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摩托罗拉
半导体技术资料
订购此文件
通过MPX10 / D
10千帕
无偿
硅压力传感器
该MPX10系列器件的硅压阻式压力传感器提供了一个非常
准确和线性电压输出 - 正比于所施加的压力。这
标准,成本低,未补偿的传感器允许制造商设计和添加
自己的外部温度补偿和信号调理网络。
因为摩托罗拉的单一的可预测性补偿技术简化
元应变计的设计。
特点
低成本
专利的硅剪应力应变仪的设计
供电电压成正比
易于使用的芯片载体封装选项
差分和计选项
应用实例
航空运动控制
环境控制系统
一级指标
泄漏检测
医疗器械
工业控制
气动控制系统
机器人
图1示出的内部电路上的独立压力的示意
传感器芯片。
3脚
+ VS
销2
+ VOUT
X -能器
引脚4
- Vout的
销1
MPX10
系列
0至10千帕( 0 - 1.45 psi)的
35 mV的满量程
(典型值)
基本CHIP
载体部件
CASE 344-15 ,风格1
迪FF erential
端口选项
CASE 344C -01 ,风格1
注: 1脚是缺口引脚。
引脚数
1
2
GND
+ VOUT
3
4
VS
ΔVOUT
图1.未补偿压力传感器原理图
电压输出与应用差压
在X -能器的差分电压输出正比于差分
施加压力。
的随差分或测量传感器的输出电压增加
压力施加到压力侧(P1)相对于所述真空侧(P2) 。同样,
输出电压随着增加真空施加到真空侧(P2)的
相对于所述压力侧(P1)。
Senseon和X -能器是Motorola,Inc.的商标。
第5版
摩托罗拉传感器设备数据
摩托罗拉1997年公司
1
MPX10系列
最大额定值
等级
过压(8)( P 1 > P2)的
爆破压力( 8 ) ( P1 > P2 )
储存温度
工作温度
符号
P最高
Pburst
TSTG
TA
价值
75
100
- 40 + 125
- 40 + 125
单位
°C
°C
工作特性
( VS = 3.0伏, TA = 25 ° C除非另有说明, P1 > P2 )
特征
差压范围( 1 )
电源电压( 2 )
电源电流
满量程( 3 )
Offset(4)
灵敏度
Linearity(5)
压力滞后( 5) (0至10千帕)
温度迟滞( 5 ) ( - 40 ° C至+ 125°C )
满量程的温度系数( 5 )
温度系数补偿( 5 )
电阻温度系数(5)
输入阻抗
输出阻抗
响应时间( 6) (10%至90%)的
热身
偏置稳定性( 9 )
符号
POP
VS
Io
VFSS
VOFF
ΔV / ΔP
TCVFSS
TCVoff
TCR
ZOUT
tR
0
20
0
–1.0
– 0.22
0.21
400
750
典型值
3.0
6.0
35
20
3.5
±
0.1
±
0.5
±15
1.0
20
±
0.5
最大
10
6.0
50
35
1.0
– 0.16
0.27
550
1250
单位
VDC
MADC
mV
mV
毫伏/帕
% VFSS
% VFSS
% VFSS
VFSS % /°C的
μV/°C
寻% /°C的
ms
ms
% VFSS
机械特性
特征
重量(基本元素,案例344-15 )
共模线压力( 7 )
符号
典型值
2.0
最大
690
单位
注意事项:
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误,由于设备自身的发热。
3.满量程( VFSS )被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移( Voff时)被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度(误差预算)由以下部分组成:
线性:
从具有压力的直线关系输出偏差,采用终点法,通过所指定的
压力范围。
温度滞后:在工作温度范围内的任意温度输出偏差后的温度是
循环,并从最小或最大操作温度点,零压差
应用。
压力滞后:
在指定范围内的任何压力输出偏差时,该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力,在25℃下。
TcSpan :
输出偏差超过0 85 ℃的温度范围内充分的额定压力,相对于25 ℃。
TcOffset :
与最小额定压力输出偏差施加,在0的温度范围内,以85 ℃,相对
至25℃ 。
TCR :
最小额定压力寻偏差应用,超过该温度范围 - 40 ° C至+ 125°C ,
相对于25 ℃。
当经受6.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定的步骤的变化压力。
超出规定7.共模的压力可能会导致泄漏的情况下对引线接口。
8.接触超过这些限制可能造成永久性损坏或退化到设备。
9.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
2
摩托罗拉传感器设备数据
MPX10系列
温度补偿
图2示出了典型的输出特性
MPX10系列温度。
在X -能器压阻式压力传感器元件是一个
半导体装置,其给出的电输出信号
正比于施加在装置中的压力。这DE-
副采用了独特的横向电压扩散semiconduc-
器的应变计这是在一个产生的应力敏感
薄的硅膜片上所施加的压力。
因为此应变片是硅的一个组成部分
隔膜,没有温度的影响由于differ-
在应变仪和所述的热膨胀分配办法
振膜,因为常常在粘贴式应变计遭遇
压力传感器。的应变。然而,性能
测量本身是依赖于温度的,要求的
装置进行温度补偿,如果它是被使用过
广泛的温度范围内。
温度补偿和偏置校准即可
取得了较简单的附加电阻元件,
或者通过设计使用MPX2010D系列系统
传感器。
有几种方法来外部温度补偿
化过两种 - 40至+ 125 ° C和0 + 80 ℃的范围
摩托罗拉在提交申请注AN840 。
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式:输出电压= Voff的+药敏X P在工作
压力范围(图3) 。有两种基本的方法来
计算非线性:(1)端点的直线拟合或(2)一
最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出了
“最好情况”的线性误差(低级数值),则校准 -
需要算结果是沉重的负担。
相反地,一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
(通常多在误差预算计算期望的)和
计算更加简单明了的用户。摩托罗拉
指定的压力传感器非线性是基于端
点直线法测得的端
压力。
80
70
OUTPUT ( MVDC )
60
50
40
30
20
10
0
PSI 0
0.3
2.0
0.6
0.9
1.2
OFFSET
(典型值)
1.5
10
VS = 3伏直流
P1 P2 >
+ 25°C
OUTPUT ( MVDC )
+ 125°C
跨度
范围
(典型值)
– 40°C
70
60
50
实际
40
30
20
10
0
0
压(kPa )
理论
OFFSET
( VOFF )
最大
POP
跨度
( VFSS )
线性
4.0
6.0
8.0
压力差
图2.输出与差压
图3.线性度规格比较
硅胶
模涂
引线键合
DIE
P1
不锈钢
金属盖
环氧树脂
引线框架
图4横截面图(不按比例)
图4示出了差分或测量仪配置
在基本芯片载体(事例344-15 ) 。有机硅凝胶异
鲈从环境的模具表面和引线键合,
同时使压力信号被传输到SIL-
图标隔膜。
该MPX10系列压力传感器工作characteris-
抽动和内部的可靠性和鉴定试验的基础
在使用干燥空气作为压力介质。媒体比干其他
空气可能对传感器的性能和副作用
长期可靠性。工厂的信息,请联系重新
褒贬应用程序中的介质兼容性。
摩托罗拉传感器设备数据
P2
RTV DIE
BOND
3
MPX10系列
压力( P 1 ) /真空(P2)的侧面识别表
摩托罗拉表示压力传感器的双方
作为压力( P1)侧和真空(P2)的一侧。该
压力(P1)的一侧是含侧硅氧烷凝胶哪个
隔离环境中的管芯。摩托罗拉MPX
产品型号
MPX10D
MPX10DP
MPX10GP
MPX10GVP
MPX10GS
MPX10GSX
案例类型
344–15C
344C–01
344B–01
344D–01
344E–01
344F–01
压力传感器被设计为具有正differen-操作
TiAl金属施加压力, P1 > P2 。
的压力( P1)的一侧可以通过使用表中识别
如下:
压力( P1 )侧面标识
不锈钢帽
方用最热
方用端口连接
不锈钢帽
方用端口连接
方用端口连接
订购信息
MPX10系列压力传感器是差分和仪表的配置。器件采用基本
元件封装或带压口接头,其提供的印刷电路板安装方便和刺喉的压力
连接。
MPX系列
设备类型
I T
基本元素
移植的要素
选项
O I
迪FF erential
迪FF erential
真空压力表
计炉管
计轴
案例类型
C
T
CASE 344-15
CASE 344C -01
CASE 344B -01
CASE 344D -01
CASE 344E -01
CASE 344F -01
订单号
MPX10D
MPX10DP
MPX10GP
MPX10GVP
MPX10GS
MPX10GSX
器件标识
MPX10D
MPX10DP
MPX10GP
MPX10GVP
MPX10D
MPX10D
4
摩托罗拉传感器设备数据
MPX10系列
包装尺寸
C
R
M
B
–A–
N
销1
1
2
3
4
注意事项:
积极
压力(P1)的
1.尺寸和公差符合ASME
Y14.5M , 1994年。
2.控制尺寸:英寸。
3.尺寸-A-是包容的模具
止动环。模具止动环不超过
16.00 (0.630).
暗淡
A
B
C
D
F
G
J
L
M
N
R
英寸
最大
0.595
0.630
0.514
0.534
0.200
0.220
0.016
0.020
0.048
0.064
0.100 BSC
0.014
0.016
0.695
0.725
30
_
0.475
0.495
0.430
0.450
MILLIMETERS
最大
15.11
16.00
13.06
13.56
5.08
5.59
0.41
0.51
1.22
1.63
2.54 BSC
0.36
0.40
17.65
18.42
30
_
12.07
12.57
10.92
11.43
L
–T–
J
座位
飞机
积极
压力
(P1)
G
F
4 PL
D
0.136 (0.005)
M
T A
M
风格1 :
PIN 1 。
2.
3.
4.
+输出
+电源
=输出
CASE 344-15
ISSUE W
座位
飞机
–T–
R
H
N
端口# 1
积极
压力
(P1)
–A–
U
L
注意事项:
1.尺寸和公差符合ANSI
Y14.5, 1982.
2.控制尺寸:英寸。
英寸
最大
1.145
1.175
0.685
0.715
0.305
0.325
0.016
0.020
0.048
0.064
0.100 BSC
0.182
0.194
0.014
0.016
0.695
0.725
0.290
0.300
0.420
0.440
0.153
0.159
0.153
0.159
0.230
0.250
0.220
0.240
0.910 BSC
MILLIMETERS
最大
29.08
29.85
17.40
18.16
7.75
8.26
0.41
0.51
1.22
1.63
2.54 BSC
4.62
4.93
0.36
0.41
17.65
18.42
7.37
7.62
10.67
11.18
3.89
4.04
3.89
4.04
5.84
6.35
5.59
6.10
23.11 BSC
–Q–
B
1 2
3 4
销1
K
S
F
G
D
4 PL
0.13 (0.005)
–P–
0.25 (0.010)
J
C
M
Q
S
暗淡
A
B
C
D
F
G
H
J
K
L
N
P
Q
R
S
U
M
吨s
S
Q
S
风格1 :
PIN 1 。
2.
3.
4.
+输出
+电源
=输出
CASE 344B -01
问题B
摩托罗拉传感器设备数据
5
飞思卡尔半导体公司
飞思卡尔半导体公司...
传感器
器件数据手册
DL200/D
启5 , 01/2003
www.motorola.com/semiconductors
欲了解更多有关该产品,
转到: www.freescale.com
飞思卡尔半导体公司
数据分类
产品预览
此标题在数据表显示,该设备是在形成阶段或设计(开发中) 。
在第一页的底部免责声明内容如下:“本文件包含在开发一个产品信息
换货。摩托罗拉保留随时更改或终止本产品,恕不另行通知。 “
提前或初步信息
此标题在数据表显示,该设备是在取样,试,或者先生产阶段。该
免责声明在第一页的底部写着: “此文件包含一个新的产品信息。产品规格
而此处的信息如有变更,恕不另行通知。 “
充分释放
飞思卡尔半导体公司...
一个完全公布的数据表包含既不是分类的标题,也不是免责条款部分第一页的底部。
本文件包含在满负荷生产一个产品信息。保证限制将不无改变
以书面形式通知您当地的摩托罗拉半导体销售办事处。
摩托罗拉设备分类
在努力提供关于任何给定的设备的状态,向上的最新信息给客户,摩托罗拉有
分类所有设备分为三类:首选设备,目前产品和不推荐用于新
设计的产品。
甲优选类型是被推荐为将来使用一个第一选择的装置。这些设备是“首选”
由于它们的性能,价格,功能或属性,它提供了整体的“最佳”值的组合的
客户。这个类别包含先进成熟的设备将保持可用的fore-
seeable未来。
在数据表部分的优选设备
标识为“摩托罗拉的优选设备。'
标识为“当前”设备类型可能不是首选
设计,但将继续是可用的
因为在目前的生产设计中的普及和/或标准化和批量使用。这些产品可以
可以接受的新的设计,但首选的类型被认为是对长期使用更好的选择。
任何一个没有被确定为“优选的装置”的设备是“当前”设备。
指定为产品“不推荐用于新设计”可能会变得过时,因为决定市场不佳
接受,或技术或包被达到其生命周期的结束。此类别中的设备有
不确定的未来,并不代表一个很好的选择对新设备的设计或长期使用。
传感器数据手册中不包含任何
“不推荐用于新设计”的设备。
ii
欲了解更多有关该产品,
转到: www.freescale.com
飞思卡尔半导体公司
传感器
设备数据
飞思卡尔半导体公司...
在这本书中的信息进行了认真审查,并认为是准确的;但是,没有责任
被假定为不准确。此外,这些信息并没有传达到半导体的采购
设备根据专利权的制造商的任何许可。
摩托罗拉保留更改,恕不另行通知这里的任何产品的权利。摩托罗拉不作任何war-
保修资格,陈述或对其产品是否适合任何特定用途的保证,也不Motoro-
LA承担由此产生的任何产品或电路的应用或使用任何责任,并明确拒绝承担任何和
所有责任,包括但不限于间接或附带损失。 “典型”参数可以做不同的
不同的应用和实际性能可能随时间变化。所有的操作参数,包括“典型” ,必须
每个客户的客户应用的技术专家进行验证。摩托罗拉并没有传达任何许可
根据其专利权或他人的权利。摩托罗拉产品不是设计,意,或授权使用
作为系统组件用于外科植入到体内,或用于支持其他应用程序或
维持生命,或任何其他应用程序在摩托罗拉产品的故障可能造成一种情况,
可能发生的人身伤害或死亡。如果买方购买或使用摩托罗拉产品的任何意外或非
授权的应用程序,买方应赔偿并持有摩托罗拉和其职员,雇员,子公司,关联公司,
和分销商对所有索赔,费用,损失,费用无害,以及合理的律师费所产生
出,直接或间接造成人身伤害或死亡索赔等意外或未经授权的联系
使用,即使此类索赔称,摩托罗拉对零件的设计或制造疏忽造成的。摩托罗拉
及风格化M徽标已在美国专利&商标局注册。所有其它产品或服务名称均为
其各自所有者的财产。摩托罗拉公司是一个机会均等/肯定行动雇主。
第5版
摩托罗拉公司2003
“版权所有”
美国印刷
iii
欲了解更多有关该产品,
转到: www.freescale.com
飞思卡尔半导体公司
飞思卡尔半导体公司...
iv
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转到: www.freescale.com
飞思卡尔半导体公司
目录
第一节 - 基本信息
质量和可靠性
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–2
概述。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-2
可靠性问题的硅压力传感器。 。 。 。 。 。 1-3
焊接注意事项。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-10
压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-11
静电的工艺控制。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-17
统计过程控制。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-11
测试结果
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–17
加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-17
介质兼容性概述
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–18
压力传感器概述
一般信息。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-7
摩托罗拉压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-8
集成。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-12
传感器应用。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-13
压力传感器的常见问题解答。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-14
数据表
MPX10 , MPXV10GC系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-15
MPX12系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-19
MPX2010 , MPXV2010G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-23
MPX2050系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-27
MPX2053 , MPXV2053G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-31
MPX2100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-35
MPX2102 , MPXV2102G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-39
MPX2200系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-43
MPX2202 , MPXV2202G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-47
MPX2300DT1 , MPX2301DT1 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-51
MPX4080D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-54
MPX4100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-59
MPX4100A , MPXA4100A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-64
MPX4101A MPXA4101A , MPXH6101A系列。 。 。 。 3-70
MPX4105A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-75
MPX4115A , MPXA4115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-79
MPX4200A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-84
MPX4250A , MPXA4250A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-88
MPX4250D系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-93
MPX5010 , MPXV5010G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-97
MPX5050 , MPXV5050G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-103
MPX5100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-108
MPX53 , MPXV53GC系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-114
MPX5500系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-118
MPX5700系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-122
MPX5999D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-126
MPXA6115A , MPXH6115A 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-130
MPXAZ4100A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-135
MPXAZ4115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-140
MPXAZ6115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-145
MPXC2011DT1 , MPXC2012DT1 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-150
MPXH6300A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-153
MPXM2010系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-158
MPXM2053系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-161
MPXM2102系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-164
MPXM2202系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-167
MPXV4006G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-170
MPXV4115V系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-174
MPXV5004G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-179
MPXV6115VC6U 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-183
应用笔记
AN935
在补偿非线性
MPX10系列压力变送器。 。 。 3-188
AN936
安装技术,引线成型
和摩托罗拉MPX系列测试
MPX10系列压力传感器。 。 。 。 。 。 3-195
AN1082
简单的设计一个3-20 mA变送器
界面使用摩托罗拉
压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-200
(续 - 下页)
飞思卡尔半导体公司...
第二节 - 加速度传感器产品
迷你选型指南
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–2
设备编号系统
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–2
传感器应用
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–3
加速度传感器的常见问题解答
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–4
数据表
MMA1200D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-5
MMA1201P 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-12
MMA1220D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-18
MMA1250D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-24
MMA1260D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-30
MMA1270D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-36
MMA2201D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-42
MMA2202D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-48
MMA3201D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 55
应用笔记
AN1559
申请注意事项交换
电容加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 62
AN1611
影响和倾斜测量
使用加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-65
AN1612
震动和静音寻呼应用
使用加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-77
AN1632
MMA1201P产品概述
和接口注意事项。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 84
AN1635
棒球间距测速仪。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 89
AN1640
降低加速度计
易患BCI 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-101
AN1925
使用摩托罗拉的加速度
评估板。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 104
案例大纲
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–107
术语表
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–109
第三节 - 压力传感器产品
迷你选型指南
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–2
设备编号系统
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–4
封装选择
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–5
订购的部件编号
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–6
v
欲了解更多有关该产品,
转到: www.freescale.com
摩托罗拉
半导体技术资料
订购此文件
通过MPX10 / D
10千帕
无偿
硅压力传感器
该MPX10系列器件的硅压阻式压力传感器提供了一个非常
准确和线性电压输出 - 正比于所施加的压力。这
标准,成本低,未补偿的传感器允许制造商设计和添加
自己的外部温度补偿和信号调理网络。
因为摩托罗拉的单一的可预测性补偿技术简化
元应变计的设计。
特点
低成本
专利的硅剪应力应变仪的设计
供电电压成正比
易于使用的芯片载体封装选项
差分和计选项
应用实例
航空运动控制
环境控制系统
一级指标
泄漏检测
医疗器械
工业控制
气动控制系统
机器人
图1示出的内部电路上的独立压力的示意
传感器芯片。
3脚
+ VS
销2
+ VOUT
X -能器
引脚4
- Vout的
销1
MPX10
系列
0至10千帕( 0 - 1.45 psi)的
35 mV的满量程
(典型值)
基本CHIP
载体部件
CASE 344-15 ,风格1
迪FF erential
端口选项
CASE 344C -01 ,风格1
注: 1脚是缺口引脚。
引脚数
1
2
GND
+ VOUT
3
4
VS
ΔVOUT
图1.未补偿压力传感器原理图
电压输出与应用差压
在X -能器的差分电压输出正比于差分
施加压力。
的随差分或测量传感器的输出电压增加
压力施加到压力侧(P1)相对于所述真空侧(P2) 。同样,
输出电压随着增加真空施加到真空侧(P2)的
相对于所述压力侧(P1)。
Senseon和X -能器是Motorola,Inc.的商标。
第5版
摩托罗拉传感器设备数据
摩托罗拉1997年公司
1
MPX10系列
最大额定值
等级
过压(8)( P 1 > P2)的
爆破压力( 8 ) ( P1 > P2 )
储存温度
工作温度
符号
P最高
Pburst
TSTG
TA
价值
75
100
- 40 + 125
- 40 + 125
单位
°C
°C
工作特性
( VS = 3.0伏, TA = 25 ° C除非另有说明, P1 > P2 )
特征
差压范围( 1 )
电源电压( 2 )
电源电流
满量程( 3 )
Offset(4)
灵敏度
Linearity(5)
压力滞后( 5) (0至10千帕)
温度迟滞( 5 ) ( - 40 ° C至+ 125°C )
满量程的温度系数( 5 )
温度系数补偿( 5 )
电阻温度系数(5)
输入阻抗
输出阻抗
响应时间( 6) (10%至90%)的
热身
偏置稳定性( 9 )
符号
POP
VS
Io
VFSS
VOFF
ΔV / ΔP
TCVFSS
TCVoff
TCR
ZOUT
tR
0
20
0
–1.0
– 0.22
0.21
400
750
典型值
3.0
6.0
35
20
3.5
±
0.1
±
0.5
±15
1.0
20
±
0.5
最大
10
6.0
50
35
1.0
– 0.16
0.27
550
1250
单位
VDC
MADC
mV
mV
毫伏/帕
% VFSS
% VFSS
% VFSS
VFSS % /°C的
μV/°C
寻% /°C的
ms
ms
% VFSS
机械特性
特征
重量(基本元素,案例344-15 )
共模线压力( 7 )
符号
典型值
2.0
最大
690
单位
注意事项:
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误,由于设备自身的发热。
3.满量程( VFSS )被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移( Voff时)被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度(误差预算)由以下部分组成:
线性:
从具有压力的直线关系输出偏差,采用终点法,通过所指定的
压力范围。
温度滞后:在工作温度范围内的任意温度输出偏差后的温度是
循环,并从最小或最大操作温度点,零压差
应用。
压力滞后:
在指定范围内的任何压力输出偏差时,该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力,在25℃下。
TcSpan :
输出偏差超过0 85 ℃的温度范围内充分的额定压力,相对于25 ℃。
TcOffset :
与最小额定压力输出偏差施加,在0的温度范围内,以85 ℃,相对
至25℃ 。
TCR :
最小额定压力寻偏差应用,超过该温度范围 - 40 ° C至+ 125°C ,
相对于25 ℃。
当经受6.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定的步骤的变化压力。
超出规定7.共模的压力可能会导致泄漏的情况下对引线接口。
8.接触超过这些限制可能造成永久性损坏或退化到设备。
9.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
2
摩托罗拉传感器设备数据
MPX10系列
温度补偿
图2示出了典型的输出特性
MPX10系列温度。
在X -能器压阻式压力传感器元件是一个
半导体装置,其给出的电输出信号
正比于施加在装置中的压力。这DE-
副采用了独特的横向电压扩散semiconduc-
器的应变计这是在一个产生的应力敏感
薄的硅膜片上所施加的压力。
因为此应变片是硅的一个组成部分
隔膜,没有温度的影响由于differ-
在应变仪和所述的热膨胀分配办法
振膜,因为常常在粘贴式应变计遭遇
压力传感器。的应变。然而,性能
测量本身是依赖于温度的,要求的
装置进行温度补偿,如果它是被使用过
广泛的温度范围内。
温度补偿和偏置校准即可
取得了较简单的附加电阻元件,
或者通过设计使用MPX2010D系列系统
传感器。
有几种方法来外部温度补偿
化过两种 - 40至+ 125 ° C和0 + 80 ℃的范围
摩托罗拉在提交申请注AN840 。
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式:输出电压= Voff的+药敏X P在工作
压力范围(图3) 。有两种基本的方法来
计算非线性:(1)端点的直线拟合或(2)一
最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出了
“最好情况”的线性误差(低级数值),则校准 -
需要算结果是沉重的负担。
相反地,一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
(通常多在误差预算计算期望的)和
计算更加简单明了的用户。摩托罗拉
指定的压力传感器非线性是基于端
点直线法测得的端
压力。
80
70
OUTPUT ( MVDC )
60
50
40
30
20
10
0
PSI 0
0.3
2.0
0.6
0.9
1.2
OFFSET
(典型值)
1.5
10
VS = 3伏直流
P1 P2 >
+ 25°C
OUTPUT ( MVDC )
+ 125°C
跨度
范围
(典型值)
– 40°C
70
60
50
实际
40
30
20
10
0
0
压(kPa )
理论
OFFSET
( VOFF )
最大
POP
跨度
( VFSS )
线性
4.0
6.0
8.0
压力差
图2.输出与差压
图3.线性度规格比较
硅胶
模涂
引线键合
DIE
P1
不锈钢
金属盖
环氧树脂
引线框架
图4横截面图(不按比例)
图4示出了差分或测量仪配置
在基本芯片载体(事例344-15 ) 。有机硅凝胶异
鲈从环境的模具表面和引线键合,
同时使压力信号被传输到SIL-
图标隔膜。
该MPX10系列压力传感器工作characteris-
抽动和内部的可靠性和鉴定试验的基础
在使用干燥空气作为压力介质。媒体比干其他
空气可能对传感器的性能和副作用
长期可靠性。工厂的信息,请联系重新
褒贬应用程序中的介质兼容性。
摩托罗拉传感器设备数据
P2
RTV DIE
BOND
3
MPX10系列
压力( P 1 ) /真空(P2)的侧面识别表
摩托罗拉表示压力传感器的双方
作为压力( P1)侧和真空(P2)的一侧。该
压力(P1)的一侧是含侧硅氧烷凝胶哪个
隔离环境中的管芯。摩托罗拉MPX
产品型号
MPX10D
MPX10DP
MPX10GP
MPX10GVP
MPX10GS
MPX10GSX
案例类型
344–15C
344C–01
344B–01
344D–01
344E–01
344F–01
压力传感器被设计为具有正differen-操作
TiAl金属施加压力, P1 > P2 。
的压力( P1)的一侧可以通过使用表中识别
如下:
压力( P1 )侧面标识
不锈钢帽
方用最热
方用端口连接
不锈钢帽
方用端口连接
方用端口连接
订购信息
MPX10系列压力传感器是差分和仪表的配置。器件采用基本
元件封装或带压口接头,其提供的印刷电路板安装方便和刺喉的压力
连接。
MPX系列
设备类型
I T
基本元素
移植的要素
选项
O I
迪FF erential
迪FF erential
真空压力表
计炉管
计轴
案例类型
C
T
CASE 344-15
CASE 344C -01
CASE 344B -01
CASE 344D -01
CASE 344E -01
CASE 344F -01
订单号
MPX10D
MPX10DP
MPX10GP
MPX10GVP
MPX10GS
MPX10GSX
器件标识
MPX10D
MPX10DP
MPX10GP
MPX10GVP
MPX10D
MPX10D
4
摩托罗拉传感器设备数据
MPX10系列
包装尺寸
C
R
M
B
–A–
N
销1
1
2
3
4
注意事项:
积极
压力(P1)的
1.尺寸和公差符合ASME
Y14.5M , 1994年。
2.控制尺寸:英寸。
3.尺寸-A-是包容的模具
止动环。模具止动环不超过
16.00 (0.630).
暗淡
A
B
C
D
F
G
J
L
M
N
R
英寸
最大
0.595
0.630
0.514
0.534
0.200
0.220
0.016
0.020
0.048
0.064
0.100 BSC
0.014
0.016
0.695
0.725
30
_
0.475
0.495
0.430
0.450
MILLIMETERS
最大
15.11
16.00
13.06
13.56
5.08
5.59
0.41
0.51
1.22
1.63
2.54 BSC
0.36
0.40
17.65
18.42
30
_
12.07
12.57
10.92
11.43
L
–T–
J
座位
飞机
积极
压力
(P1)
G
F
4 PL
D
0.136 (0.005)
M
T A
M
风格1 :
PIN 1 。
2.
3.
4.
+输出
+电源
=输出
CASE 344-15
ISSUE W
座位
飞机
–T–
R
H
N
端口# 1
积极
压力
(P1)
–A–
U
L
注意事项:
1.尺寸和公差符合ANSI
Y14.5, 1982.
2.控制尺寸:英寸。
英寸
最大
1.145
1.175
0.685
0.715
0.305
0.325
0.016
0.020
0.048
0.064
0.100 BSC
0.182
0.194
0.014
0.016
0.695
0.725
0.290
0.300
0.420
0.440
0.153
0.159
0.153
0.159
0.230
0.250
0.220
0.240
0.910 BSC
MILLIMETERS
最大
29.08
29.85
17.40
18.16
7.75
8.26
0.41
0.51
1.22
1.63
2.54 BSC
4.62
4.93
0.36
0.41
17.65
18.42
7.37
7.62
10.67
11.18
3.89
4.04
3.89
4.04
5.84
6.35
5.59
6.10
23.11 BSC
–Q–
B
1 2
3 4
销1
K
S
F
G
D
4 PL
0.13 (0.005)
–P–
0.25 (0.010)
J
C
M
Q
S
暗淡
A
B
C
D
F
G
H
J
K
L
N
P
Q
R
S
U
M
吨s
S
Q
S
风格1 :
PIN 1 。
2.
3.
4.
+输出
+电源
=输出
CASE 344B -01
问题B
摩托罗拉传感器设备数据
5
压力
飞思卡尔半导体公司
+
MPX10
启14 , 10/2008
10千帕未补偿
硅压力传感器
该MPX10系列硅压阻式压力传感器提供了一个非常
准确和线性电压输出,正比于所施加的
压力。这些标准,成本低,无补偿传感器许可证
制造商设计并添加自己的外部温度
补偿和信号调节网络。补偿技术
由于飞思卡尔的单个元素的可预测性的简化
应变片的设计。
MPX10
系列
0至10千帕( 0 1.45 psi)的
35 mV的满量程
(典型值)
应用实例
航空运动控制
环境控制系统
一级指标
泄漏检测
医疗器械
工业控制
气动控制系统
机器人
特点
低成本
专利的硅剪应力应变仪的设计
供电电压成正比
差分和计选项
耐用的环氧树脂Unibody的元素或热塑性( PPS )表面贴装
订购信息
选项
UNIBODY包装( MPX10系列)
MPX10D
TRAY
344
MPX10DP
TRAY
344C
MPX10GP
TRAY
344B
小型封装( MPXV10G系列)
MPXV10GC6U
482A
MPXV10GC7U
482C
设备名称
#端口
单身
压力式
迪FF erential
绝对
设备
记号
MPX10D
MPX10DP
MPX10GP
MPXV10G
MPXV10G
小外形封装
UNIBODY包装
MPXV10GC6U
CASE 482A -01
MPXV10GC7U
CASE 482C -03
MPX10D
CASE 344-15
MPX10GP
CASE 344B -01
MPX10DP
CASE 344C -01
飞思卡尔半导体公司, 2007-2008 。版权所有。
压力
工作特性
表1.工作特性
(V
S
= 3.0伏,T
A
= 25℃,除非另有说明, P1 > P2)的
特征
差压量程
(1)
电源电压
(2)
电源电流
满量程
(3)
OFFSET
(4)
灵敏度
线性
压力滞后( 0至10千帕)
温度迟滞
满量程的温度系数
偏移量的温度系数
电阻的温度COE FFI cient
输入阻抗
输出阻抗
响应时间
(5)
(10%至90%)的
预热时间
(6)
偏移稳定性
(7)
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误,由于设备自身的发热。
3.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
当受到5.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定步骤压力的变化。
6.预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力稳定之后所需要的产物的时间。
7.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
符号
P
OP
V
S
I
O
V
FSS
V
关闭
ΔV/ΔΡ
TCV
FSS
TCV
关闭
TCR
Z
IN
Z
OUT
t
R
0
20
0
–1.0
–0.22
0.21
400
750
典型值
3.0
6.0
35
20
3.5
±0.1
±0.5
±15
1.0
20
±0.5
最大
10
6.0
50
35
1.0
–0.16
0.27
550
1250
单位
V
DC
MADC
mV
mV
毫伏/帕
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
/°C
μV/°C
%Z
IN
/°C
Ω
Ω
ms
ms
%V
FSS
MPX10
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
压力
最大额定值
表2.最大额定值
(1)
等级
最大压力( P1 > P2 )
爆破压力( P1 > P2 )
储存温度
工作温度
符号
P
最大
P
BURST
T
英镑
T
A
价值
75
100
-40到+125
-40到+125
单位
°C
°C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
图1
示出了独立的压力传感器芯片上的内部电路的示意图。
3
+V
S
2
传感
元素
4
+V
OUT
–V
OUT
1
GND
图1.未补偿压力传感器原理图
电压输出与应用差压
差或计传感器的输出电压
与施加到压力增加的压力增加
侧(P1)相对于所述真空侧(P2) 。同样,输出
电压随着增加真空施加到
真空侧(P2)的相对的压力侧(P1)。
MPX10
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
压力
温度补偿
图2
示出的典型的输出特性
MPX10系列温度。
因为此应变片是硅的一个组成部分
隔膜,没有温度的影响,由于
在应变仪的热膨胀的差异而
隔膜,因为常常在粘贴式应变遇到
测量压力的传感器。的但是,属性
应变计本身是依赖于温度的,要求
该装置是温度补偿的,如果它是用于
在一个广泛的温度范围。
温度补偿和偏置校准即可
取得了较简单的附加电阻元件,
或者通过设计使用MPX2010D系列系统
传感器。
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式: V
OUT
= V
关闭
+灵敏度X P在工作
压力范围(图
3).
有两种基本的方法来
计算非线性: 1 )终点直线拟合或2)
最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出了
80
70
60
OUTPUT ( MVDC )
50
40
30
20
10
0
PSI 0
0.3
2.0
0.6
4.0
0.9
6.0
1.2
8.0
10
1.5
OFFSET
(典型值)
+125°C
跨度
范围
(典型值)
MPX10
V
S
= 3 V
DC
P1 P2 >
+25°C
“最好情况”的线性误差(低级数值),则
所需的计算是沉重的负担。
相反地,一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
(通常多在误差预算计算期望的)和
计算更加简单明了的用户。
飞思卡尔指定的压力传感器非线性的基础
上的结束点处测量所述直线方法
中端的压力。
图4
说明了差分或计的配置
在基本芯片载体(案例344 ) 。有机硅凝胶隔离
从环境模具表面和引线键合,而
允许压力信号被传输到硅
隔膜。
该MPX10系列压力传感器工作
特点和内部的可靠性和鉴定试验
是基于使用的干燥空气作为压力介质。媒体
其他比干空气可能对传感器的不利影响
性能和长期的可靠性。联系工厂
有关媒体兼容性信息,请
application.Refer应用笔记AN3728 ,更多的
有关媒体兼容性信息。
-40°C
压力差
图2.输出与差压
70
60
50
OUTPUT ( MVDC )
40
30
20
10
0
0
OFFSET
(V
关闭
)
压(kPa )
最大
P
OP
引线框架
P2
RTV DIE
BOND
理论
实际
线性
硅胶
模涂
引线键合
不锈钢
金属盖
P1
环氧树脂
跨度
(V
FSS
)
DIE
图3.线性度规格比较
图4.承载式车身包 - 横截面图
(不按比例)
MPX10
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
压力
压力( P 1 ) /真空(P2)的侧面识别表
飞思卡尔表示压力传感器的双方
作为压力( P1)侧和真空(P2)的一侧。该
压力(P1)的一侧是含侧硅氧烷凝胶哪个
隔离环境中的管芯。该压力传感器是
设计为具有正压差操作
应用, P1 > P2 。
的压力( P1)的一侧可以通过使用被识别
下面的表格。
产品型号
MPX10D
MPX10DP
MPX10GP
MPXV10GC6U
MPXV10GC7U
案例类型
344
344C
344B
482A
482C
压力( P1 )侧面标识
不锈钢帽
方用最热
方用端口连接
方用端口连接
方用端口连接
MPX10
传感器
飞思卡尔半导体公司
5
飞思卡尔半导体公司
技术参数
MPX10
启12 , 01/2007
10千帕未补偿
硅压力传感器
该MPX10和MPXV10GC系列设备是硅压阻
压力传感器提供了非常精确的和线性的电压输出 - 直接
正比于所施加的压力。这些标准的,成本低,未补偿
传感器允许制造商设计并添加自己的外部温度
补偿和信号调节网络。补偿技术
由于飞思卡尔的单元素应变片的可预测性的简化
设计。
图1
示出内部电路上的独立的示意性
压力传感器芯片。
特点
·低成本
专利的硅剪应力应变仪的设计
与供电电压成正比
易于使用的芯片载体封装选项
差分和计选项
耐用的环氧树脂Unibody的元素或热塑性( PPS )表面贴装封装
功能说明
空气运动控制
环境控制系统
级别指标
泄漏检测
·医疗器械
工业控制
气动控制系统
- 机器人
订购信息
(1)
设备类型
选项
案件编号:
订单号
小型封装( MPXV10G系列)
移植
轨道
482A
MPXV10GC6U
分子
磁带和卷轴
482A
MPXV10GC6T1
轨道
482C
MPXV10GC7U
UNIBODY包装( MPX10系列)
BASIC
迪FF erential
344
MPX10D
元素
移植
迪FF erential
344C
MPX10DP
分子
344B
MPX10GP
344E
MPX10GS
器件标识
MPXV10G
MPXV10G
MPXV10G
MPX10D
MPX10DP
MPX10GP
MPX10D
MPX10
MPXV10GC
系列
无偿压力
传感器
0至10千帕( 0-1.45 psi)的
35 mV的满量程
(典型值)
小外形封装
MPXV10GC6U
CASE 482A -01
MPXV10GC7U
CASE 482C -03
小外形封装
PIN号码
1
2
3
4
GND
+V
OUT
V
s
–V
OUT
5
6
7
8
N / C
N / C
N / C
N / C
注:1脚是注意到了领先的缺口。
UNIBODY封装引脚号码
1
2
GND
+V
OUT
3
4
V
s
–V
OUT
注:1脚是注意到了领先的缺口。
1. MPX10系列压力传感器是差分和仪表的配置。
器件采用的基本要素包或带压口接头其中
提供印刷电路板安装方便和刺喉的压力连接。
UNIBODY套餐
MPX10D
CASE 344-15
MPX10GP
CASE 344B -01
MPX10DP
CASE 344C -01
MPX10GS
CASE 344E -01
飞思卡尔半导体公司2007年版权所有。
3
+V
S
2
传感
元素
4
+V
OUT
–V
OUT
1
GND
图1.未补偿压力传感器原理图
电压输出与应用差压
差或计传感器的输出电压
与施加到压力增加的压力增加
侧(P1)相对于所述真空侧(P2) 。同样,输出
电压随着增加真空施加到
真空侧(P2)的相对的压力侧(P1)。
表1.最大额定值
(1)
等级
最大压力( P1 > P2 )
爆破压力(P > P2)
储存温度
工作温度
符号
P
最大
P
BURST
T
英镑
T
A
价值
75
100
-40到+125
-40到+125
单位
°C
°C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
MPX10
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
表2.工作特性
(V
S
= 3.0伏,T
A
= 25℃,除非另有说明, P1 > P2)的
特征
差压量程
(1)
电源电压
(2)
电源电流
满量程
(3)
OFFSET
(4)
灵敏度
线性
(5)
压力滞后
(5)
(0至10千帕)
温度迟滞
(5)
( -40 ° C至+ 125°C )
满量程的温度系数
(5)
偏移量的温度系数
(5)
电阻的温度COE FFI cient
(5)
输入阻抗
输出阻抗
响应时间
(6)
(10%至90%)的
预热时间
(7)
偏移稳定性
(8)
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误,由于设备自身的发热。
3.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小相关的压力。
4.偏移( Voff时)被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度(误差预算)由以下部分组成:
线性度:
从具有压力的直线关系输出偏差,采用终点法,通过所指定的
压力范围。
温度滞后:在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差,在温度循环到
和从最小或最大操作温度点,零压差施加。
压力滞后:
在被指定的范围内,任何压力输出偏差时,该压力被循环到并从最小
或最大额定在25℃下的压力。
TcSpan :
输出偏差超过0 85 ℃的温度范围内充分的额定压力,相对于25 ℃。
TcOffset :
与最小额定压力输出偏差施加,在0的温度范围内,以85 ℃,相对
至25℃ 。
TCR :
Z
IN
与最小额定压力偏差施加,在温度范围为-40 ℃至± 125 ℃时,相对于25 ℃。
符号
P
OP
V
S
I
O
V
FSS
V
关闭
V/Ρ
TCV
FSS
TCV
关闭
TCR
Z
IN
Z
OUT
t
R
0
20
0
–1.0
–0.22
0.28
400
750
典型值
3.0
6.0
35
20
3.5
±0.1
±0.5
±15
1.0
20
±0.5
最大
10
6.0
50
35
1.0
–0.16
0.34
550
1250
单位
V
DC
MADC
mV
mV
毫伏/帕
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
/°C
μV/°C
%/Z
IN
/°C
ms
ms
%V
FSS
6.响应时间被定义为时间以在输出的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的时候进行
指定的步骤的变化压力。
7.预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力稳定之后所需要的产物的时间。
8.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
MPX10
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
温度补偿
图2
示出的典型的输出特性
MPX10和MPXV10GC系列温度。
因为此应变片是硅的一个组成部分
隔膜,没有温度的影响,由于
在应变仪的热膨胀的差异而
隔膜,因为常常在粘贴式应变遇到
测量压力的传感器。的但是,属性
应变计本身是依赖于温度的,要求
该装置是温度补偿的,如果它是用于
在一个广泛的温度范围。
温度补偿和偏置校准即可
取得了较简单的附加电阻元件,
或者通过设计使用MPX2010D系列系统
传感器。
几种方法的外部温度
补偿了这两种-40至+ 125°C ,0 + 80°C
范围列在应用笔记AN840 。
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式: V
OUT
= V
关闭
+灵敏度X P在工作
压力范围(图
3).
有两种基本的方法来
计算非线性: 1 )终点直线拟合或2)
最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出了
“最好情况”的线性误差(低级数值),则
所需的计算是沉重的负担。
相反地,一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
(通常多在误差预算计算期望的)和
计算更加简单明了的用户。
飞思卡尔指定的压力传感器非线性的基础
上的结束点处测量所述直线方法
中端的压力。
80
70
60
OUTPUT ( MVDC )
50
40
30
20
10
0
PSI 0
0.3
2.0
0.6
4.0
0.9
6.0
1.2
8.0
10
1.5
OFFSET
(典型值)
+125°C
跨度
范围
(典型值)
V
S
= 3 V
DC
P1 P2 >
-40°C
+25°C
压力差
图2.输出与差压
70
60
50
OUTPUT ( MVDC )
40
30
20
10
0
0
OFFSET
(V
关闭
)
压(kPa )
最大
P
OP
理论
实际
线性
跨度
(V
FSS
)
图3.线性度规格比较
MPX10
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
硅胶
模涂
引线键合
DIE
P1
不锈钢
金属盖
环氧树脂
引线框架
P2
RTV DIE
BOND
图4.承载式车身包 - 剖面图(不按比例)
图4
说明了差分或计的配置
在基本芯片载体(案例344 ) 。有机硅凝胶隔离
从环境模具表面和引线键合,而
允许压力信号被传输到硅
隔膜。
该MPX10和MPXV10GC系列压力传感器
经营特色和内部的可靠性和
鉴定试验是基于使用的干燥空气作为压力
媒体。媒体比干燥空气等可能有不利影响
传感器的性能和长期的可靠性。联系
关于在介质兼容性工厂的信息,请
应用程序。
压力( P 1 ) /真空(P2)的侧面识别表
飞思卡尔表示压力传感器的双方
作为压力( P1)侧和真空(P2)的一侧。该
压力(P1)的一侧是含侧硅氧烷凝胶哪个
隔离环境中的管芯。飞思卡尔
压力传感器被设计为具有正操作
差压应用, P1 > P2 。
的压力( P1)的一侧可以通过使用被识别
下面的表格。
产品型号
MPX10D
MPX10DP
MPX10GP
MPX10GS
MPXV10GC6U
MPXV10GC7U
案例类型
344
344C
344B
344E
482A
482C
压力( P1 )侧面标识
不锈钢陡峭帽
方用最热
方用端口连接
方用端口连接
方用最热
方用最热
MPX10
传感器
飞思卡尔半导体公司
5
压力
飞思卡尔半导体公司
+
MPX10
转13 , 09/2008
10千帕未补偿
硅压力传感器
该MPX10系列硅压阻式压力传感器提供了一个非常
准确和线性电压输出,正比于所施加的
压力。这些标准,成本低,无补偿传感器许可证
制造商设计并添加自己的外部温度
补偿和信号调节网络。补偿技术
由于飞思卡尔的单个元素的可预测性的简化
应变片的设计。
MPX10
系列
0至10千帕( 0 1.45 psi)的
35 mV的满量程
(典型值)
应用实例
航空运动控制
环境控制系统
一级指标
泄漏检测
医疗器械
工业控制
气动控制系统
机器人
特点
低成本
专利的硅剪应力应变仪的设计
供电电压成正比
差分和计选项
耐用的环氧树脂Unibody的元素或热塑性( PPS )表面贴装
订购信息
设备名称
MPX10D
MPX10DP
MPX10GP
MPXV10GC6U
MPXV10GC7U
选项
TRAY
TRAY
TRAY
344
344C
344B
482A
482C
#端口
单身
压力式
迪FF erential
绝对
小外形封装
UNIBODY包装
MPXV10GC6U
CASE 482A -01
MPXV10GC7U
CASE 482C -03
MPX10D
CASE 344-15
MPX10GP
CASE 344B -01
MPX10DP
CASE 344C -01
飞思卡尔半导体公司, 2007-2008 。版权所有。
压力
工作特性
表1.工作特性
(V
S
= 3.0伏,T
A
= 25℃,除非另有说明, P1 > P2)的
特征
差压量程
(1)
电源电压
(2)
电源电流
满量程
(3)
OFFSET
(4)
灵敏度
线性
压力滞后( 0至10千帕)
温度迟滞
满量程的温度系数
偏移量的温度系数
电阻的温度COE FFI cient
输入阻抗
输出阻抗
响应时间
(5)
(10%至90%)的
预热时间
(6)
偏移稳定性
(7)
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误,由于设备自身的发热。
3.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
当受到5.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定步骤压力的变化。
6.预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力稳定之后所需要的产物的时间。
7.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
符号
P
OP
V
S
I
O
V
FSS
V
关闭
ΔV/ΔΡ
TCV
FSS
TCV
关闭
TCR
Z
IN
Z
OUT
t
R
0
20
0
–1.0
–0.22
0.21
400
750
典型值
3.0
6.0
35
20
3.5
±0.1
±0.5
±15
1.0
20
±0.5
最大
10
6.0
50
35
1.0
–0.16
0.27
550
1250
单位
V
DC
MADC
mV
mV
毫伏/帕
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
/°C
μV/°C
%Z
IN
/°C
Ω
Ω
ms
ms
%V
FSS
MPX10
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
压力
最大额定值
表2.最大额定值
(1)
等级
最大压力( P1 > P2 )
爆破压力( P1 > P2 )
储存温度
工作温度
符号
P
最大
P
BURST
T
英镑
T
A
价值
75
100
-40到+125
-40到+125
单位
°C
°C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
图1
示出了独立的压力传感器芯片上的内部电路的示意图。
3
+V
S
2
传感
元素
4
+V
OUT
–V
OUT
1
GND
图1.未补偿压力传感器原理图
电压输出与应用差压
差或计传感器的输出电压
与施加到压力增加的压力增加
侧(P1)相对于所述真空侧(P2) 。同样,输出
电压随着增加真空施加到
真空侧(P2)的相对的压力侧(P1)。
MPX10
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
压力
温度补偿
图2
示出的典型的输出特性
MPX10系列温度。
因为此应变片是硅的一个组成部分
隔膜,没有温度的影响,由于
在应变仪的热膨胀的差异而
隔膜,因为常常在粘贴式应变遇到
测量压力的传感器。的但是,属性
应变计本身是依赖于温度的,要求
该装置是温度补偿的,如果它是用于
在一个广泛的温度范围。
温度补偿和偏置校准即可
取得了较简单的附加电阻元件,
或者通过设计使用MPX2010D系列系统
传感器。
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式: V
OUT
= V
关闭
+灵敏度X P在工作
压力范围(图
3).
有两种基本的方法来
计算非线性: 1 )终点直线拟合或2)
最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出了
80
70
60
OUTPUT ( MVDC )
50
40
30
20
10
0
PSI 0
0.3
2.0
0.6
4.0
0.9
6.0
1.2
8.0
10
1.5
OFFSET
(典型值)
+125°C
跨度
范围
(典型值)
MPX10
V
S
= 3 V
DC
P1 P2 >
+25°C
“最好情况”的线性误差(低级数值),则
所需的计算是沉重的负担。
相反地,一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
(通常多在误差预算计算期望的)和
计算更加简单明了的用户。
飞思卡尔指定的压力传感器非线性的基础
上的结束点处测量所述直线方法
中端的压力。
图4
说明了差分或计的配置
在基本芯片载体(案例344 ) 。有机硅凝胶隔离
从环境模具表面和引线键合,而
允许压力信号被传输到硅
隔膜。
该MPX10系列压力传感器工作
特点和内部的可靠性和鉴定试验
是基于使用的干燥空气作为压力介质。媒体
其他比干空气可能对传感器的不利影响
性能和长期的可靠性。联系工厂
有关媒体兼容性信息,请
application.Refer应用笔记AN3728 ,更多的
有关媒体兼容性信息。
-40°C
压力差
图2.输出与差压
70
60
50
OUTPUT ( MVDC )
40
30
20
10
0
0
OFFSET
(V
关闭
)
压(kPa )
最大
P
OP
引线框架
P2
RTV DIE
BOND
理论
实际
线性
硅胶
模涂
引线键合
不锈钢
金属盖
P1
环氧树脂
跨度
(V
FSS
)
DIE
图3.线性度规格比较
图4.承载式车身包 - 横截面图
(不按比例)
MPX10
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
压力
压力( P 1 ) /真空(P2)的侧面识别表
飞思卡尔表示压力传感器的双方
作为压力( P1)侧和真空(P2)的一侧。该
压力(P1)的一侧是含侧硅氧烷凝胶哪个
隔离环境中的管芯。该压力传感器是
设计为具有正压差操作
应用, P1 > P2 。
的压力( P1)的一侧可以通过使用被识别
下面的表格。
产品型号
MPX10D
MPX10DP
MPX10GP
MPXV10GC6U
MPXV10GC7U
案例类型
344
344C
344B
482A
482C
压力( P1 )侧面标识
不锈钢帽
方用最热
方用端口连接
方用端口连接
方用端口连接
MPX10
传感器
飞思卡尔半导体公司
5
深圳市南天星电子科技有限公司
专业代理飞思卡尔
(飞思卡尔)
飞思卡尔主要产品
飞思卡尔产品主要应用
8
½微控制器
16
½微控制器
数字信号处理器与控制器
i.MX
应用处理器
基于
ARM技术的Kinetis微控制器
32/64
½微控制器与处理器
模拟与电源管理器件
射频器件( LDMOS ,收发器)
传感器(压力,加速度,磁场,
触摸,电池)
½½电子
数据连接
消费电子
工业控制
医疗保健
电机控制
½络
智½½源
深圳市南天星电子科技有限公司
电话:0755-83040796
传真:0755-83040790
邮箱: tiger@soustar.com.cn
½址:www.soustar.com.cn
地址:深圳市福田区福明路雷圳大厦
2306
压力
飞思卡尔半导体公司
+
MPX10
启14 , 10/2008
10千帕未补偿
硅压力传感器
该MPX10系列硅压阻式压力传感器提供了一个非常
准确和线性电压输出,正比于所施加的
压力。这些标准,成本低,无补偿传感器许可证
制造商设计并添加自己的外部温度
补偿和信号调节网络。补偿技术
由于飞思卡尔的单个元素的可预测性的简化
应变片的设计。
MPX10
系列
0至10千帕( 0 1.45 psi)的
35 mV的满量程
(典型值)
应用实例
航空运动控制
环境控制系统
一级指标
泄漏检测
医疗器械
工业控制
气动控制系统
机器人
特点
低成本
专利的硅剪应力应变仪的设计
供电电压成正比
差分和计选项
耐用的环氧树脂Unibody的元素或热塑性( PPS )表面贴装
订购信息
选项
UNIBODY包装( MPX10系列)
MPX10D
TRAY
344
MPX10DP
TRAY
344C
MPX10GP
TRAY
344B
小型封装( MPXV10G系列)
MPXV10GC6U
482A
MPXV10GC7U
482C
设备名称
#端口
单身
压力式
迪FF erential
绝对
设备
记号
MPX10D
MPX10DP
MPX10GP
MPXV10G
MPXV10G
小外形封装
UNIBODY包装
MPXV10GC6U
CASE 482A -01
MPXV10GC7U
CASE 482C -03
MPX10D
CASE 344-15
MPX10GP
CASE 344B -01
MPX10DP
CASE 344C -01
飞思卡尔半导体公司, 2007-2008 。版权所有。
压力
工作特性
表1.工作特性
(V
S
= 3.0伏,T
A
= 25℃,除非另有说明, P1 > P2)的
特征
差压量程
(1)
电源电压
(2)
电源电流
满量程
(3)
OFFSET
(4)
灵敏度
线性
压力滞后( 0至10千帕)
温度迟滞
满量程的温度系数
偏移量的温度系数
电阻的温度COE FFI cient
输入阻抗
输出阻抗
响应时间
(5)
(10%至90%)的
预热时间
(6)
偏移稳定性
(7)
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误,由于设备自身的发热。
3.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
当受到5.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的
指定步骤压力的变化。
6.预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力稳定之后所需要的产物的时间。
7.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
符号
P
OP
V
S
I
O
V
FSS
V
关闭
ΔV/ΔΡ
TCV
FSS
TCV
关闭
TCR
Z
IN
Z
OUT
t
R
0
20
0
–1.0
–0.22
0.21
400
750
典型值
3.0
6.0
35
20
3.5
±0.1
±0.5
±15
1.0
20
±0.5
最大
10
6.0
50
35
1.0
–0.16
0.27
550
1250
单位
V
DC
MADC
mV
mV
毫伏/帕
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
/°C
μV/°C
%Z
IN
/°C
Ω
Ω
ms
ms
%V
FSS
MPX10
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
压力
最大额定值
表2.最大额定值
(1)
等级
最大压力( P1 > P2 )
爆破压力( P1 > P2 )
储存温度
工作温度
符号
P
最大
P
BURST
T
英镑
T
A
价值
75
100
-40到+125
-40到+125
单位
°C
°C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
图1
示出了独立的压力传感器芯片上的内部电路的示意图。
3
+V
S
2
传感
元素
4
+V
OUT
–V
OUT
1
GND
图1.未补偿压力传感器原理图
电压输出与应用差压
差或计传感器的输出电压
与施加到压力增加的压力增加
侧(P1)相对于所述真空侧(P2) 。同样,输出
电压随着增加真空施加到
真空侧(P2)的相对的压力侧(P1)。
MPX10
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
压力
温度补偿
图2
示出的典型的输出特性
MPX10系列温度。
因为此应变片是硅的一个组成部分
隔膜,没有温度的影响,由于
在应变仪的热膨胀的差异而
隔膜,因为常常在粘贴式应变遇到
测量压力的传感器。的但是,属性
应变计本身是依赖于温度的,要求
该装置是温度补偿的,如果它是用于
在一个广泛的温度范围。
温度补偿和偏置校准即可
取得了较简单的附加电阻元件,
或者通过设计使用MPX2010D系列系统
传感器。
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式: V
OUT
= V
关闭
+灵敏度X P在工作
压力范围(图
3).
有两种基本的方法来
计算非线性: 1 )终点直线拟合或2)
最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出了
80
70
60
OUTPUT ( MVDC )
50
40
30
20
10
0
PSI 0
0.3
2.0
0.6
4.0
0.9
6.0
1.2
8.0
10
1.5
OFFSET
(典型值)
+125°C
跨度
范围
(典型值)
MPX10
V
S
= 3 V
DC
P1 P2 >
+25°C
“最好情况”的线性误差(低级数值),则
所需的计算是沉重的负担。
相反地,一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
(通常多在误差预算计算期望的)和
计算更加简单明了的用户。
飞思卡尔指定的压力传感器非线性的基础
上的结束点处测量所述直线方法
中端的压力。
图4
说明了差分或计的配置
在基本芯片载体(案例344 ) 。有机硅凝胶隔离
从环境模具表面和引线键合,而
允许压力信号被传输到硅
隔膜。
该MPX10系列压力传感器工作
特点和内部的可靠性和鉴定试验
是基于使用的干燥空气作为压力介质。媒体
其他比干空气可能对传感器的不利影响
性能和长期的可靠性。联系工厂
有关媒体兼容性信息,请
application.Refer应用笔记AN3728 ,更多的
有关媒体兼容性信息。
-40°C
压力差
图2.输出与差压
70
60
50
OUTPUT ( MVDC )
40
30
20
10
0
0
OFFSET
(V
关闭
)
压(kPa )
最大
P
OP
引线框架
P2
RTV DIE
BOND
理论
实际
线性
硅胶
模涂
引线键合
不锈钢
金属盖
P1
环氧树脂
跨度
(V
FSS
)
DIE
图3.线性度规格比较
图4.承载式车身包 - 横截面图
(不按比例)
MPX10
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
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