飞思卡尔半导体公司
技术参数
MPX10
启12 ， 01/2007
10千帕未补偿
硅压力传感器
该MPX10和MPXV10GC系列设备是硅压阻
压力传感器提供了非常精确的和线性的电压输出 - 直接
正比于所施加的压力。这些标准的，成本低，未补偿
传感器允许制造商设计并添加自己的外部温度
补偿和信号调节网络。补偿技术
由于飞思卡尔的单元素应变片的可预测性的简化
设计。
图1
示出内部电路上的独立的示意性
压力传感器芯片。
特点
·低成本
专利的硅剪应力应变仪的设计
与供电电压成正比
易于使用的芯片载体封装选项
差分和计选项
耐用的环氧树脂Unibody的元素或热塑性（ PPS ）表面贴装封装
功能说明
空气运动控制
环境控制系统
级别指标
泄漏检测
·医疗器械
工业控制
气动控制系统
- 机器人
订购信息
(1)
设备类型
选项
案件编号：
订单号
小型封装（ MPXV10G系列）
移植
轨道
482A
MPXV10GC6U
分子
磁带和卷轴
482A
MPXV10GC6T1
轨道
482C
MPXV10GC7U
UNIBODY包装（ MPX10系列）
BASIC
迪FF erential
344
MPX10D
元素
移植
迪FF erential
344C
MPX10DP
分子
规
344B
MPX10GP
规
344E
MPX10GS
器件标识
MPXV10G
MPXV10G
MPXV10G
MPX10D
MPX10DP
MPX10GP
MPX10D
MPX10
MPXV10GC
系列
无偿压力
传感器
0至10千帕（ 0-1.45 psi）的
35 mV的满量程
（典型值）
小外形封装
MPXV10GC6U
CASE 482A -01
MPXV10GC7U
CASE 482C -03
小外形封装
PIN号码
1
2
3
4
GND
+V
OUT
V
s
–V
OUT
5
6
7
8
N / C
N / C
N / C
N / C
注：1脚是注意到了领先的缺口。
UNIBODY封装引脚号码
1
2
GND
+V
OUT
3
4
V
s
–V
OUT
注：1脚是注意到了领先的缺口。
1. MPX10系列压力传感器是差分和仪表的配置。
器件采用的基本要素包或带压口接头其中
提供印刷电路板安装方便和刺喉的压力连接。
UNIBODY套餐
MPX10D
CASE 344-15
MPX10GP
CASE 344B -01
MPX10DP
CASE 344C -01
MPX10GS
CASE 344E -01
飞思卡尔半导体公司2007年版权所有。
3
+V
S
2
传感
元素
4
+V
OUT
–V
OUT
1
GND
图1.未补偿压力传感器原理图
电压输出与应用差压
差或计传感器的输出电压
与施加到压力增加的压力增加
侧（P1）相对于所述真空侧（P2） 。同样，输出
电压随着增加真空施加到
真空侧（P2）的相对的压力侧（P1）。
表1.最大额定值
(1)
等级
最大压力（ P1 > P2 ）
爆破压力（P > P2）
储存温度
工作温度
符号
P
最大
P
BURST
T
英镑
T
A
价值
75
100
-40到+125
-40到+125
单位
帕
帕
°C
°C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
MPX10
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
表2.工作特性
(V
S
= 3.0伏，T
A
= 25℃，除非另有说明， P1 > P2）的
特征
差压量程
(1)
电源电压
(2)
电源电流
满量程
(3)
OFFSET
(4)
灵敏度
线性
(5)
压力滞后
(5)
（0至10千帕）
温度迟滞
(5)
（ -40 ° C至+ 125°C ）
满量程的温度系数
(5)
偏移量的温度系数
(5)
电阻的温度COE FFI cient
(5)
输入阻抗
输出阻抗
响应时间
(6)
（10％至90％）的
预热时间
(7)
偏移稳定性
(8)
1. 1.0千帕（千帕）等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误，由于设备自身的发热。
3.满量程（V
FSS
）被定义为输出电压之间在全额定压力，并在该代数差的输出电压
最小相关的压力。
4.偏移（ Voff时）被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度（误差预算）由以下部分组成：
线性度：
从具有压力的直线关系输出偏差，采用终点法，通过所指定的
压力范围。
温度滞后：在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差，在温度循环到
和从最小或最大操作温度点，零压差施加。
压力滞后：
在被指定的范围内，任何压力输出偏差时，该压力被循环到并从最小
或最大额定在25℃下的压力。
TcSpan ：
输出偏差超过0 85 ℃的温度范围内充分的额定压力，相对于25 ℃。
TcOffset ：
与最小额定压力输出偏差施加，在0的温度范围内，以85 ℃，相对
至25℃ 。
TCR ：
Z
IN
与最小额定压力偏差施加，在温度范围为-40 ℃至± 125 ℃时，相对于25 ℃。
符号
P
OP
V
S
I
O
V
FSS
V
关闭
V/Ρ
—
—
—
TCV
FSS
TCV
关闭
TCR
Z
IN
Z
OUT
t
R
—
—
民
0
—
—
20
0
—
–1.0
—
—
–0.22
—
0.28
400
750
—
—
—
典型值
—
3.0
6.0
35
20
3.5
—
±0.1
±0.5
—
±15
—
—
—
1.0
20
±0.5
最大
10
6.0
—
50
35
—
1.0
—
—
–0.16
—
0.34
550
1250
—
—
—
单位
帕
V
DC
MADC
mV
mV
毫伏/帕
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
/°C
μV/°C
%/Z
IN
/°C
ms
ms
%V
FSS
6.响应时间被定义为时间以在输出的增量变化，从10％至到90 ％，其最终值的时候进行
指定的步骤的变化压力。
7.预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力稳定之后所需要的产物的时间。
8.偏置稳定性是产品的输出偏差时，受到1000小时脉冲压力，温度循环有偏差测试。
MPX10
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
温度补偿
图2
示出的典型的输出特性
MPX10和MPXV10GC系列温度。
因为此应变片是硅的一个组成部分
隔膜，没有温度的影响，由于
在应变仪的热膨胀的差异而
隔膜，因为常常在粘贴式应变遇到
测量压力的传感器。的但是，属性
应变计本身是依赖于温度的，要求
该装置是温度补偿的，如果它是用于
在一个广泛的温度范围。
温度补偿和偏置校准即可
取得了较简单的附加电阻元件，
或者通过设计使用MPX2010D系列系统
传感器。
几种方法的外部温度
补偿了这两种-40至+ 125°C ，0 + 80°C
范围列在应用笔记AN840 。
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式： V
OUT
= V
关闭
+灵敏度X P在工作
压力范围（图
3).
有两种基本的方法来
计算非线性： 1 ）终点直线拟合或2）
最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出了
“最好情况”的线性误差（低级数值），则
所需的计算是沉重的负担。
相反地，一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
（通常多在误差预算计算期望的）和
计算更加简单明了的用户。
飞思卡尔指定的压力传感器非线性的基础
上的结束点处测量所述直线方法
中端的压力。
80
70
60
OUTPUT （ MVDC ）
50
40
30
20
10
0
PSI 0
帕
0.3
2.0
0.6
4.0
0.9
6.0
1.2
8.0
10
1.5
OFFSET
（典型值）
+125°C
跨度
范围
（典型值）
V
S
= 3 V
DC
P1 P2 >
-40°C
+25°C
压力差
图2.输出与差压
70
60
50
OUTPUT （ MVDC ）
40
30
20
10
0
0
OFFSET
(V
关闭
)
压（kPa ）
最大
P
OP
理论
实际
线性
跨度
(V
FSS
)
图3.线性度规格比较
MPX10
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
摩托罗拉
半导体技术资料
订购此文件
通过MPX10 / D
10千帕
无偿
硅压力传感器
该MPX10系列器件的硅压阻式压力传感器提供了一个非常
准确和线性电压输出 - 正比于所施加的压力。这
标准，成本低，未补偿的传感器允许制造商设计和添加
自己的外部温度补偿和信号调理网络。
因为摩托罗拉的单一的可预测性补偿技术简化
元应变计的设计。
特点
低成本
专利的硅剪应力应变仪的设计
供电电压成正比
易于使用的芯片载体封装选项
差分和计选项
应用实例
航空运动控制
环境控制系统
一级指标
泄漏检测
医疗器械
工业控制
气动控制系统
机器人
图1示出的内部电路上的独立压力的示意
传感器芯片。
3脚
+ VS
销2
+ VOUT
X -能器
引脚4
- Vout的
销1
MPX10
系列
0至10千帕（ 0 - 1.45 psi）的
35 mV的满量程
（典型值）
基本CHIP
载体部件
CASE 344-15 ，风格1
迪FF erential
端口选项
CASE 344C -01 ，风格1
注： 1脚是缺口引脚。
引脚数
1
2
GND
+ VOUT
3
4
VS
ΔVOUT
图1.未补偿压力传感器原理图
电压输出与应用差压
在X -能器的差分电压输出正比于差分
施加压力。
的随差分或测量传感器的输出电压增加
压力施加到压力侧（P1）相对于所述真空侧（P2） 。同样，
输出电压随着增加真空施加到真空侧（P2）的
相对于所述压力侧（P1）。
Senseon和X -能器是Motorola，Inc.的商标。
第5版
摩托罗拉传感器设备数据
摩托罗拉1997年公司
1
MPX10系列
最大额定值
等级
过压（8）（ P 1 > P2）的
爆破压力（ 8 ） （ P1 > P2 ）
储存温度
工作温度
符号
P最高
Pburst
TSTG
TA
价值
75
100
- 40 + 125
- 40 + 125
单位
帕
帕
°C
°C
工作特性
（ VS = 3.0伏， TA = 25 ° C除非另有说明， P1 > P2 ）
特征
差压范围（ 1 ）
电源电压（ 2 ）
电源电流
满量程（ 3 ）
Offset(4)
灵敏度
Linearity(5)
压力滞后（ 5） （0至10千帕）
温度迟滞（ 5 ） （ - 40 ° C至+ 125°C ）
满量程的温度系数（ 5 ）
温度系数补偿（ 5 ）
电阻温度系数（5）
输入阻抗
输出阻抗
响应时间（ 6） （10％至90％）的
热身
偏置稳定性（ 9 ）
符号
POP
VS
Io
VFSS
VOFF
ΔV / ΔP
—
—
—
TCVFSS
TCVoff
TCR
寻
ZOUT
tR
—
—
民
0
—
—
20
0
—
–1.0
—
—
– 0.22
—
0.21
400
750
—
—
—
典型值
—
3.0
6.0
35
20
3.5
—
±
0.1
±
0.5
—
±15
—
—
—
1.0
20
±
0.5
最大
10
6.0
—
50
35
—
1.0
—
—
– 0.16
—
0.27
550
1250
—
—
—
单位
帕
VDC
MADC
mV
mV
毫伏/帕
％ VFSS
％ VFSS
％ VFSS
VFSS ％ /°C的
μV/°C
寻％ /°C的
ms
ms
％ VFSS
机械特性
特征
重量（基本元素，案例344-15 ）
共模线压力（ 7 ）
符号
—
—
民
—
—
典型值
2.0
—
最大
—
690
单位
克
帕
注意事项：
1. 1.0千帕（千帕）等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误，由于设备自身的发热。
3.满量程（ VFSS ）被定义为输出电压之间在全额定压力，并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移（ Voff时）被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度（误差预算）由以下部分组成：
线性：
从具有压力的直线关系输出偏差，采用终点法，通过所指定的
压力范围。
温度滞后：在工作温度范围内的任意温度输出偏差后的温度是
循环，并从最小或最大操作温度点，零压差
应用。
压力滞后：
在指定范围内的任何压力输出偏差时，该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力，在25℃下。
TcSpan ：
输出偏差超过0 85 ℃的温度范围内充分的额定压力，相对于25 ℃。
TcOffset ：
与最小额定压力输出偏差施加，在0的温度范围内，以85 ℃，相对
至25℃ 。
TCR ：
最小额定压力寻偏差应用，超过该温度范围 - 40 ° C至+ 125°C ，
相对于25 ℃。
当经受6.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化，从10％至到90 ％，其最终值的
指定的步骤的变化压力。
超出规定7.共模的压力可能会导致泄漏的情况下对引线接口。
8.接触超过这些限制可能造成永久性损坏或退化到设备。
9.偏置稳定性是产品的输出偏差时，受到1000小时脉冲压力，温度循环有偏差测试。
2
摩托罗拉传感器设备数据
MPX10系列
温度补偿
图2示出了典型的输出特性
MPX10系列温度。
在X -能器压阻式压力传感器元件是一个
半导体装置，其给出的电输出信号
正比于施加在装置中的压力。这DE-
副采用了独特的横向电压扩散semiconduc-
器的应变计这是在一个产生的应力敏感
薄的硅膜片上所施加的压力。
因为此应变片是硅的一个组成部分
隔膜，没有温度的影响由于differ-
在应变仪和所述的热膨胀分配办法
振膜，因为常常在粘贴式应变计遭遇
压力传感器。的应变。然而，性能
测量本身是依赖于温度的，要求的
装置进行温度补偿，如果它是被使用过
广泛的温度范围内。
温度补偿和偏置校准即可
取得了较简单的附加电阻元件，
或者通过设计使用MPX2010D系列系统
传感器。
有几种方法来外部温度补偿
化过两种 - 40至+ 125 ° C和0 + 80 ℃的范围
摩托罗拉在提交申请注AN840 。
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式：输出电压= Voff的+药敏X P在工作
压力范围（图3） 。有两种基本的方法来
计算非线性：（1）端点的直线拟合或（2）一
最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出了
“最好情况”的线性误差（低级数值），则校准 -
需要算结果是沉重的负担。
相反地，一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
（通常多在误差预算计算期望的）和
计算更加简单明了的用户。摩托罗拉
指定的压力传感器非线性是基于端
点直线法测得的端
压力。
80
70
OUTPUT （ MVDC ）
60
50
40
30
20
10
0
PSI 0
帕
0.3
2.0
0.6
0.9
1.2
OFFSET
（典型值）
1.5
10
VS = 3伏直流
P1 P2 >
+ 25°C
OUTPUT （ MVDC ）
+ 125°C
跨度
范围
（典型值）
– 40°C
70
60
50
实际
40
30
20
10
0
0
压（kPa ）
理论
OFFSET
（ VOFF ）
最大
POP
跨度
（ VFSS ）
线性
4.0
6.0
8.0
压力差
图2.输出与差压
图3.线性度规格比较
硅胶
模涂
引线键合
DIE
P1
不锈钢
金属盖
环氧树脂
例
引线框架
图4横截面图（不按比例）
图4示出了差分或测量仪配置
在基本芯片载体（事例344-15 ） 。有机硅凝胶异
鲈从环境的模具表面和引线键合，
同时使压力信号被传输到SIL-
图标隔膜。
该MPX10系列压力传感器工作characteris-
抽动和内部的可靠性和鉴定试验的基础
在使用干燥空气作为压力介质。媒体比干其他
空气可能对传感器的性能和副作用
长期可靠性。工厂的信息，请联系重新
褒贬应用程序中的介质兼容性。
摩托罗拉传感器设备数据
P2
RTV DIE
BOND
3
MPX10系列
压力（ P 1 ） /真空（P2）的侧面识别表
摩托罗拉表示压力传感器的双方
作为压力（ P1）侧和真空（P2）的一侧。该
压力（P1）的一侧是含侧硅氧烷凝胶哪个
隔离环境中的管芯。摩托罗拉MPX
产品型号
MPX10D
MPX10DP
MPX10GP
MPX10GVP
MPX10GS
MPX10GSX
案例类型
344–15C
344C–01
344B–01
344D–01
344E–01
344F–01
压力传感器被设计为具有正differen-操作
TiAl金属施加压力， P1 > P2 。
的压力（ P1）的一侧可以通过使用表中识别
如下：
压力（ P1 ）侧面标识
不锈钢帽
方用最热
方用端口连接
不锈钢帽
方用端口连接
方用端口连接
订购信息
MPX10系列压力传感器是差分和仪表的配置。器件采用基本
元件封装或带压口接头，其提供的印刷电路板安装方便和刺喉的压力
连接。
MPX系列
设备类型
I T
基本元素
移植的要素
选项
O I
迪FF erential
迪FF erential
规
真空压力表
计炉管
计轴
案例类型
C
T
CASE 344-15
CASE 344C -01
CASE 344B -01
CASE 344D -01
CASE 344E -01
CASE 344F -01
订单号
MPX10D
MPX10DP
MPX10GP
MPX10GVP
MPX10GS
MPX10GSX
器件标识
MPX10D
MPX10DP
MPX10GP
MPX10GVP
MPX10D
MPX10D
4
摩托罗拉传感器设备数据
压力
飞思卡尔半导体公司
+
MPX10
转13 ， 09/2008
10千帕未补偿
硅压力传感器
该MPX10系列硅压阻式压力传感器提供了一个非常
准确和线性电压输出，正比于所施加的
压力。这些标准，成本低，无补偿传感器许可证
制造商设计并添加自己的外部温度
补偿和信号调节网络。补偿技术
由于飞思卡尔的单个元素的可预测性的简化
应变片的设计。
MPX10
系列
0至10千帕（ 0 1.45 psi）的
35 mV的满量程
（典型值）
应用实例
航空运动控制
环境控制系统
一级指标
泄漏检测
医疗器械
工业控制
气动控制系统
机器人
特点
低成本
专利的硅剪应力应变仪的设计
供电电压成正比
差分和计选项
耐用的环氧树脂Unibody的元素或热塑性（ PPS ）表面贴装
包
订购信息
设备名称
MPX10D
MPX10DP
MPX10GP
MPXV10GC6U
MPXV10GC7U
包
选项
TRAY
TRAY
TRAY
轨
轨
例
号
344
344C
344B
482A
482C
无
＃端口
单身
双
规
压力式
迪FF erential
绝对
小外形封装
UNIBODY包装
MPXV10GC6U
CASE 482A -01
MPXV10GC7U
CASE 482C -03
MPX10D
CASE 344-15
MPX10GP
CASE 344B -01
MPX10DP
CASE 344C -01
飞思卡尔半导体公司， 2007-2008 。版权所有。
压力
工作特性
表1.工作特性
(V
S
= 3.0伏，T
A
= 25℃，除非另有说明， P1 > P2）的
特征
差压量程
(1)
电源电压
(2)
电源电流
满量程
(3)
OFFSET
(4)
灵敏度
线性
压力滞后（ 0至10千帕）
温度迟滞
满量程的温度系数
偏移量的温度系数
电阻的温度COE FFI cient
输入阻抗
输出阻抗
响应时间
(5)
（10％至90％）的
预热时间
(6)
偏移稳定性
(7)
1. 1.0千帕（千帕）等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误，由于设备自身的发热。
3.满量程（V
FSS
）被定义为输出电压之间在全额定压力，并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
4.偏移（V
关闭
）被定义为输出电压在最小额定压力。
当受到5.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化，从10％至到90 ％，其最终值的
指定步骤压力的变化。
6.预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力稳定之后所需要的产物的时间。
7.偏置稳定性是产品的输出偏差时，受到1000小时脉冲压力，温度循环有偏差测试。
符号
P
OP
V
S
I
O
V
FSS
V
关闭
ΔV/ΔΡ
—
—
—
TCV
FSS
TCV
关闭
TCR
Z
IN
Z
OUT
t
R
—
—
民
0
—
—
20
0
—
–1.0
—
—
–0.22
—
0.21
400
750
—
—
—
典型值
—
3.0
6.0
35
20
3.5
—
±0.1
±0.5
—
±15
—
—
—
1.0
20
±0.5
最大
10
6.0
—
50
35
—
1.0
—
—
–0.16
—
0.27
550
1250
—
—
—
单位
帕
V
DC
MADC
mV
mV
毫伏/帕
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
/°C
μV/°C
%Z
IN
/°C
Ω
Ω
ms
ms
%V
FSS
MPX10
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
压力
最大额定值
表2.最大额定值
(1)
等级
最大压力（ P1 > P2 ）
爆破压力（ P1 > P2 ）
储存温度
工作温度
符号
P
最大
P
BURST
T
英镑
T
A
价值
75
100
-40到+125
-40到+125
单位
帕
帕
°C
°C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
图1
示出了独立的压力传感器芯片上的内部电路的示意图。
3
+V
S
2
传感
元素
4
+V
OUT
–V
OUT
1
GND
图1.未补偿压力传感器原理图
电压输出与应用差压
差或计传感器的输出电压
与施加到压力增加的压力增加
侧（P1）相对于所述真空侧（P2） 。同样，输出
电压随着增加真空施加到
真空侧（P2）的相对的压力侧（P1）。
MPX10
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
压力
温度补偿
图2
示出的典型的输出特性
MPX10系列温度。
因为此应变片是硅的一个组成部分
隔膜，没有温度的影响，由于
在应变仪的热膨胀的差异而
隔膜，因为常常在粘贴式应变遇到
测量压力的传感器。的但是，属性
应变计本身是依赖于温度的，要求
该装置是温度补偿的，如果它是用于
在一个广泛的温度范围。
温度补偿和偏置校准即可
取得了较简单的附加电阻元件，
或者通过设计使用MPX2010D系列系统
传感器。
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式： V
OUT
= V
关闭
+灵敏度X P在工作
压力范围（图
3).
有两种基本的方法来
计算非线性： 1 ）终点直线拟合或2）
最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出了
80
70
60
OUTPUT （ MVDC ）
50
40
30
20
10
0
PSI 0
帕
0.3
2.0
0.6
4.0
0.9
6.0
1.2
8.0
10
1.5
OFFSET
（典型值）
+125°C
跨度
范围
（典型值）
MPX10
V
S
= 3 V
DC
P1 P2 >
+25°C
“最好情况”的线性误差（低级数值），则
所需的计算是沉重的负担。
相反地，一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
（通常多在误差预算计算期望的）和
计算更加简单明了的用户。
飞思卡尔指定的压力传感器非线性的基础
上的结束点处测量所述直线方法
中端的压力。
图4
说明了差分或计的配置
在基本芯片载体（案例344 ） 。有机硅凝胶隔离
从环境模具表面和引线键合，而
允许压力信号被传输到硅
隔膜。
该MPX10系列压力传感器工作
特点和内部的可靠性和鉴定试验
是基于使用的干燥空气作为压力介质。媒体
其他比干空气可能对传感器的不利影响
性能和长期的可靠性。联系工厂
有关媒体兼容性信息，请
application.Refer应用笔记AN3728 ，更多的
有关媒体兼容性信息。
-40°C
压力差
图2.输出与差压
70
60
50
OUTPUT （ MVDC ）
40
30
20
10
0
0
OFFSET
(V
关闭
)
压（kPa ）
最大
P
OP
引线框架
P2
RTV DIE
BOND
理论
实际
线性
硅胶
模涂
引线键合
不锈钢
金属盖
P1
环氧树脂
例
跨度
(V
FSS
)
DIE
图3.线性度规格比较
图4.承载式车身包 - 横截面图
（不按比例）
MPX10
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
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