯片上。该芯片激光调整，
精确的量程和偏移校正和温度补偿。
特点
温度补偿在0 ° C至+ 85°C
独特的硅剪应力应变计
易于使用的芯片载体封装选项
提供绝压，差压和表压配置
供电电压成正比
±
0.25 ％，线性度（ MPX2100D ）
应用实例
泵/电机控制器
机器人
一级指标
医疗诊断
压力开关
气压表
高度表
图1示出的内部电路上的独立的方框图
压力传感器芯片。
VS
3
薄膜
温度
赔偿金
和
校准
电路
0 100千帕（ 0 14.5 psi）的
40 mV的满量程
（典型值）
基本CHIP
载体部件
CASE 344-15 ，风格1
迪FF erential
端口选项
CASE 344C -01 ，风格1
注： 1脚是缺口引脚。
X -能器
传感
元素
2
4
VOUT +
引脚数
VOUT =
1
2
GND
+ VOUT
3
4
VS
ΔVOUT
1
GND
图1.温度补偿压力传感器的原理
电压输出与应用差压
在X -能器的差分电压输出正比于差分
施加压力。
绝对传感器具有一个内置的基准真空。输出电压将减小
如真空，相对于周围环境，被描绘在压力（P1）的一侧。
的随差分或测量传感器的输出电压增加
压力施加到相对于真空（P2）侧的压力（P1）的一侧。同样，
输出电压随着增大施加真空至真空（P2）的侧
相对于压力（P1）的一侧。
首选
设备是摩托罗拉建议以供将来使用和最佳的总体值的选择。
Senseon和X -能器是Motorola，Inc.的商标。
REV 6
摩托罗拉传感器设备数据
摩托罗拉1997年公司
1
MPX2100 MPX2101系列
最大额定值
等级
过压（8）（ P 1 > P2）的
爆破压力（ 8 ） （ P1 > P2 ）
储存温度
工作温度
符号
P最高
Pburst
TSTG
TA
价值
400
1000
- 40 + 125
- 40 + 125
单位
帕
帕
°C
°C
工作特性
（ VS = 10 VDC ， TA = 25 ° C除非另有说明， P1 > P2 ）
特征
压力范围（ 1 ）
电源电压（ 2 ）
电源电流
满量程（ 3 ）
Offset(4)
MPX2100A ， MPX2100D ， MPX2101D
MPX2101A
MPX2100D ， MPX2101D
MPX2100A
MPX2101A
符号
POP
VS
Io
VFSS
VOFF
民
0
—
—
38.5
37.5
–1.0
– 2.0
– 3.0
—
– 0.25
– 1.0
– 0.5
– 2.0
—
—
–1.0
–1.0
1000
1400
—
—
—
典型值
—
10
6.0
40
40
—
—
—
0.4
—
—
—
—
±
0.1
±
0.5
—
—
—
—
1.0
20
±
0.5
最大
100
16
—
41.5
42.5
1.0
2.0
3.0
—
0.25
1.0
0.5
2.0
—
—
1.0
1.0
2500
3000
—
—
—
单位
帕
VDC
MADC
mV
mV
灵敏度
Linearity(5)
MPX2100D
MPX2100A
MPX2101D
MPX2101A
ΔV / ΔP
—
—
毫伏/帕
％ VFSS
压力滞后（ 5） （0至100千帕）
温度迟滞（ 5 ） （ - 40 ° C至+ 125°C ）
在满量程温度影响（ 5 ）
温度效应所抵消（ 5 ）
输入阻抗
输出阻抗
响应时间（ 6） （10％至90％）的
热身
偏置稳定性（ 9 ）
—
—
TCVFSS
TCVoff
寻
ZOUT
tR
—
—
％ VFSS
％ VFSS
％ VFSS
mV
ms
ms
％ VFSS
机械特性
特征
重量（基本元素案例344-15 ）
共模线压力（ 7 ）
符号
—
—
民
—
—
典型值
2.0
—
最大
—
690
单位
克
帕
注意事项：
1. 1.0千帕（千帕）等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误，由于设备自身的发热。
3.满量程（ VFSS ）被定义为输出电压之间在全额定压力，并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移（ Voff时）被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度（误差预算）由以下部分组成：
线性：
从具有压力的直线关系输出偏差，采用终点法，通过所指定的
压力范围。
温度滞后：在工作温度范围内的任意温度输出偏差后的温度是
循环，并从最小或最大操作温度点，零压差
应用。
压力滞后：
在指定范围内的任何压力输出偏差时，该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力，在25℃下。
TcSpan ：
输出偏差超过0 85 ℃的温度范围内充分的额定压力，相对于25 ℃。
TcOffset ：
与最小额定压力输出偏差施加，在0的温度范围内，以85 ℃，相对
至25℃ 。
当经受6.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化，从10％至到90 ％，其最终值的
指定的步骤的变化压力。
超出规定7.共模的压力可能会导致泄漏的情况下对引线接口。
8.接触超过这些限制可能造成永久性损坏或退化到设备。
9.偏置稳定性是产品的输出偏差时，受到1000小时脉冲压力，温度循环有偏差测试。
2
摩托罗拉传感器设备数据
MPX2100 MPX2101系列
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式：输出电压= Voff的+药敏X P在工作
压力范围。有两种基本的方法来计算
非线性：（1）端点的直线拟合（见图2）或（2）
最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出
的“最佳情况”的线性误差（低级数值），则
所需的计算是沉重的负担。
相反地，一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
（通常多在误差预算计算期望的）和
计算更加简单明了的用户。摩托罗拉
指定的压力传感器非线性是基于端
点直线法测得的端
压力。
最小二乘法拟合
相对电压输出
夸大
性能
曲线
至少
方
偏差
直线
偏差
终点
直线拟合
OFFSET
0
50
压力（ ％满量程）
100
图2.线性度规格比较
片上温度补偿和校准
图3示出了MPX2100的输出特性
系列，在25℃ 。的输出是正比于
压差和基本上是一条直线。
温度对满量程和失调的影响
是非常小的，并在工作Characteris-显示
抽动。
40
35
OUTPUT （ MVDC ）
30
25
20
15
10
5
0
–5
VS = 10 VDC
TA = 25°C
P1 P2 >
最大
典型值
跨度
范围
（典型值）
民
帕
PSI
0
25
3.62
50
7.25
75
10.87
100
14.5
OFFSET
（典型值）
图3.输出与差压
硅凝胶
模涂
引线键合
引线键合
引线框架
差分/压力表元
P2
DIE
BOND
引线框架
图4的横截面图（不按比例）
图4示出了绝对传感结构
（右）和在基本差分或测量仪配置
芯片载体（案例344-15 ） 。有机硅凝胶隔离模
面和引线键从环境中，同时允许
压力信号被传输到硅
隔膜。
该MPX2100系列压力传感器工作字符
开创性意义和内在的可靠性和资格测试
根据使用的干燥空气作为压力介质。其他媒体
较干燥的空气可能对传感器perfor-不良影响
曼斯和长期可靠性。联系工厂IN-
就在你的应用程序的介质兼容性的形成。
摩托罗拉传感器设备数据
ABSOLUTE元
P2
差分/压力表
不锈钢
DIE
金属盖
P1
环氧树脂
例
硅凝胶绝对
模涂
DIE
P1
不锈钢
金属盖
环氧树脂
例
DIE
BOND
3
MPX2100 MPX2101系列
压力（ P 1 ） /真空（P2）的侧面识别表
摩托罗拉表示压力传感器的双方
作为压力（ P1）侧和真空（P2）的一侧。该
压力（P1）的一侧是含有聚硅氧烷凝胶的侧
它可以隔离芯片。差分或计传感器
设计为具有正压差操作
产品型号
MPX2100A
MPX2100DP
MPX2100AP
MPX2100GVP
MPX2100AS
MPX2100GVS
MPX2100ASX
MPX2100GVSX
MPX2100GSX
MPX2101GSX
MPX2100GP
MPX2100D
MPX2101A
MPX2101DP
MPX2101AP
MPX2101GVP
MPX2101GP
应用， P1 > P2 。绝对传感器被设计为
真空施加到P1侧。
的压力（ P1）的一侧可以通过使用被识别
下表：
案例类型
344–15C
344C–01
344B–01
344D–01
344E–01
344A–01
344F–01
344G–01
压力（ P1 ）侧面标识
不锈钢帽
方用最热
方用端口连接
不锈钢帽
方用端口连接
不锈钢帽
方用端口连接
不锈钢帽
订购信息
MPX2100系列压力传感器是绝对的，微分和仪表的配置。设备可用
基本要素包或带压口接头，其提供的印刷电路板安装方便和刺喉
压力连接。
MPX系列
设备类型
I T
基本元素
选项
O I
绝压，差压
案例类型
C
T
CASE 344-15
订单号
MPX2100A
MPX2100D
MPX2101A
MPX2100DP
MPX2101DP
MPX2100AP
MPX2100GP
MPX2101AP
MPX2101GP
MPX2100GVP
MPX2101GVP
MPX2100AS
MPX2100GS
MPX2100GVS
MPX2100ASX
MPX2100GSX
MPX2101GSX
MPX2100GVSX
器件标识
MPX2100A
MPX2100D
MPX2101A
MPX2100DP
MPX2101DP
MPX2100AP
MPX2100GP
MPX2101AP
MPX2101GP
MPX2100GVP
MPX2101GVP
MPX2100A
MPX2100D
MPX2100D
MPX2100A
MPX2100D
MPX2101D
MPX2100D
移植的要素
迪FF erential
绝压
CASE 344C -01
CASE 344B -01
真空压力表
绝压炉管
计真空炉管
绝压推力
CASE 344D -01
CASE 344E -01
CASE 344A -01
CASE 344F -01
真空压力表轴向
CASE 344G -01
4
摩托罗拉传感器设备数据
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