飞思卡尔半导体公司
技术参数
MMA6260Q
第2版， 10/2004
±1.5g
双轴
微机械加速度计
该MMA6200系列低成本电容式微加速度计
特征信号调理，一个单极低通滤波器和温度compen-
偿。零重力抵消满量程和滤波器截止的出厂设置和要求
没有外部设备。一个完整的系统自检功能验证系统的功能 -
先进而精湛。
特点
高灵敏度
低噪音
低功耗
2.7 V至3.6 V的操作
采用6mm x 6mm X 1.98毫米QFN
内置信号调理与低通滤波器
线性输出
性能成比例
自检
强大的设计，高冲击生存能力
MMA6260Q
MMA6261Q
MMA6262Q
MMA6263Q
MMA6260Q系列：X -Y轴灵敏度
微机械加速度计
±1.5
g
底部视图
典型应用
倾斜监测
位置&运动传感
自由落体检测
影响监测
家电控制
振动监测和记录
智能便携式电子产品
16引脚QFN
案例1477年至1401年
订购信息
引脚分配
顶视图
带宽
响应
50赫兹
50赫兹
300赫兹
300赫兹
150赫兹
150赫兹
900赫兹
900赫兹
I
DD
1.2毫安
1.2毫安
1.2毫安
1.2毫安
2.2毫安
2.2毫安
2.2毫安
2.2毫安
X
OUT
Y
OUT
设备名称
MMA6260Q
MMA6260QR2
MMA6261Q
MMA6261QR2
MMA6262Q
MMA6262QR2
MMA6263Q
MMA6263QR2
案件编号：
1477-01
1477-01
1477-01
1477-01
1477-01
1477-01
1477-01
1477-01
包
QFN - 16 ，管
QFN - 16 ，带卷&
QFN - 16 ，管
QFN - 16 ，带卷&
QFN-16,Tube
QFN - 16 ，带卷&
QFN - 16 ，管
QFN - 16 ，带卷&
N / C
N / C
N / C
16 15 14 13
1
2
12
ST
11
10
9
5
N / C
N / C
N / C
N / C
V
DD
3
V
SS
4
6
N / C
7
N / C
8
N / C
飞思卡尔半导体公司2004版权所有。
N / C
V
DD
G-细胞
传感器
X集成商
X -GAIN
X -FILTER
X -温度
COMP
X
OUT
ST
自检
控制逻辑&
EEPROM微调电路
振荡器
CLOCK GEN
Y型集成商
Y增益
Y型过滤器
Y型温度
COMP
Y
OUT
V
SS
图1.简化加速度计功能框图
最大额定值
（最大额定值的限制，以使设备可以在不造成永久损坏被暴露）。
等级
最大加速度（所有轴）
电源电压
跌落测试
1
存储温度范围
注意：
1.跌落到混凝土表面，从任何轴。
符号
g
最大
V
DD
D
降
T
英镑
价值
单位
g
V
m
°C
±
2000
-0.3到+3.6
1.2
-40到+125
静电放电（ ESD ）
警告：本装置是对静电敏感
放电。
虽然飞思卡尔半导体accelerome-
TER值包含内部2000伏静电放电保护电路，前
茶必须采取预防措施由用户来保护
从ESD芯片。一次充电超过2000伏，可accumu-
迟对人体或相关联的测试设备。一
负责本级
可以改变芯片的性能或引起故障。
当处理加速度计，适当的ESD注意事
系统蒸发散，应遵循以避免把器械暴露于
放电可能有损于它的性能。
MMA6200系列
2
传感器设备数据
飞思卡尔半导体公司
工作特性
除非另有说明：-20°C <牛逼
A
< 85°C ， 3.0 V < V
DD
< 3.6 V ，加速度= 0克，输出负载
1
特征
工作范围
2
符号
V
DD
I
DD
I
DD
T
A
g
FS
V
关闭
V
关闭
, T
A
S
S，T
A
f
_3dB
f
_3dB
f
_3dB
f
_3dB
NL
OUT
n
RMS
n
RMS
n
RMS
n
RMS
n
PSD
n
PSD
V
ST
V
IL
V
IH
R
PO
t
ST
V
FSO
C
L
Z
O
t
响应
t
响应
t
响应
t
响应
V
ZX
,
YX
,
ZY
民
2.7
—
—
-20
—
1.485
—
740
—
—
—
—
—
-1.0
—
—
—
—
—
—
0.9 V
DD
—
0.7 V
DD
43
—
V
SS
+0.25
—
—
—
—
—
—
-5.0
典型值
3.3
1.2
2.2
—
1.5
1.65
2.0
800
0.015
50
300
150
900
—
1.8
3.5
1.3
2.5
300
200
—
—
—
57
2.0
—
—
50
14
2.0
4.0
0.7
—
最大
3.6
1.5
3.0
+85
—
1.815
—
860
—
—
—
—
—
+1.0
—
—
—
—
—
—
V
DD
0.3 V
DD
V
DD
71
—
V
DD
-0.25
100
300
—
—
—
—
+5.0
单位
V
mA
mA
°C
g
V
毫克/°C的
毫伏/克
%/°C
Hz
Hz
Hz
Hz
％ FSO
毫伏有效值
电源电压
3
电源电流
MMA6260Q ， MMA6261Q
MMA6262Q ， MMA6263Q
工作温度范围
加速范围
输出信号
零克（T
A
= 25 ° C，V
DD
= 3.3 V)
4
零加速度
灵敏度（T
A
= 25 ° C，V
DD
= 3.3 V)
灵敏度
带宽响应
MMA6260Q
MMA6261Q
MMA6262Q
MMA6263Q
非线性
噪音
MMA6260Q RMS （ 0.1赫兹 - 1千赫）
MMA6261Q RMS （ 0.1赫兹 - 1千赫）
MMA6262Q RMS （ 0.1赫兹 - 1千赫）
MMA6263Q RMS （ 0.1赫兹 - 1千赫）
功率谱密度RMS （ 0.1赫兹 - 1千赫）
MMA6260Q ， MMA6261Q
MMA6262Q ， MMA6263Q
自检
输出响应
输入低
输入高
下拉电阻
5
响应
输出级性能
满量程输出范围（I
OUT
= 200 A)
容性负载驱动
输出阻抗
上电响应时间
MMA6260Q
MMA6261Q
MMA6262Q
MMA6263Q
机械特性
横向灵敏度
8
7
UG / √Hz的
V
V
V
k
ms
V
pF
ms
ms
ms
ms
％ FSO
时间
6
注意事项：
1.对于加载输出时，测量RC滤波器由一个1.0 kΩ的电阻和一个0.1 μF的电容到地后观察。
2.这些界限决定动作的量，一部分将满足规范的范围内。
3.在2.7和3.6 V的电源电压范围，该器件作为一个完全校准的线性加速度计。超出这些供给限制了装置
可以作为一个非线性器件，但不能保证在校准。
4.该设备可同时测量+和 - 的加速度。没有输入加速度的输出处于中间电源。对于正加速度输出
将增加超过V
DD
/ 2 。为负加速度，则输出将减小低于V
DD
/2.
5.数字输入引脚具有内部下拉电阻，以防止意外的自检开始，由于外部电路板级泄漏。
6.时间为输出达到90％最终值的后一个自检启动。
7.果脯相位裕度（60° ），以保证输出放大器的稳定性。
的设备的拒绝的加速能力8.测量施加90°灵敏度的真实轴。
MMA6200系列
传感器设备数据
飞思卡尔半导体公司
3
工作原理
飞思卡尔半导体加速度传感器是一种surface-
微机械加工的集成电路加速度计。
该装置由一个表面微机械加工的电容的
感测单元（克细胞）和信号调节的ASIC中包含的
单个集成电路封装。感测元件是
在使用批量microma-晶片级气密密封
chined
帽
晶圆。
是一个机械结构，从semicon-形成的克细胞
采用半导体工艺导体材料（多晶硅）
（掩模和蚀刻） 。它可以建模为一组波束AT-
tached到的固定移动的可移动质量中心
横梁。可移动的光束可以从他们的休息偏转
通过使系统的加速度（图2）的位置。
作为连接到中央大规模移动横梁，显示屏
tance从他们一面将增加固定横梁
相同的量，为在所述固定波束的距离
另一边降低。距离的变化是衡量
加速。
在G-电池板形成两个背到背电容器
（图2） 。为中心板加速移动，显示屏
该板块的变化和每个CA之间tance
p
acitor的价值
特殊功能
筛选
这些飞思卡尔半导体加速度传感器包含一个
板载单极开关电容滤波器。因为该过滤器
利用开关电容技术来实现，没有重新
quirement外部无源元件（电阻器和钙
pacitors ）来设置截止频率。
自检
该传感器提供了一个自检功能，让verifica-
的accelerom-的机械和电气完整性和灰
ETER在安装之前或之后的任何时间。第四
板
用于
在克细胞作为自测试板。当一个逻辑高电平输入到
自测试引脚施加一校准的电位在整个施加
自测试板和可动板。由此产生的电 -
静力（ FE =
1
/
2
AV
2
/d
2
）使中心板偏斜。
所得到的偏转是由加速度计的测量
ASIC和比例的输出电压的结果。此过程
确保两者的机械（克细胞）和电子节
加速度计的功能一样。
飞思卡尔半导体的加速计包括DE-故障
tection电路和故障闭锁。奇偶校验的EEPROM位BE-
来自单数。
当EEPROM校验出错时自检被禁用。
会发生变化， （C = Aε / D ） 。其中，A是板的面积，
ε
是介电常数和D之间的距离
印版。
该ASIC采用开关电容器技术来测量
对于g单元电容器和提取的所述加速度数据
两个电容之间的差别。该ASIC也发信号
条件和过滤器（开关电容器）的信号，提供
一个高电平输出电压，比例和比例
加速。
比例调节
比例调节只是意味着输出失调电压和
灵敏度线性比例随外加电压。即，
作为电源电压增加时，灵敏度和偏移IN-
折痕线;由于电源电压降低时，偏移和灵敏
tivity线性减少。这是一个关键的特征的接口，以当
微控制器或一个A / D转换器，因为它提供系
供应引起的误差的统级取消了模拟
数字转换处理。
促进
图2.简化的传感器物理模型
MMA6200系列
4
传感器设备数据
飞思卡尔半导体公司
基本连接
顶视图
ST
X
OUT
Y
OUT
V
SS
V
DD
R
1 k
R
1 k
C 0.1
F
V
RH
C 0.1
F
C 0.1
F
A / D在
C 0.1
F
A / D在
微控制器
加速度计
P0
X
OUT
Y
OUT
N / C
N / C
V
SS
C 0.1
F
V
DD
16 15 14 13
N / C
N / C
1
2
12
ST
11
10
9
5
N / C
N / C
N / C
N / C
V
DD
3
V
SS
4
6
N / C
7
N / C
8
N / C
电源
图3.引脚说明
图5.推荐的PCB布局接口
加速度计，微控制器
PIN号
1, 5 - 7, 13, 16
14
15
3
4
2, 8 - 11
12
针
名字
N / C
Y
OUT
X
OUT
V
DD
V
SS
N / C
ST
描述
无内部连接。
悬空。
该加速度计的输出电压。
方向。
该加速度计的输出电压。 X
方向。
电源输入。
电源地。
用于工厂修剪。
悬空。
逻辑输入引脚用于启动
自检。
V
DD
3
0.1
F
4
MMA6260Q
系列
V
DD
Y
OUT
14
1 k
0.1
F
V
SS
X
OUT
15
ST
1 k
注意事项：
在V 1.使用0.1 μF的电容
DD
去耦电源
源。
加速度计到的2.物理耦合距离
微控制器应该是最小的。
封装下面3.标志被连接到地。
4.放置一个地平面加速度计下方
降低噪音，接地平面应附在所有
在图5所示的开口端的端子。
5.使用一个RC滤波器1.0 kΩ和0.1 μF上的输出
加速度计，以尽量减少时钟噪声（从
开关电容滤波器电路） 。
电源线和地线6. PCB布局不该夫妇动力
电源噪声。
7.加速度传感器和微控制器不应该是一个高
电流路径。
8. A / D采样速率和任何外部电源
开关频率应被选择为使得它们做
不与内部加速度采样干涉
频率（ 16 kHz的低我
DD
和52千赫的标准
I
DD
为采样频率）。这将防止混叠
错误。
12
逻辑
输入
0.1
F
图4.使用加速度计的推荐连接
图
MMA6200系列
传感器设备数据
飞思卡尔半导体公司
5
飞思卡尔半导体公司
技术参数
MMA6260Q
第2版， 10/2004
±1.5g
双轴
微机械加速度计
该MMA6200系列低成本电容式微加速度计
特征信号调理，一个单极低通滤波器和温度compen-
偿。零重力抵消满量程和滤波器截止的出厂设置和要求
没有外部设备。一个完整的系统自检功能验证系统的功能 -
先进而精湛。
特点
高灵敏度
低噪音
低功耗
2.7 V至3.6 V的操作
采用6mm x 6mm X 1.98毫米QFN
内置信号调理与低通滤波器
线性输出
性能成比例
自检
强大的设计，高冲击生存能力
MMA6260Q
MMA6261Q
MMA6262Q
MMA6263Q
MMA6260Q系列：X -Y轴灵敏度
微机械加速度计
±1.5
g
底部视图
典型应用
倾斜监测
位置&运动传感
自由落体检测
影响监测
家电控制
振动监测和记录
智能便携式电子产品
16引脚QFN
案例1477年至1401年
订购信息
引脚分配
顶视图
带宽
响应
50赫兹
50赫兹
300赫兹
300赫兹
150赫兹
150赫兹
900赫兹
900赫兹
I
DD
1.2毫安
1.2毫安
1.2毫安
1.2毫安
2.2毫安
2.2毫安
2.2毫安
2.2毫安
X
OUT
Y
OUT
设备名称
MMA6260Q
MMA6260QR2
MMA6261Q
MMA6261QR2
MMA6262Q
MMA6262QR2
MMA6263Q
MMA6263QR2
案件编号：
1477-01
1477-01
1477-01
1477-01
1477-01
1477-01
1477-01
1477-01
包
QFN - 16 ，管
QFN - 16 ，带卷&
QFN - 16 ，管
QFN - 16 ，带卷&
QFN-16,Tube
QFN - 16 ，带卷&
QFN - 16 ，管
QFN - 16 ，带卷&
N / C
N / C
N / C
16 15 14 13
1
2
12
ST
11
10
9
5
N / C
N / C
N / C
N / C
V
DD
3
V
SS
4
6
N / C
7
N / C
8
N / C
飞思卡尔半导体公司2004版权所有。
N / C
V
DD
G-细胞
传感器
X集成商
X -GAIN
X -FILTER
X -温度
COMP
X
OUT
ST
自检
控制逻辑&
EEPROM微调电路
振荡器
CLOCK GEN
Y型集成商
Y增益
Y型过滤器
Y型温度
COMP
Y
OUT
V
SS
图1.简化加速度计功能框图
最大额定值
（最大额定值的限制，以使设备可以在不造成永久损坏被暴露）。
等级
最大加速度（所有轴）
电源电压
跌落测试
1
存储温度范围
注意：
1.跌落到混凝土表面，从任何轴。
符号
g
最大
V
DD
D
降
T
英镑
价值
单位
g
V
m
°C
±
2000
-0.3到+3.6
1.2
-40到+125
静电放电（ ESD ）
警告：本装置是对静电敏感
放电。
虽然飞思卡尔半导体accelerome-
TER值包含内部2000伏静电放电保护电路，前
茶必须采取预防措施由用户来保护
从ESD芯片。一次充电超过2000伏，可accumu-
迟对人体或相关联的测试设备。一
负责本级
可以改变芯片的性能或引起故障。
当处理加速度计，适当的ESD注意事
系统蒸发散，应遵循以避免把器械暴露于
放电可能有损于它的性能。
MMA6200系列
2
传感器设备数据
飞思卡尔半导体公司
工作特性
除非另有说明：-20°C <牛逼
A
< 85°C ， 3.0 V < V
DD
< 3.6 V ，加速度= 0克，输出负载
1
特征
工作范围
2
符号
V
DD
I
DD
I
DD
T
A
g
FS
V
关闭
V
关闭
, T
A
S
S，T
A
f
_3dB
f
_3dB
f
_3dB
f
_3dB
NL
OUT
n
RMS
n
RMS
n
RMS
n
RMS
n
PSD
n
PSD
V
ST
V
IL
V
IH
R
PO
t
ST
V
FSO
C
L
Z
O
t
响应
t
响应
t
响应
t
响应
V
ZX
,
YX
,
ZY
民
2.7
—
—
-20
—
1.485
—
740
—
—
—
—
—
-1.0
—
—
—
—
—
—
0.9 V
DD
—
0.7 V
DD
43
—
V
SS
+0.25
—
—
—
—
—
—
-5.0
典型值
3.3
1.2
2.2
—
1.5
1.65
2.0
800
0.015
50
300
150
900
—
1.8
3.5
1.3
2.5
300
200
—
—
—
57
2.0
—
—
50
14
2.0
4.0
0.7
—
最大
3.6
1.5
3.0
+85
—
1.815
—
860
—
—
—
—
—
+1.0
—
—
—
—
—
—
V
DD
0.3 V
DD
V
DD
71
—
V
DD
-0.25
100
300
—
—
—
—
+5.0
单位
V
mA
mA
°C
g
V
毫克/°C的
毫伏/克
%/°C
Hz
Hz
Hz
Hz
％ FSO
毫伏有效值
电源电压
3
电源电流
MMA6260Q ， MMA6261Q
MMA6262Q ， MMA6263Q
工作温度范围
加速范围
输出信号
零克（T
A
= 25 ° C，V
DD
= 3.3 V)
4
零加速度
灵敏度（T
A
= 25 ° C，V
DD
= 3.3 V)
灵敏度
带宽响应
MMA6260Q
MMA6261Q
MMA6262Q
MMA6263Q
非线性
噪音
MMA6260Q RMS （ 0.1赫兹 - 1千赫）
MMA6261Q RMS （ 0.1赫兹 - 1千赫）
MMA6262Q RMS （ 0.1赫兹 - 1千赫）
MMA6263Q RMS （ 0.1赫兹 - 1千赫）
功率谱密度RMS （ 0.1赫兹 - 1千赫）
MMA6260Q ， MMA6261Q
MMA6262Q ， MMA6263Q
自检
输出响应
输入低
输入高
下拉电阻
5
响应
输出级性能
满量程输出范围（I
OUT
= 200 A)
容性负载驱动
输出阻抗
上电响应时间
MMA6260Q
MMA6261Q
MMA6262Q
MMA6263Q
机械特性
横向灵敏度
8
7
UG / √Hz的
V
V
V
k
ms
V
pF
ms
ms
ms
ms
％ FSO
时间
6
注意事项：
1.对于加载输出时，测量RC滤波器由一个1.0 kΩ的电阻和一个0.1 μF的电容到地后观察。
2.这些界限决定动作的量，一部分将满足规范的范围内。
3.在2.7和3.6 V的电源电压范围，该器件作为一个完全校准的线性加速度计。超出这些供给限制了装置
可以作为一个非线性器件，但不能保证在校准。
4.该设备可同时测量+和 - 的加速度。没有输入加速度的输出处于中间电源。对于正加速度输出
将增加超过V
DD
/ 2 。为负加速度，则输出将减小低于V
DD
/2.
5.数字输入引脚具有内部下拉电阻，以防止意外的自检开始，由于外部电路板级泄漏。
6.时间为输出达到90％最终值的后一个自检启动。
7.果脯相位裕度（60° ），以保证输出放大器的稳定性。
的设备的拒绝的加速能力8.测量施加90°灵敏度的真实轴。
MMA6200系列
传感器设备数据
飞思卡尔半导体公司
3
工作原理
飞思卡尔半导体加速度传感器是一种surface-
微机械加工的集成电路加速度计。
该装置由一个表面微机械加工的电容的
感测单元（克细胞）和信号调节的ASIC中包含的
单个集成电路封装。感测元件是
在使用批量microma-晶片级气密密封
chined
帽
晶圆。
是一个机械结构，从semicon-形成的克细胞
采用半导体工艺导体材料（多晶硅）
（掩模和蚀刻） 。它可以建模为一组波束AT-
tached到的固定移动的可移动质量中心
横梁。可移动的光束可以从他们的休息偏转
通过使系统的加速度（图2）的位置。
作为连接到中央大规模移动横梁，显示屏
tance从他们一面将增加固定横梁
相同的量，为在所述固定波束的距离
另一边降低。距离的变化是衡量
加速。
在G-电池板形成两个背到背电容器
（图2） 。为中心板加速移动，显示屏
该板块的变化和每个CA之间tance
p
acitor的价值
特殊功能
筛选
这些飞思卡尔半导体加速度传感器包含一个
板载单极开关电容滤波器。因为该过滤器
利用开关电容技术来实现，没有重新
quirement外部无源元件（电阻器和钙
pacitors ）来设置截止频率。
自检
该传感器提供了一个自检功能，让verifica-
的accelerom-的机械和电气完整性和灰
ETER在安装之前或之后的任何时间。第四
板
用于
在克细胞作为自测试板。当一个逻辑高电平输入到
自测试引脚施加一校准的电位在整个施加
自测试板和可动板。由此产生的电 -
静力（ FE =
1
/
2
AV
2
/d
2
）使中心板偏斜。
所得到的偏转是由加速度计的测量
ASIC和比例的输出电压的结果。此过程
确保两者的机械（克细胞）和电子节
加速度计的功能一样。
飞思卡尔半导体的加速计包括DE-故障
tection电路和故障闭锁。奇偶校验的EEPROM位BE-
来自单数。
当EEPROM校验出错时自检被禁用。
会发生变化， （C = Aε / D ） 。其中，A是板的面积，
ε
是介电常数和D之间的距离
印版。
该ASIC采用开关电容器技术来测量
对于g单元电容器和提取的所述加速度数据
两个电容之间的差别。该ASIC也发信号
条件和过滤器（开关电容器）的信号，提供
一个高电平输出电压，比例和比例
加速。
比例调节
比例调节只是意味着输出失调电压和
灵敏度线性比例随外加电压。即，
作为电源电压增加时，灵敏度和偏移IN-
折痕线;由于电源电压降低时，偏移和灵敏
tivity线性减少。这是一个关键的特征的接口，以当
微控制器或一个A / D转换器，因为它提供系
供应引起的误差的统级取消了模拟
数字转换处理。
促进
图2.简化的传感器物理模型
MMA6200系列
4
传感器设备数据
飞思卡尔半导体公司
基本连接
顶视图
ST
X
OUT
Y
OUT
V
SS
V
DD
R
1 k
R
1 k
C 0.1
F
V
RH
C 0.1
F
C 0.1
F
A / D在
C 0.1
F
A / D在
微控制器
加速度计
P0
X
OUT
Y
OUT
N / C
N / C
V
SS
C 0.1
F
V
DD
16 15 14 13
N / C
N / C
1
2
12
ST
11
10
9
5
N / C
N / C
N / C
N / C
V
DD
3
V
SS
4
6
N / C
7
N / C
8
N / C
电源
图3.引脚说明
图5.推荐的PCB布局接口
加速度计，微控制器
PIN号
1, 5 - 7, 13, 16
14
15
3
4
2, 8 - 11
12
针
名字
N / C
Y
OUT
X
OUT
V
DD
V
SS
N / C
ST
描述
无内部连接。
悬空。
该加速度计的输出电压。
方向。
该加速度计的输出电压。 X
方向。
电源输入。
电源地。
用于工厂修剪。
悬空。
逻辑输入引脚用于启动
自检。
V
DD
3
0.1
F
4
MMA6260Q
系列
V
DD
Y
OUT
14
1 k
0.1
F
V
SS
X
OUT
15
ST
1 k
注意事项：
在V 1.使用0.1 μF的电容
DD
去耦电源
源。
加速度计到的2.物理耦合距离
微控制器应该是最小的。
封装下面3.标志被连接到地。
4.放置一个地平面加速度计下方
降低噪音，接地平面应附在所有
在图5所示的开口端的端子。
5.使用一个RC滤波器1.0 kΩ和0.1 μF上的输出
加速度计，以尽量减少时钟噪声（从
开关电容滤波器电路） 。
电源线和地线6. PCB布局不该夫妇动力
电源噪声。
7.加速度传感器和微控制器不应该是一个高
电流路径。
8. A / D采样速率和任何外部电源
开关频率应被选择为使得它们做
不与内部加速度采样干涉
频率（ 16 kHz的低我
DD
和52千赫的标准
I
DD
为采样频率）。这将防止混叠
错误。
12
逻辑
输入
0.1
F
图4.使用加速度计的推荐连接
图
MMA6200系列
传感器设备数据
飞思卡尔半导体公司
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