摩托罗拉
半导体技术资料
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通过MPX10 / D
10千帕
无偿
硅压力传感器
该MPX10系列器件的硅压阻式压力传感器提供了一个非常
准确和线性电压输出 - 正比于所施加的压力。这
标准，成本低，未补偿的传感器允许制造商设计和添加
自己的外部温度补偿和信号调理网络。
因为摩托罗拉的单一的可预测性补偿技术简化
元应变计的设计。
特点
低成本
专利的硅剪应力应变仪的设计
供电电压成正比
易于使用的芯片载体封装选项
差分和计选项
应用实例
航空运动控制
环境控制系统
一级指标
泄漏检测
医疗器械
工业控制
气动控制系统
机器人
图1示出的内部电路上的独立压力的示意
传感器芯片。
3脚
+ VS
销2
+ VOUT
X -能器
引脚4
- Vout的
销1
MPX10
系列
0至10千帕（ 0 - 1.45 psi）的
35 mV的满量程
（典型值）
基本CHIP
载体部件
CASE 344-15 ，风格1
迪FF erential
端口选项
CASE 344C -01 ，风格1
注： 1脚是缺口引脚。
引脚数
1
2
GND
+ VOUT
3
4
VS
ΔVOUT
图1.未补偿压力传感器原理图
电压输出与应用差压
在X -能器的差分电压输出正比于差分
施加压力。
的随差分或测量传感器的输出电压增加
压力施加到压力侧（P1）相对于所述真空侧（P2） 。同样，
输出电压随着增加真空施加到真空侧（P2）的
相对于所述压力侧（P1）。
Senseon和X -能器是Motorola，Inc.的商标。
第5版
摩托罗拉传感器设备数据
摩托罗拉1997年公司
1
MPX10系列
最大额定值
等级
过压（8）（ P 1 > P2）的
爆破压力（ 8 ） （ P1 > P2 ）
储存温度
工作温度
符号
P最高
Pburst
TSTG
TA
价值
75
100
- 40 + 125
- 40 + 125
单位
帕
帕
°C
°C
工作特性
（ VS = 3.0伏， TA = 25 ° C除非另有说明， P1 > P2 ）
特征
差压范围（ 1 ）
电源电压（ 2 ）
电源电流
满量程（ 3 ）
Offset(4)
灵敏度
Linearity(5)
压力滞后（ 5） （0至10千帕）
温度迟滞（ 5 ） （ - 40 ° C至+ 125°C ）
满量程的温度系数（ 5 ）
温度系数补偿（ 5 ）
电阻温度系数（5）
输入阻抗
输出阻抗
响应时间（ 6） （10％至90％）的
热身
偏置稳定性（ 9 ）
符号
POP
VS
Io
VFSS
VOFF
ΔV / ΔP
—
—
—
TCVFSS
TCVoff
TCR
寻
ZOUT
tR
—
—
民
0
—
—
20
0
—
–1.0
—
—
– 0.22
—
0.21
400
750
—
—
—
典型值
—
3.0
6.0
35
20
3.5
—
±
0.1
±
0.5
—
±15
—
—
—
1.0
20
±
0.5
最大
10
6.0
—
50
35
—
1.0
—
—
– 0.16
—
0.27
550
1250
—
—
—
单位
帕
VDC
MADC
mV
mV
毫伏/帕
％ VFSS
％ VFSS
％ VFSS
VFSS ％ /°C的
μV/°C
寻％ /°C的
ms
ms
％ VFSS
机械特性
特征
重量（基本元素，案例344-15 ）
共模线压力（ 7 ）
符号
—
—
民
—
—
典型值
2.0
—
最大
—
690
单位
克
帕
注意事项：
1. 1.0千帕（千帕）等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误，由于设备自身的发热。
3.满量程（ VFSS ）被定义为输出电压之间在全额定压力，并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移（ Voff时）被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度（误差预算）由以下部分组成：
线性：
从具有压力的直线关系输出偏差，采用终点法，通过所指定的
压力范围。
温度滞后：在工作温度范围内的任意温度输出偏差后的温度是
循环，并从最小或最大操作温度点，零压差
应用。
压力滞后：
在指定范围内的任何压力输出偏差时，该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力，在25℃下。
TcSpan ：
输出偏差超过0 85 ℃的温度范围内充分的额定压力，相对于25 ℃。
TcOffset ：
与最小额定压力输出偏差施加，在0的温度范围内，以85 ℃，相对
至25℃ 。
TCR ：
最小额定压力寻偏差应用，超过该温度范围 - 40 ° C至+ 125°C ，
相对于25 ℃。
当经受6.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化，从10％至到90 ％，其最终值的
指定的步骤的变化压力。
超出规定7.共模的压力可能会导致泄漏的情况下对引线接口。
8.接触超过这些限制可能造成永久性损坏或退化到设备。
9.偏置稳定性是产品的输出偏差时，受到1000小时脉冲压力，温度循环有偏差测试。
2
摩托罗拉传感器设备数据
MPX10系列
温度补偿
图2示出了典型的输出特性
MPX10系列温度。
在X -能器压阻式压力传感器元件是一个
半导体装置，其给出的电输出信号
正比于施加在装置中的压力。这DE-
副采用了独特的横向电压扩散semiconduc-
器的应变计这是在一个产生的应力敏感
薄的硅膜片上所施加的压力。
因为此应变片是硅的一个组成部分
隔膜，没有温度的影响由于differ-
在应变仪和所述的热膨胀分配办法
振膜，因为常常在粘贴式应变计遭遇
压力传感器。的应变。然而，性能
测量本身是依赖于温度的，要求的
装置进行温度补偿，如果它是被使用过
广泛的温度范围内。
温度补偿和偏置校准即可
取得了较简单的附加电阻元件，
或者通过设计使用MPX2010D系列系统
传感器。
有几种方法来外部温度补偿
化过两种 - 40至+ 125 ° C和0 + 80 ℃的范围
摩托罗拉在提交申请注AN840 。
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式：输出电压= Voff的+药敏X P在工作
压力范围（图3） 。有两种基本的方法来
计算非线性：（1）端点的直线拟合或（2）一
最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出了
“最好情况”的线性误差（低级数值），则校准 -
需要算结果是沉重的负担。
相反地，一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
（通常多在误差预算计算期望的）和
计算更加简单明了的用户。摩托罗拉
指定的压力传感器非线性是基于端
点直线法测得的端
压力。
80
70
OUTPUT （ MVDC ）
60
50
40
30
20
10
0
PSI 0
帕
0.3
2.0
0.6
0.9
1.2
OFFSET
（典型值）
1.5
10
VS = 3伏直流
P1 P2 >
+ 25°C
OUTPUT （ MVDC ）
+ 125°C
跨度
范围
（典型值）
– 40°C
70
60
50
实际
40
30
20
10
0
0
压（kPa ）
理论
OFFSET
（ VOFF ）
最大
POP
跨度
（ VFSS ）
线性
4.0
6.0
8.0
压力差
图2.输出与差压
图3.线性度规格比较
硅胶
模涂
引线键合
DIE
P1
不锈钢
金属盖
环氧树脂
例
引线框架
图4横截面图（不按比例）
图4示出了差分或测量仪配置
在基本芯片载体（事例344-15 ） 。有机硅凝胶异
鲈从环境的模具表面和引线键合，
同时使压力信号被传输到SIL-
图标隔膜。
该MPX10系列压力传感器工作characteris-
抽动和内部的可靠性和鉴定试验的基础
在使用干燥空气作为压力介质。媒体比干其他
空气可能对传感器的性能和副作用
长期可靠性。工厂的信息，请联系重新
褒贬应用程序中的介质兼容性。
摩托罗拉传感器设备数据
P2
RTV DIE
BOND
3
MPX10系列
压力（ P 1 ） /真空（P2）的侧面识别表
摩托罗拉表示压力传感器的双方
作为压力（ P1）侧和真空（P2）的一侧。该
压力（P1）的一侧是含侧硅氧烷凝胶哪个
隔离环境中的管芯。摩托罗拉MPX
产品型号
MPX10D
MPX10DP
MPX10GP
MPX10GVP
MPX10GS
MPX10GSX
案例类型
344–15C
344C–01
344B–01
344D–01
344E–01
344F–01
压力传感器被设计为具有正differen-操作
TiAl金属施加压力， P1 > P2 。
的压力（ P1）的一侧可以通过使用表中识别
如下：
压力（ P1 ）侧面标识
不锈钢帽
方用最热
方用端口连接
不锈钢帽
方用端口连接
方用端口连接
订购信息
MPX10系列压力传感器是差分和仪表的配置。器件采用基本
元件封装或带压口接头，其提供的印刷电路板安装方便和刺喉的压力
连接。
MPX系列
设备类型
I T
基本元素
移植的要素
选项
O I
迪FF erential
迪FF erential
规
真空压力表
计炉管
计轴
案例类型
C
T
CASE 344-15
CASE 344C -01
CASE 344B -01
CASE 344D -01
CASE 344E -01
CASE 344F -01
订单号
MPX10D
MPX10DP
MPX10GP
MPX10GVP
MPX10GS
MPX10GSX
器件标识
MPX10D
MPX10DP
MPX10GP
MPX10GVP
MPX10D
MPX10D
4
摩托罗拉传感器设备数据
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