飞思卡尔半导体公司
技术参数
MPVZ12
第2版, 2007年1月
10千帕未补偿
硅压力传感器
该MPVZ12系列硅压阻式压力传感器提供
非常准确,线性电压输出 - 正比于所施加的
压力。这个标准,成本低,未补偿的传感器许可证
制造商设计并添加自己的外部温度补偿
和信号调节网络。补偿技术被简化
由于飞思卡尔的单元素应变片设计的可预测性的。
特点
低成本
专利的硅剪应力应变仪的设计
供电电压成正比
易于使用的芯片载体封装选项
差分和计选项
耐用的环氧树脂封装
增加的介质兼容性氟碳凝胶
MPVZ12系列
无偿压力
传感器
0至10千帕( 0-1.45 psi)的
55 mV的满量程
(典型值)
小外形封装
MPVZ12GC6U
CASE 482A -01
应用实例
空气运动控制
环境控制系统
级别指标
泄漏检测
·医疗器械
工业控制
气动控制系统
- 机器人
MPVZ12GC7U
CASE 482C -03
订购信息
(1)
设备类型
移植
选项
规
案件编号:
482A
482C
1735
1560
订单号
MPVZ12GC6U
MPVZ12GC7U
MPVZ12GW6U
MPVZ12GW7U
器件标识
MPVZ12G
MPVZ12G
MZ12GW
MZ12GW
MPVZ12GW7U
CASE 1560至1502年
MPVZ12GW6U
CASE 1735至1701年
1. MPVZ12系列压力传感器是差分和仪表的配置。
器件采用的基本要素包或带压口接头其中
提供印刷电路板安装方便和刺喉的压力连接。
PIN号码
1
2
3
4
GND
+V
OUT
V
s
–V
OUT
5
6
7
8
N / C
N / C
N / C
N / C
注:1脚是注意到了领先的缺口。
飞思卡尔半导体公司2007年版权所有。
3
+V
S
2
传感
元素
4
+V
OUT
–V
OUT
1
GND
图1.未补偿压力传感器原理图
电压输出与应用差压
差或计传感器的输出电压
与施加到压力增加的压力增加
侧(P1)相对于所述真空侧(P2) 。同样,输出
表1.最大额定值
(1)
等级
最大压力( P1 > P2 )
爆破压力( P1 > P2 )
储存温度
工作温度
符号
P
最大
P
BURST
T
英镑
T
A
价值
75
100
-40到+125
-40到+125
单位
帕
帕
°C
°C
电压随着增加真空施加到
真空侧(P2)的相对的压力侧(P1)。
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
MPVZ12
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
表2.工作特性
(V
S
= 3.0伏,T
A
= 25℃,除非另有说明, P1 > P2)的
特征
差压量程
(1)
电源电压
(2)
电源电流
满量程
(3)
OFFSET
(4)
灵敏度
线性
(5)
压力滞后
6
(0至10千帕)
温度迟滞
(5)
( -40 ° C至+ 125°C )
满量程的温度系数
(5)
偏移量的温度系数
(5)
电阻的温度COE FFI cient
(5)
输入阻抗
输出阻抗
响应时间
(6)
(10%至90%)的
预热时间
(7)
偏移稳定性
(8)
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误,由于设备自身的发热。
3.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小相关的压力。
4.偏移(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度(误差预算)由以下部分组成:
线性度:
从具有压力的直线关系输出偏差,采用终点法,通过所指定的
压力范围。
温度滞后:在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差,在温度循环到
和从最小或最大操作温度点,零压差施加。
压力滞后:
在被指定的范围内,任何压力输出偏差时,该压力被循环到并从最小
或最大额定在25℃下的压力。
TcSpan :
输出偏差超过0 85 ℃的温度范围内充分的额定压力,相对于25 ℃。
TcOffset :
与最小额定压力输出偏差施加,在0至85℃的温度范围内,相对于25 ℃。
TCR :
Z
IN
与最小额定压力偏差施加,在温度范围为-40 ℃至± 125 ℃时,相对于
25°C.
符号
P
OP
V
S
I
o
V
FSS
V
关闭
ΔV / ΔP
—
—
—
TCV
FSS
TCV
关闭
TCR
Z
in
Z
OUT
t
R
—
—
民
0
—
—
45
0
—
–0.5
—
—
–0.22
—
0.28
400
750
—
—
—
典型值
—
3.0
6.0
55
20
5.5
—
±0.1
±0.5
—
±15
—
—
—
1.0
20
±0.5
最大
10
6.0
—
70
35
—
5.0
—
—
–0.16
—
0.34
550
1250
—
—
—
单位
帕
VDC
MADC
mV
mV
毫伏/帕
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
/°C
μV/°C
%Z
in
/°C
W
W
ms
ms
%V
FSS
6.响应时间被定义为时间以在输出的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的时候进行
指定的步骤的变化压力。
7.预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力稳定之后所需要的产物的时间。
8.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
MPVZ12
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
温度补偿
图2
示出的典型的输出特性
MPVZ12系列温度。
因为此应变片是硅的一个组成部分
隔膜,没有温度的影响,由于
在应变仪的热膨胀的差异而
隔膜,因为常常在粘贴式应变遇到
测量压力的传感器。的但是,属性
应变计本身是依赖于温度的,要求
该装置是温度补偿的,如果它是用于
在一个广泛的温度范围。
温度补偿和偏置校准即可
取得了较简单的附加电阻元件,
或者通过设计使用MPX2010D系列系统
传感器。
几种方法的外部温度
补偿了这两种-40至+ 125°C ,0 + 80°C
在应用程序中呈现系列注AN840 。
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式: V
OUT
= V
关闭
+灵敏度X P在工作
压力范围(图
3).
有两种基本的方法来
计算非线性:(1)端点的直线拟合或(2)一
最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出了
“最好情况”的线性误差(低级数值),则
所需的计算是沉重的负担。
相反地,一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
(通常多在误差预算计算期望的)和
计算更加简单明了的用户。
飞思卡尔指定的压力传感器非线性的基础
上的结束点处测量所述直线方法
中端的压力。
80
70
60
OUTPUT ( MVDC )
50
40
30
20
10
0
PSI 0
帕
0.3
2.0
0.6
4.0
0.9
6.0
1.2
8.0
10
1.5
OFFSET
(典型值)
+125°C
V
S
= 3 V
DC
P1 P2 >
+25°C
-40°C
跨度
范围
(典型值)
压力差
图2.输出与差压
80
70
60
50
OUTPUT ( MVDC )
40
30
20
10
0
0
OFFSET
(V
关闭
)
压(kPa )
最大
P
OP
理论
实际
跨度
(V
FSS
)
线性
图3.线性度规格比较
MPVZ12
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
飞思卡尔半导体公司
技术参数
MPVZ12
REV 0 , 09/2006
10千帕未补偿
硅压力传感器
该MPVZ12系列硅压阻式压力传感器提供
非常准确,线性电压输出 - 正比于所施加的
压力。这个标准,成本低,未补偿的传感器许可证
制造商设计并添加自己的外部温度补偿
和信号调节网络。补偿技术被简化
由于飞思卡尔的单元素应变片设计的可预测性的。
特点
低成本
专利的硅剪应力应变仪的设计
供电电压成正比
易于使用的芯片载体封装选项
差分和计选项
耐用的环氧树脂封装
增加的介质兼容性氟碳凝胶
MPVZ12系列
无偿压力
传感器
0至10千帕( 0-1.45 psi)的
55 mV的满量程
(典型值)
小外形封装
MPVZ12GC6U
CASE 482A -01
应用实例
空气运动控制
环境控制系统
级别指标
泄漏检测
·医疗器械
工业控制
气动控制系统
- 机器人
MPVZ12GC7U
CASE 482C -03
订购信息
(1)
设备类型
移植
选项
规
案件编号:
482A
482C
1735
1560
订单号
MPVZ12GC6U
MPVZ12GC7U
MPVZ12GW6U
MPVZ12GW7U
器件标识
MPVZ12G
MPVZ12G
MZ12GW
MZ12GW
MPVZ12GW7U
CASE 1560至1502年
MPVZ12GW6U
CASE 1735至1701年
1. MPVZ12系列压力传感器是差分和仪表的配置。
器件采用的基本要素包或带压口接头其中
提供印刷电路板安装方便和刺喉的压力连接。
PIN号码
1
2
3
4
GND
+V
OUT
V
s
–V
OUT
5
6
7
8
N / C
N / C
N / C
N / C
注:1脚是注意到了领先的缺口。
飞思卡尔半导体公司2006年版权所有。
3
+V
S
2
传感
元素
4
+V
OUT
–V
OUT
1
GND
图1.未补偿压力传感器原理图
电压输出与应用差压
差或计传感器的输出电压
与施加到压力增加的压力增加
侧(P1)相对于所述真空侧(P2) 。同样,输出
表1.最大额定值
(1)
等级
最大压力( P1 > P2 )
爆破压力( P1 > P2 )
储存温度
工作温度
符号
P
最大
P
BURST
T
英镑
T
A
价值
75
100
-40到+125
-40到+125
单位
帕
帕
°C
°C
电压随着增加真空施加到
真空侧(P2)的相对的压力侧(P1)。
1.曝光超出了指定的范围可能会造成永久性损坏或退化到设备。
MPVZ12
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
表2.工作特性
(V
S
= 3.0伏,T
A
= 25℃,除非另有说明, P1 > P2)的
特征
差压量程
(1)
电源电压
(2)
电源电流
满量程
(3)
OFFSET
(4)
灵敏度
线性
(5)
压力滞后
6
(0至10千帕)
温度迟滞
(5)
( -40 ° C至+ 125°C )
满量程的温度系数
(5)
偏移量的温度系数
(5)
电阻的温度COE FFI cient
(5)
输入阻抗
输出阻抗
响应时间
(6)
(10%至90%)的
预热时间
(7)
偏移稳定性
(8)
1. 1.0千帕(千帕)等于0.145磅。
2.设备是在这个特定的激励范围比例。操作该设备上面指定的激发范围可能诱发额外
错误,由于设备自身的发热。
3.满量程(V
FSS
)被定义为输出电压之间在全额定压力,并在该代数差的输出电压
最小相关的压力。
4.偏移(V
关闭
)被定义为输出电压在最小额定压力。
5.精度(误差预算)由以下部分组成:
线性度:
从具有压力的直线关系输出偏差,采用终点法,通过所指定的
压力范围。
温度滞后:在工作温度范围内的任何温度下的输出偏差,在温度循环到
和从最小或最大操作温度点,零压差施加。
压力滞后:
在被指定的范围内,任何压力输出偏差时,该压力被循环到并从最小
或最大额定在25℃下的压力。
TcSpan :
输出偏差超过0 85 ℃的温度范围内充分的额定压力,相对于25 ℃。
TcOffset :
与最小额定压力输出偏差施加,在0至85℃的温度范围内,相对于25 ℃。
TCR :
Z
IN
与最小额定压力偏差施加,在温度范围为-40 ℃至± 125 ℃时,相对于
25°C.
符号
P
OP
V
S
I
o
V
FSS
V
关闭
ΔV / ΔP
—
—
—
TCV
FSS
TCV
关闭
TCR
Z
in
Z
OUT
t
R
—
—
民
0
—
—
45
0
—
–0.5
—
—
–0.22
—
0.28
400
750
—
—
—
典型值
—
3.0
6.0
55
20
5.5
—
±0.1
±0.5
—
±15
—
—
—
1.0
20
±0.5
最大
10
6.0
—
70
35
—
0.5
—
—
–0.16
—
0.34
550
1250
—
—
—
单位
帕
VDC
MADC
mV
mV
毫伏/帕
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
%V
FSS
/°C
μV/°C
%Z
in
/°C
W
W
ms
ms
%V
FSS
6.响应时间被定义为时间以在输出的增量变化,从10%至到90 %,其最终值的时候进行
指定的步骤的变化压力。
7.预热时间被定义为满足规定的输出电压的压力稳定之后所需要的产物的时间。
8.偏置稳定性是产品的输出偏差时,受到1000小时脉冲压力,温度循环有偏差测试。
MPVZ12
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
温度补偿
图2
示出的典型的输出特性
MPVZ12系列温度。
因为此应变片是硅的一个组成部分
隔膜,没有温度的影响,由于
在应变仪的热膨胀的差异而
隔膜,因为常常在粘贴式应变遇到
测量压力的传感器。的但是,属性
应变计本身是依赖于温度的,要求
该装置是温度补偿的,如果它是用于
在一个广泛的温度范围。
温度补偿和偏置校准即可
取得了较简单的附加电阻元件,
或者通过设计使用MPX2010D系列系统
传感器。
几种方法的外部温度
补偿了这两种-40至+ 125°C ,0 + 80°C
在应用程序中呈现系列注AN840 。
线性
线性度是指传感器输出有多好如下
公式: V
OUT
= V
关闭
+灵敏度X P在工作
压力范围(图
3).
有两种基本的方法来
计算非线性:(1)端点的直线拟合或(2)一
最小二乘最佳拟合线。而最小二乘拟合给出了
“最好情况”的线性误差(低级数值),则
所需的计算是沉重的负担。
相反地,一个结束点拟合将得到“最坏情况”的错误
(通常多在误差预算计算期望的)和
计算更加简单明了的用户。
飞思卡尔指定的压力传感器非线性的基础
上的结束点处测量所述直线方法
中端的压力。
80
70
60
OUTPUT ( MVDC )
50
40
30
20
10
0
PSI 0
帕
0.3
2.0
0.6
4.0
0.9
6.0
1.2
8.0
10
1.5
OFFSET
(典型值)
+125°C
V
S
= 3 V
DC
P1 P2 >
+25°C
-40°C
跨度
范围
(典型值)
压力差
图2.输出与差压
70
60
50
OUTPUT ( MVDC )
40
30
20
10
0
0
理论
OFFSET
(V
关闭
)
压(kPa )
最大
P
OP
实际
跨度
(V
FSS
)
线性
图3.线性度规格比较
MPVZ12
4
传感器
飞思卡尔半导体公司