压力
飞思卡尔半导体公司
+
MPX2050
第9版, 10/2008
50千帕片内温度
补偿和校准
硅压力传感器
MPX2050
系列
0至50千帕( 0 7.25 psi)的
40 mV的满量程
(典型值)
该MPX2050系列器件的硅压阻式压力传感器
提供一种高度精确的和线性的电压输出,直接正比于
施加的压力。该传感器是一个单一的,整体的硅膜片上的
应变仪和薄膜电阻网络集成在芯片上。该芯片是激光
修剪精确范围和偏移校正和温度补偿。
应用实例
特点
温度补偿在0 ° C至+ 85°C
独特的硅剪应力应变计
易于使用的芯片载体封装选项
供电电压成正比
差分和计选项
±0.25%
线性
泵/电机控制器
机器人
一级指标
医疗诊断
压力开关
无创血压
订购信息
包
例
选项
号
一体成型机身包( MPX2050系列)
MPX2050D
TRAY
344
MPX2050GP
TRAY
344B
设备名称
MPX2050DP
MPX2050GSX
TRAY
TRAY
344C
344F
无
#端口
单身
双
规
压力式
迪FF erential
绝对
器件标识
MPX2050D
MPX2050GP
MPX2050DP
MPX2050D
套餐
MPX2050D
CASE 344-15
MPX2050GP
CASE 344B -01
MPX2050DP
CASE 344C -01
MPX2050GSX
CASE 344F -01
飞思卡尔半导体公司, 2002年, 2008年。保留所有权利。
压力
工作特性
表1.工作特性
(V
S
= 10 VDC ,T
A
= 25℃,除非另有说明, P1 > P2)的
特征
压力范围
(1)
电源电压
(2)
电源电流
满量程
(3)
OFFSET
(4)
灵敏度
线性
(5)
压力滞后
(5)
(0至50千帕)
温度迟滞
(5)
( -40°C至+ 125°C )
在满量程温度影响
(5)
在补偿温度效应
(5)
输入阻抗
输出阻抗
响应时间
(6)
(10%至90%)的
热身
偏移稳定性
(7)
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误,由于设备自身的发热。
3.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度(误差预算)由以下部分组成:
线性度:从具有压力的直线关系输出偏差,采用终点的方法,在指定的压力范围内。
温度滞后:在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差,温度之后被循环到并
从最小或最大操作温度点,零压差施加。
压力滞后:在指定范围内的任意压力输出的偏差,当此压力被循环到并从最小或
最大额定压力,在25℃下。
TcSpan :超过0 85C ,相对于25C的温度范围内全额定压力输出偏差。
TcOffset :与最小额定压力输出偏差施加,在0至85℃的温度范围内,相对于25 ℃。
当受到6.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定步骤压力的变化。
7.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
符号
P
OP
V
S
I
o
V
FSS
V
关闭
ΔV / ΔP
—
—
—
TCV
FSS
TCV
关闭
Z
in
Z
OUT
t
R
—
—
民
0
—
—
38.5
-1.0
—
-0.25
—
—
-1.0
-1.0
1000
1400
—
—
—
典型值
—
10
6.0
40
—
0.8
—
±0.1
±0.5
-
-
-
-
1.0
20
±0.5
最大
50
16
—
41.5
1.0
—
0.25
—
—
1.0
1.0
2500
3000
—
—
—
单位
帕
VDC
MADC
mV
mV
毫伏/帕
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
mV
Ω
Ω
ms
ms
%V
FSS
MPX2050
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
压力
最大额定值
表2.最大额定值
(1)
等级
最大压力( P1 > P2 )
储存温度
工作温度
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
200
-40到+125
-40到+125
单位
帕
°C
°C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式: V
OUT
= V
关闭
+灵敏度X P在工作
压力范围。有两种基本的方法来计算
非线性:(1)端点的直线拟合(见
图2)
或(2)
最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出了
“最好情况”的线性误差(低级数值),则
所需的计算是沉重的负担。
相反地,一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
(通常多在误差预算计算期望的)和
计算更加简单明了的用户。摩托罗拉
指定的压力传感器非线性是基于端
点直线法测得的端
压力。
最小二乘法拟合
夸大
性能
曲线
至少
方
偏差
相对电压输出
直线
偏差
终点
直线拟合
OFFSET
0
50
压力( %满量程)
100
图2.线性度规格比较
MPX2050
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
摩托罗拉
半导体技术资料
订购此文件
由MPX2050 / D
50千帕
片上温度
补偿&校准
硅压力传感器
该MPX2050系列设备是硅压阻式压力传感器提供
高度精确的和线性的电压输出 - 正比于所施加的压力。
该传感器是一个单一的,整体的硅膜片上的应变仪和薄膜
电阻网络集成在芯片上。该芯片是激光调整,精确范围和偏移
校准和温度补偿。
特点
温度补偿在0 ° C至+ 85°C
独特的硅剪应力应变计
易于使用的芯片载体封装选项
供电电压成正比
差分和计选项
±0.25%
线性度( MPX2050 )
应用实例
泵/电机控制器
机器人
一级指标
医疗诊断
压力开关
无创血压测量
图1示出的内部电路上的独立压力的方框图
传感器芯片。
V
S
3
薄膜
温度
赔偿金
和
校准
电路
1
GND
MPX2050
系列
0至50千帕( 0 7.25 psi)的
40 mV的满量程
(典型值)
MPX2050D
CASE 344
MPX2050GP
CASE 344B
2
4
传感
元素
V
OUT +
V
OUT-
MPX2050DP
CASE 344C
图1.温度补偿压力传感器的原理
电压输出与应用差压
传感器的差分电压输出正比于差分
施加压力。
的随差分或测量传感器的输出电压增加
压力施加到压力侧(P1)相对于所述真空侧(P2) 。同样,
输出电压随着增加真空施加到真空侧(P2)的
相对于所述压力侧(P1)。
1
2
MPX2050GSX
CASE 344F
引脚数
GND
+V
OUT
3
4
V
S
–V
OUT
注:1脚是注意到在缺口
领先。
转8
摩托罗拉传感器
摩托罗拉公司,2002年
设备数据
1
MPX2050系列
最大额定值
(注)
等级
最大压力( P1 > P2 )
储存温度
工作温度
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
200
-40到+125
-40到+125
单位
帕
°C
°C
注:曝光超过规定的限制可能会造成永久性的损坏或退化到设备。
工作特性
(V
S
= 10 VDC ,T
A
= 25℃,除非另有说明, P1 > P2)的
特征
压力范围
(1)
电源电压
(2)
电源电流
满量程
(3)
OFFSET
(4)
灵敏度
线性
(5)
压力滞后
(5)
(0至50千帕)
温度迟滞
(5)
( -40 ° C至+ 125°C )
在满量程温度影响
(5)
在补偿温度效应
(5)
输入阻抗
输出阻抗
响应时间
(6)
(10%至90%)的
热身
偏移稳定性
(7)
MPX2050
MPX2050
MPX2050
符号
P
OP
V
S
I
o
V
FSS
V
关闭
ΔV / ΔP
—
—
—
TCV
FSS
TCV
关闭
Z
in
Z
OUT
t
R
—
—
民
0
—
—
38.5
–1.0
—
–0.25
—
—
–1.0
–1.0
1000
1400
—
—
—
典型值
—
10
6.0
40
—
0.8
—
±0.1
±0.5
—
—
—
—
1.0
20
±0.5
最大
50
16
—
41.5
1.0
—
0.25
—
—
1.0
1.0
2500
3000
—
—
—
单位
帕
VDC
MADC
mV
mV
毫伏/帕
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
mV
ms
ms
%V
FSS
注意事项:
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误,由于设备自身的发热。
3.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度(误差预算)由以下部分组成:
线性:
从具有压力的直线关系输出偏差,采用终点法,通过所指定的
压力范围。
温度滞后:在工作温度范围内的任意温度输出偏差后的温度是
循环,并从最小或最大操作温度点,零压差
应用。
压力滞后:
在指定范围内的任何压力输出偏差时,该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力,在25℃下。
TcSpan :
输出偏差超过0 85 ℃的温度范围内充分的额定压力,相对于25 ℃。
TcOffset :
与最小额定压力输出偏差施加,在0的温度范围内,以85 ℃,相对
至25℃ 。
当经受6.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定的步骤的变化压力。
7.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
2
摩托罗拉传感器设备数据
MPX2050系列
压力( P 1 ) /真空(P2)的侧面识别表
摩托罗拉表示压力传感器的双方
作为压力( P1)侧和真空(P2)的一侧。该
压力(P1)的一侧是含有聚硅氧烷凝胶的侧
它可以隔离芯片。摩托罗拉MPX压力传感器
产品型号
MPX2050D
MPX2050DP
MPX2050GP
MPX2050GSX
设计为具有正压差操作
应用, P1 > P2 。
的压力( P1)的一侧可以通过使用被识别
下表:
案例类型
344
344C
344B
344F
压力( P1 )侧面标识
不锈钢帽
方用最热
方用端口连接
方用端口连接
订购信息
MPX2050系列压力传感器是差分和仪表的配置。器件采用基本
元件封装或带压口接头,其提供的印刷电路板安装方便和刺喉的压力
连接。
MPX系列
设备类型
基本元素
移植的要素
迪FF erential
差分,双端口
规
计轴PC安装
选项
案例类型
344
344C
344B
344F
订单号
MPX2050D
MPX2050DP
MPX2050GP
MPX2050GSX
器件标识
MPX2050D
MPX2050DP
MPX2050GP
MPX2050D
4
摩托罗拉传感器设备数据
摩托罗拉
飞思卡尔半导体公司
存档的飞思卡尔半导体公司。 2005年
半导体技术资料
订购此文件
由MPX2050 / D
50千帕
片上温度
补偿&校准
硅压力传感器
该MPX2050系列设备是硅压阻式压力传感器提供
高度精确的和线性的电压输出 - 正比于所施加的压力。
该传感器是一个单一的,整体的硅膜片上的应变仪和薄膜
电阻网络集成在芯片上。该芯片是激光调整,精确范围和偏移
校准和温度补偿。
特点
温度补偿在0 ° C至+ 85°C
MPX2050
系列
0至50千帕( 0 7.25 psi)的
40 mV的满量程
(典型值)
飞思卡尔半导体公司...
独特的硅剪应力应变计
存档的飞思卡尔半导体公司。 2005年
易于使用的芯片载体封装选项
供电电压成正比
差分和计选项
±0.25%
线性度( MPX2050 )
应用实例
泵/电机控制器
机器人
一级指标
医疗诊断
压力开关
无创血压测量
图1示出的内部电路上的独立压力的方框图
传感器芯片。
V
S
3
薄膜
温度
赔偿金
和
校准
电路
1
GND
MPX2050D
CASE 344
MPX2050GP
CASE 344B
2
4
传感
元素
V
OUT +
V
OUT-
MPX2050DP
CASE 344C
图1.温度补偿压力传感器的原理
电压输出与应用差压
传感器的差分电压输出正比于差分
施加压力。
的随差分或测量传感器的输出电压增加
压力施加到压力侧(P1)相对于所述真空侧(P2) 。同样,
输出电压随着增加真空施加到真空侧(P2)的
相对于所述压力侧(P1)。
1
2
MPX2050GSX
CASE 344F
引脚数
GND
+V
OUT
3
4
V
S
–V
OUT
注:1脚是注意到在缺口
领先。
转8
摩托罗拉传感器
摩托罗拉公司,2002年
设备数据
欲了解更多有关该产品,
转到: www.freescale.com
1
MPX2050系列
最大额定值
(注)
最大压力( P1 > P2 )
储存温度
工作温度
存档的飞思卡尔半导体公司。 2005年
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
200
-40到+125
-40到+125
单位
帕
°C
°C
飞思卡尔半导体公司
等级
注:曝光超过规定的限制可能会造成永久性的损坏或退化到设备。
工作特性
(V
S
= 10 VDC ,T
A
= 25℃,除非另有说明, P1 > P2)的
特征
压力范围
(1)
电源电压
(2)
电源电流
满量程
(3)
MPX2050
MPX2050
符号
P
OP
V
S
I
o
V
FSS
V
关闭
ΔV / ΔP
MPX2050
—
—
—
TCV
FSS
TCV
关闭
Z
in
Z
OUT
t
R
—
—
民
0
—
—
38.5
–1.0
—
–0.25
—
—
–1.0
–1.0
1000
1400
—
—
—
典型值
—
10
6.0
40
—
0.8
—
±0.1
±0.5
—
—
—
—
1.0
20
±0.5
最大
50
16
—
41.5
1.0
—
0.25
—
—
1.0
1.0
2500
3000
—
—
—
单位
帕
VDC
MADC
mV
mV
毫伏/帕
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
mV
ms
ms
%V
FSS
飞思卡尔半导体公司...
OFFSET
(4)
存档的飞思卡尔半导体公司。 2005年
灵敏度
线性
(5)
压力滞后
(5)
(0至50千帕)
温度迟滞
(5)
( -40 ° C至+ 125°C )
在满量程温度影响
(5)
在补偿温度效应
(5)
输入阻抗
输出阻抗
响应时间
(6)
(10%至90%)的
热身
偏移稳定性
(7)
注意事项:
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误,由于设备自身的发热。
3.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度(误差预算)由以下部分组成:
线性:
从具有压力的直线关系输出偏差,采用终点法,通过所指定的
压力范围。
温度滞后:在工作温度范围内的任意温度输出偏差后的温度是
循环,并从最小或最大操作温度点,零压差
应用。
压力滞后:
在指定范围内的任何压力输出偏差时,该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力,在25℃下。
TcSpan :
输出偏差超过0 85 ℃的温度范围内充分的额定压力,相对于25 ℃。
TcOffset :
与最小额定压力输出偏差施加,在0的温度范围内,以85 ℃,相对
至25℃ 。
当经受6.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定的步骤的变化压力。
7.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
2
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摩托罗拉传感器设备数据
MPX2050系列
压力( P 1 ) /真空(P2)的侧面识别表
摩托罗拉表示压力传感器的双方
作为压力( P1)侧和真空(P2)的一侧。该
压力(P1)的一侧是含有聚硅氧烷凝胶的侧
它可以隔离芯片。摩托罗拉MPX压力传感器
产品型号
MPX2050D
MPX2050DP
MPX2050GP
MPX2050GSX
存档的飞思卡尔半导体公司。 2005年
设计为具有正压差操作
应用, P1 > P2 。
的压力( P1)的一侧可以通过使用被识别
下表:
案例类型
344
344C
344B
344F
压力( P1 )侧面标识
不锈钢帽
方用最热
方用端口连接
方用端口连接
飞思卡尔半导体公司
订购信息
飞思卡尔半导体公司...
存档的飞思卡尔半导体公司。 2005年
MPX2050系列压力传感器是差分和仪表的配置。器件采用基本
元件封装或带压口接头,其提供的印刷电路板安装方便和刺喉的压力
连接。
MPX系列
设备类型
迪FF erential
差分,双端口
规
计轴PC安装
选项
案例类型
344
344C
344B
344F
订单号
MPX2050D
MPX2050DP
MPX2050GP
MPX2050GSX
器件标识
MPX2050D
MPX2050DP
MPX2050GP
MPX2050D
基本元素
移植的要素
4
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转到: www.freescale.com
摩托罗拉传感器设备数据
摩托罗拉
半导体技术资料
订购此文件
由MPX2050 / D
50千帕
片上温度
补偿&校准
硅压力传感器
该MPX2050系列设备是硅压阻式压力传感器提供
高度精确的和线性的电压输出 - 正比于所施加的压力。
该传感器是一个单一的,整体的硅膜片上的应变仪和薄膜
电阻网络集成在芯片上。该芯片是激光调整,精确范围和偏移
校准和温度补偿。
特点
温度补偿在0 ° C至+ 85°C
独特的硅剪应力应变计
易于使用的芯片载体封装选项
供电电压成正比
差分和计选项
±0.25%
线性度( MPX2050 )
应用实例
泵/电机控制器
机器人
一级指标
医疗诊断
压力开关
无创血压测量
图1示出的内部电路上的独立压力的方框图
传感器芯片。
V
S
3
薄膜
温度
赔偿金
和
校准
电路
1
GND
MPX2050
系列
0至50千帕( 0 7.25 psi)的
40 mV的满量程
(典型值)
MPX2050D
CASE 344
MPX2050GP
CASE 344B
2
4
传感
元素
V
OUT +
V
OUT-
MPX2050DP
CASE 344C
图1.温度补偿压力传感器的原理
电压输出与应用差压
传感器的差分电压输出正比于差分
施加压力。
的随差分或测量传感器的输出电压增加
压力施加到压力侧(P1)相对于所述真空侧(P2) 。同样,
输出电压随着增加真空施加到真空侧(P2)的
相对于所述压力侧(P1)。
1
2
MPX2050GSX
CASE 344F
引脚数
GND
+V
OUT
3
4
V
S
–V
OUT
注:1脚是注意到在缺口
领先。
转8
摩托罗拉传感器
摩托罗拉公司,2002年
设备数据
1
MPX2050系列
最大额定值
(注)
等级
最大压力( P1 > P2 )
储存温度
工作温度
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
200
-40到+125
-40到+125
单位
帕
°C
°C
注:曝光超过规定的限制可能会造成永久性的损坏或退化到设备。
工作特性
(V
S
= 10 VDC ,T
A
= 25℃,除非另有说明, P1 > P2)的
特征
压力范围
(1)
电源电压
(2)
电源电流
满量程
(3)
OFFSET
(4)
灵敏度
线性
(5)
压力滞后
(5)
(0至50千帕)
温度迟滞
(5)
( -40 ° C至+ 125°C )
在满量程温度影响
(5)
在补偿温度效应
(5)
输入阻抗
输出阻抗
响应时间
(6)
(10%至90%)的
热身
偏移稳定性
(7)
MPX2050
MPX2050
MPX2050
符号
P
OP
V
S
I
o
V
FSS
V
关闭
ΔV / ΔP
—
—
—
TCV
FSS
TCV
关闭
Z
in
Z
OUT
t
R
—
—
民
0
—
—
38.5
–1.0
—
–0.25
—
—
–1.0
–1.0
1000
1400
—
—
—
典型值
—
10
6.0
40
—
0.8
—
±0.1
±0.5
—
—
—
—
1.0
20
±0.5
最大
50
16
—
41.5
1.0
—
0.25
—
—
1.0
1.0
2500
3000
—
—
—
单位
帕
VDC
MADC
mV
mV
毫伏/帕
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
mV
ms
ms
%V
FSS
注意事项:
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误,由于设备自身的发热。
3.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度(误差预算)由以下部分组成:
线性:
从具有压力的直线关系输出偏差,采用终点法,通过所指定的
压力范围。
温度滞后:在工作温度范围内的任意温度输出偏差后的温度是
循环,并从最小或最大操作温度点,零压差
应用。
压力滞后:
在指定范围内的任何压力输出偏差时,该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力,在25℃下。
TcSpan :
输出偏差超过0 85 ℃的温度范围内充分的额定压力,相对于25 ℃。
TcOffset :
与最小额定压力输出偏差施加,在0的温度范围内,以85 ℃,相对
至25℃ 。
当经受6.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定的步骤的变化压力。
7.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
2
摩托罗拉传感器设备数据
MPX2050系列
压力( P 1 ) /真空(P2)的侧面识别表
摩托罗拉表示压力传感器的双方
作为压力( P1)侧和真空(P2)的一侧。该
压力(P1)的一侧是含有聚硅氧烷凝胶的侧
它可以隔离芯片。摩托罗拉MPX压力传感器
产品型号
MPX2050D
MPX2050DP
MPX2050GP
MPX2050GSX
设计为具有正压差操作
应用, P1 > P2 。
的压力( P1)的一侧可以通过使用被识别
下表:
案例类型
344
344C
344B
344F
压力( P1 )侧面标识
不锈钢帽
方用最热
方用端口连接
方用端口连接
订购信息
MPX2050系列压力传感器是差分和仪表的配置。器件采用基本
元件封装或带压口接头,其提供的印刷电路板安装方便和刺喉的压力
连接。
MPX系列
设备类型
基本元素
移植的要素
迪FF erential
差分,双端口
规
计轴PC安装
选项
案例类型
344
344C
344B
344F
订单号
MPX2050D
MPX2050DP
MPX2050GP
MPX2050GSX
器件标识
MPX2050D
MPX2050DP
MPX2050GP
MPX2050D
4
摩托罗拉传感器设备数据