压力
飞思卡尔半导体公司
集成硅压力传感器
片内信号调节，
温度补偿和
CALIBRATED
该MPxx5010系列压阻式传感器是国家的最先进的
单片硅压力传感器设计用于广泛的应用范围，
但特别是那些采用微控制器或微处理器与A / D
输入。该传感器结合了先进的微机械加工技术，
薄膜金属化，和双极型处理，以提供一种准确，高
平模拟输出信号，该信号正比于所施加的压力。该
轴向端口已被修改，以适应工业级管路。
MPX5010
启12 ， 09/2009
MPX5010
MPXV5010
MPVZ5010
系列
0至10千帕（ 0 1.45 psi）的
（ 0至1019.78毫米
2
O)
0.2 4.7 V输出
应用实例
医院用床
暖通空调
呼吸道系统
过程控制
洗衣机水位
测量（参考AN1950 ）
非常适合微处理器或
基于微控制器的系统
电器液位和压力
测量
特点
5.0 ％，最大误差在0 °到85°C
非常适合于微处理器或微控制器为基础的系统
耐用的Unibody的环氧树脂和热塑性塑料（ PPS ）表面贴装封装
温度补偿在-40 °C至+ 125°C
专利的硅剪应力应变计
可在微分和仪表的配置
可在表面贴装（ SMT）或通孔（ DIP ）配置
订购信息
设备名称
案件编号：
无
＃端口
单身
双
规
压力式
迪FF erential
绝对
设备
记号
MPX5010DP
MPX5010GP
MPX5010D
MPX5010D
MPXV5010DP
MPXV5010G
MPXV5010G
MPXV5010G
MPXV5010G
MPXV5010GP
MPVZ5010G
MPVZ5010G
MPVZ5010G
MZ5010GW
MZ5010GW
一体成型机身包（ MPX5010系列）
MPX5010DP
867C
MPX5010GP
867B
MPX5010GS
867E
MPX5010GSX
867F
小外形封装（ MPXV5010系列）
MPXV5010DP
1351
MPXV5010G6U
482
MPXV5010GC6T1
482A
MPXV5010GC6U
482A
MPXV5010GC7U
482C
MPXV5010GP
1369
小外形封装（耐介质凝胶） （ MPVZ5010系列）
MPVZ5010G6U
MPVZ5010G6T1
MPVZ5010G7U
MPVZ5010GW6U
MPVZ5010GW7U
482
482
482B
1735
1560
飞思卡尔半导体公司， 2007-2009 。版权所有。
压力
工作特性
表1.工作特性
(
V
S
= 5.0伏，T
A
= 25 ° C除非另有说明， P1 > P2 。在显示去耦电路
图3需要满足规范）。
特征
压力范围
电源电压
(1)
电源电流
最小压力失调
(2)
@ V
S
= 5.0伏特
满量程输出
(3)
@ V
S
= 5.0伏特
满量程
(4)
@ V
S
= 5.0伏特
准确性
(5)
灵敏度
（0至85℃ ）
符号
P
OP
V
S
I
o
V
关闭
民
0
4.75
—
0
典型值
—
5.0
5.0
0.2
最大
10
1019.78
5.25
10
0.425
单位
帕
mm高
2
O
VDC
MADC
VDC
（0至85℃ ）
V
FSO
4.475
4.7
4.925
VDC
（0至85℃ ）
V
FSS
4.275
4.5
4.725
VDC
（0至85℃ ）
—
V / P
—
—
—
450
4.413
1.0
0.1
20
±0.5
±5.0
—
%V
FSS
毫伏/毫米
毫伏/ mm高
2
O
ms
MADC
ms
%V
FSS
响应时间
(6)
输出源电流满量程输出
预热时间
(7)
偏移稳定性
(8)
1.设备是在这个特定的激励范围比例。
2.补偿（V
关闭
）被定义为输出电压在最小额定压力。
t
R
I
O+
—
—
—
—
—
—
—
—
—
—
3.满量程输出（V
FSO
）被定义为输出电压在最大或满额定压力。
4.满量程（V
FSS
）被定义为输出电压之间在全额定压力，并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
5.精度（误差预算）由以下部分组成：
线性度：从与压力超过规定的压力范围内的直线关系输出偏差。
温度滞后：在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差，温度之后被循环到并
从最小或最大操作温度点，零压差施加。
压力滞后：在指定范围内的任意压力输出的偏差，当此压力被循环到并从最小或
最大额定压力，在25℃下。
TcSpan ：在0 °至85℃ ，相对于25 ℃的温度范围内的输出偏差。
TcOffset ：与最小额定压力输出偏差施加，在0 °至85℃ ，相对于25 ℃的温度范围内。
变异的名义：从标称值，偏移和满量程的变化，作为V的百分比
FSS
在25 ℃。
当受到6.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化，从10％至到90 ％，其最终值的
指定步骤压力的变化。
7.预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后，所需的产物的时间。
8.偏置稳定性是产品的输出偏差时，受到1000小时脉冲压力，温度循环有偏差测试。
MPX5010
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
压力
最大额定值
表2.最大额定值
(1)
等级
最大压力（ P1
＆ GT ;
P2)
储存温度
工作温度
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
40
-40到+125
-40到+125
单位
帕
°C
°C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
图1
示出内部电路上集成的压力传感器芯片的框图。
V
S
2（ SOP）的
3 （承载式车身）
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
和
增益级＃ 1
增益级＃ 2
和
地
参考
位移电路
V
OUT
1 （承载式车身）
4 （SOP）
2 （承载式车身）
3（ SOP）的
GND
引脚1和5至8号连接
对于小外形封装。
引脚4 ， 5和6是未连接FOR
一体式封装。
图1.完全集成压力传感器的原理
MPX5010
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
飞思卡尔半导体公司
技术参数
MPVZ5010G
REV 0 ， 09/2005
集成硅压力传感器
片内信号调节，
温度补偿和
CALIBRATED
该MPVZ5010G系列压阻式传感器是国家的最先进的
单片硅压力传感器设计用于家电，消费电子，
医疗保健，工业和汽车市场。模拟输出可以被读
直接进入飞思卡尔微控制器的A / D输入。这种传感器
结合先进的微机械加工技术，薄膜金属化，并
双极性处理，以提供即一种精确，高电平的模拟输出信号
正比于所施加的压力。轴向端口已被修改为
适应工业级管材。
特点
5.0 ％，最大误差在0 °到85°C
温度补偿在-40 °C至+ 125°C
耐用的热塑性塑料（ PPS ）套餐
可在表面贴装（ SMT）或通孔（ DIP ）配置
MPVZ5010G
系列
集成
压力传感器
0至10千帕（ 0 1019.78毫米
2
O)
0.2 4.7 V输出
小外形封装
表面贴装
应用实例
洗衣机水位测量（参考AN1950 ）
非常适合微处理器或微控制器为基础的系统
电器液位和压力测量
呼吸设备
订购信息
设备
TYPE
表面贴装
通孔
表面贴装
表面贴装
通孔
例
号
1735-01
1560-02
482-01
482-01
482B-03
MPVZ系列
订单号
MPVZ5010GW6U
MPVZ5010GW7U
MPVZ5010G6U
MPVZ5010G6T1
MPVZ5010G7U
填料
选项
轨道
轨道
轨道
磁带&卷轴
轨道
设备
记号
MZ5010GW
MZ5010GW
MZ5010G
MZ5010G
MZ5010G
MPVZ5010GW6U
CASE 1735至1701年
MPVZ5010G6U/T1
CASE 482-01
小外形封装
通孔
J
MPVZ5010GW7U
CASE 1560至1502年
MPVZ5010G7U
CASE 482B -03
PIN号码
(1)
1
2
3
4
N / C
V
S
GND
V
OUT
5
6
7
8
N / C
N / C
N / C
N / C
1.引脚1 ，5，6 ，7，和图8是内部设备
连接。不要连接到外部
电路或接地。 1脚注意到
缺口处于领先地位。
飞思卡尔半导体公司2005年版权所有。
V
S
传感
元素
薄膜
温度
赔偿金
和
增益级＃ 1
增益级＃ 2
和
地
参考
位移电路
V
OUT
GND
引脚1和5至8号连接
用于表面贴装封装
引脚4 ， 5和6是未连接FOR
UNIBODY包装
图1.完全集成压力传感器的原理
表1.最大额定值
(1)
等级
最大压力（ P1
＆ GT ;
P2)
储存温度
工作温度
符号
P
最大
T
英镑
T
A
价值
40
-40到+125
-40到+125
单位
帕
°C
°C
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
MPVZ5010G
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
表2.工作特性
(
V
S
= 5.0伏，T
A
= 25 ° C除非另有说明， P1 > P2 。在显示去耦电路
图3需要满足规范）。
特征
压力范围
(1)
电源电压
(2)
电源电流
最小压力失调
(3)
@ V
S
= 5.0伏特
满量程输出
(4)
@ V
S
= 5.0伏特
满量程
(5)
@ V
S
= 5.0伏特
准确性
(6)
灵敏度
响应时间
(7)
输出源电流满量程输出
预热时间
(8)
偏移稳定性
(9)
1. 1.0千帕（千帕）等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。
3.偏移量（V
关闭
）被定义为输出电压在最小额定压力。
4.满量程输出（V
FSO
）被定义为输出电压在最大或满额定压力。
5.满量程（V
FSS
）被定义为输出电压之间在全额定压力，并在该代数差的输出电压
最小额定压力。
6.精度（误差预算）由以下部分组成：
线性度：
输出偏离与压力超过规定的压力范围内的直线关系。
温度滞后：在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差，在温度循环到
和从最小或最大操作温度点，零压差施加。
压力滞后：
在指定范围内的任何压力输出偏差时，该压力被循环到并从
最小或最大的额定压力，在25℃下。
TcSpan ：
输出偏差在0 °至85℃ ，相对于25 ℃的温度范围内。
TcOffset ：
与最小额定压力输出偏差施加，在0 °至85℃ ，相对于25 ℃的温度范围内。
从标称变化：在
变化的标称值，偏移和满量程，为V的百分比
FSS
在25 ℃。
当受到7.响应时间定义为在时间为输出中的增量变化，从10％至到90 ％，其最终值的
指定步骤压力的变化。
8.预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力已经稳定后，所需的产物的时间。
9.偏置稳定性是产品的输出偏差时，受到1000小时脉冲压力，温度循环有偏差测试。
（0至85℃ ）
（0至85℃ ）
（0至85℃ ）
（0至85℃ ）
符号
P
OP
V
S
I
o
V
关闭
V
FSO
V
FSS
—
V / P
t
R
I
O+
—
—
民
0
4.75
—
0
4.475
4.275
—
—
—
—
—
—
典型值
—
5.0
5.0
0.2
4.7
4.5
—
450
4.413
1.0
0.1
20
±0.5
最大
10
1019.78
5.25
10
0.425
4.925
4.725
±5.0
—-
—-
—-
—-
—-
单位
帕
mm高
2
O
VDC
MADC
VDC
VDC
VDC
%V
FSS
毫伏/帕
毫伏/ mm高
2
O
ms
MADC
ms
%V
FSS
MPVZ5010G
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
传递函数（ MPVZ5010G ）
标称传输值：
V
OUT
= V
S
×（ 0.09 X P + 0.04 ）
± （压力误差X温度因子x 0.09 x垂直
S
)
V
S
= 5.0 V
±
0.25伏
P =千帕
温度误差带
MPVZ5010G系列
4.0
3.0
温度
错误
因素
2.0
1.0
0.0
–40
–20
0
20
40
60
80
100
120
140
在° C温度
注：该温度乘数是从0°线性响应至-40 ℃，并从85°至125°C 。
温度
–40
0到85
+125
倍增器
3
1
3
压力误差带
0.5
0.4
0.3
压力
错误
（千帕）
0.2
0.1
0
–0.1
–0.2
–0.3
–0.4
–0.5
压力
010 （ kPa）的
误差（最大值）
±0.5 （千帕）
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
压（kPa ）
MPVZ5010G
传感器
飞思卡尔半导体公司
5
QQ：2881677436 复制
