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飞思卡尔半导体公司
飞思卡尔半导体公司...
传感器
器件数据手册
DL200/D
启5 , 01/2003
www.motorola.com/semiconductors
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飞思卡尔半导体公司
数据分类
产品预览
此标题在数据表显示,该设备是在形成阶段或设计(开发中) 。
在第一页的底部免责声明内容如下:“本文件包含在开发一个产品信息
换货。摩托罗拉保留随时更改或终止本产品,恕不另行通知。 “
提前或初步信息
此标题在数据表显示,该设备是在取样,试,或者先生产阶段。该
免责声明在第一页的底部写着: “此文件包含一个新的产品信息。产品规格
而此处的信息如有变更,恕不另行通知。 “
充分释放
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一个完全公布的数据表包含既不是分类的标题,也不是免责条款部分第一页的底部。
本文件包含在满负荷生产一个产品信息。保证限制将不无改变
以书面形式通知您当地的摩托罗拉半导体销售办事处。
摩托罗拉设备分类
在努力提供关于任何给定的设备的状态,向上的最新信息给客户,摩托罗拉有
分类所有设备分为三类:首选设备,目前产品和不推荐用于新
设计的产品。
甲优选类型是被推荐为将来使用一个第一选择的装置。这些设备是“首选”
由于它们的性能,价格,功能或属性,它提供了整体的“最佳”值的组合的
客户。这个类别包含先进成熟的设备将保持可用的fore-
seeable未来。
在数据表部分的优选设备
标识为“摩托罗拉的优选设备。'
标识为“当前”设备类型可能不是首选
设计,但将继续是可用的
因为在目前的生产设计中的普及和/或标准化和批量使用。这些产品可以
可以接受的新的设计,但首选的类型被认为是对长期使用更好的选择。
任何一个没有被确定为“优选的装置”的设备是“当前”设备。
指定为产品“不推荐用于新设计”可能会变得过时,因为决定市场不佳
接受,或技术或包被达到其生命周期的结束。此类别中的设备有
不确定的未来,并不代表一个很好的选择对新设备的设计或长期使用。
传感器数据手册中不包含任何
“不推荐用于新设计”的设备。
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传感器
设备数据
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在这本书中的信息进行了认真审查,并认为是准确的;但是,没有责任
被假定为不准确。此外,这些信息并没有传达到半导体的采购
设备根据专利权的制造商的任何许可。
摩托罗拉保留更改,恕不另行通知这里的任何产品的权利。摩托罗拉不作任何war-
保修资格,陈述或对其产品是否适合任何特定用途的保证,也不Motoro-
LA承担由此产生的任何产品或电路的应用或使用任何责任,并明确拒绝承担任何和
所有责任,包括但不限于间接或附带损失。 “典型”参数可以做不同的
不同的应用和实际性能可能随时间变化。所有的操作参数,包括“典型” ,必须
每个客户的客户应用的技术专家进行验证。摩托罗拉并没有传达任何许可
根据其专利权或他人的权利。摩托罗拉产品不是设计,意,或授权使用
作为系统组件用于外科植入到体内,或用于支持其他应用程序或
维持生命,或任何其他应用程序在摩托罗拉产品的故障可能造成一种情况,
可能发生的人身伤害或死亡。如果买方购买或使用摩托罗拉产品的任何意外或非
授权的应用程序,买方应赔偿并持有摩托罗拉和其职员,雇员,子公司,关联公司,
和分销商对所有索赔,费用,损失,费用无害,以及合理的律师费所产生
出,直接或间接造成人身伤害或死亡索赔等意外或未经授权的联系
使用,即使此类索赔称,摩托罗拉对零件的设计或制造疏忽造成的。摩托罗拉
及风格化M徽标已在美国专利&商标局注册。所有其它产品或服务名称均为
其各自所有者的财产。摩托罗拉公司是一个机会均等/肯定行动雇主。
第5版
摩托罗拉公司2003
“版权所有”
美国印刷
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目录
第一节 - 基本信息
质量和可靠性
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–2
概述。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-2
可靠性问题的硅压力传感器。 。 。 。 。 。 1-3
焊接注意事项。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-10
压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-11
静电的工艺控制。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-17
统计过程控制。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-11
测试结果
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–17
加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-17
介质兼容性概述
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–18
压力传感器概述
一般信息。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-7
摩托罗拉压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-8
集成。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-12
传感器应用。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-13
压力传感器的常见问题解答。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-14
数据表
MPX10 , MPXV10GC系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-15
MPX12系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-19
MPX2010 , MPXV2010G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-23
MPX2050系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-27
MPX2053 , MPXV2053G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-31
MPX2100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-35
MPX2102 , MPXV2102G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-39
MPX2200系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-43
MPX2202 , MPXV2202G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-47
MPX2300DT1 , MPX2301DT1 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-51
MPX4080D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-54
MPX4100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-59
MPX4100A , MPXA4100A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-64
MPX4101A MPXA4101A , MPXH6101A系列。 。 。 。 3-70
MPX4105A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-75
MPX4115A , MPXA4115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-79
MPX4200A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-84
MPX4250A , MPXA4250A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-88
MPX4250D系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-93
MPX5010 , MPXV5010G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-97
MPX5050 , MPXV5050G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-103
MPX5100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-108
MPX53 , MPXV53GC系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-114
MPX5500系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-118
MPX5700系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-122
MPX5999D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-126
MPXA6115A , MPXH6115A 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-130
MPXAZ4100A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-135
MPXAZ4115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-140
MPXAZ6115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-145
MPXC2011DT1 , MPXC2012DT1 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-150
MPXH6300A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-153
MPXM2010系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-158
MPXM2053系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-161
MPXM2102系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-164
MPXM2202系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-167
MPXV4006G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-170
MPXV4115V系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-174
MPXV5004G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-179
MPXV6115VC6U 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-183
应用笔记
AN935
在补偿非线性
MPX10系列压力变送器。 。 。 3-188
AN936
安装技术,引线成型
和摩托罗拉MPX系列测试
MPX10系列压力传感器。 。 。 。 。 。 3-195
AN1082
简单的设计一个3-20 mA变送器
界面使用摩托罗拉
压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-200
(续 - 下页)
飞思卡尔半导体公司...
第二节 - 加速度传感器产品
迷你选型指南
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–2
设备编号系统
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–2
传感器应用
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–3
加速度传感器的常见问题解答
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–4
数据表
MMA1200D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-5
MMA1201P 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-12
MMA1220D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-18
MMA1250D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-24
MMA1260D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-30
MMA1270D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-36
MMA2201D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-42
MMA2202D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-48
MMA3201D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 55
应用笔记
AN1559
申请注意事项交换
电容加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 62
AN1611
影响和倾斜测量
使用加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-65
AN1612
震动和静音寻呼应用
使用加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-77
AN1632
MMA1201P产品概述
和接口注意事项。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 84
AN1635
棒球间距测速仪。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 89
AN1640
降低加速度计
易患BCI 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-101
AN1925
使用摩托罗拉的加速度
评估板。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 104
案例大纲
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–107
术语表
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–109
第三节 - 压力传感器产品
迷你选型指南
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–2
设备编号系统
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–4
封装选择
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–5
订购的部件编号
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–6
v
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摩托罗拉
半导体技术资料
飞思卡尔半导体公司
订购此文件
通过MMA1201P / D
微机械加速度计
在MMA系列硅电容的,微机械加速度计
特征信号调理, 4极的低通滤波器和温度
补偿。零重力抵消满量程和滤波器截止的出厂设置和
无需外部设备。一个完整的系统自检功能验证系统
功能。
特点
积分信号调理
线性输出
性能成比例
4阶贝塞尔滤波器保留脉冲波形完整性
校准自检
低电压检测,时钟监控和EPROM奇偶校验状态
传感器密封在实现卓越的可靠性晶圆级
强大的设计,高冲击生存能力
可提供两种安装模式:
1 )塑料DIP为Z轴感应( MMA1201P )
2 )助攻边卫的X轴感应( MMA2200W )
典型应用
振动监测和记录
家电控制
机械轴承监测
电脑硬盘保护
电脑鼠标和游戏杆
虚拟现实输入设备
体育的诊断设备和系统
MMA1201P
MMA2200W
MMA1201P : Z轴灵敏度
MMA2200W :X轴灵敏度
微机械
加速度计
±
40g
飞思卡尔半导体公司...
16
15
14
13
12
11
10
9
1
2
3
4
5
6
7
8
DIP封装
案例648C -04
MMA1201P
12
3
4
5
6
WB封装
案例456-06
MMA2200W
简化加速度计功能框图
VDD
G- CELL
传感器
积分
收益
滤波器
温度
COMP
VOUT
VST
自测
控制逻辑&
EPROM TRIM电路
振荡器
钟将军
VSS
状态
图1.简化加速度计功能框图
REV 0
摩托罗拉传感器设备数据
摩托罗拉公司2000
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1
MMA1201P MMA2200W
等级
动力加速(所有轴)
无动力加速(所有轴)
电源电压
跌落测试( 1 )
存储温度范围
飞思卡尔半导体公司
符号
GPD
Gupd
VDD
Ddrop
TSTG
价值
500
2000
-0.3到+7.0
1.2
- 40 + 105
单位
g
g
V
m
°C
最大额定值
(最大额定值的限制,以使设备可以在不造成永久损坏被暴露)。
注意事项:
1.跌落到混凝土表面,从任何轴。
静电放电( ESD )
警告:本装置是对静电敏感
放电。
虽然摩托罗拉加速度计包含内部
2kV的ESD保护电路,额外的预防措施,必须采取
由用户来保护免受ESD芯片。一次充电超过
飞思卡尔半导体公司...
2000伏堆积在人体或相关联的
测试设备。一次充电这种规模的可改变per-
芯片formance或导致故障。当处理
加速度计,适当的ESD防范措施,应遵循
为了避免该装置暴露于放电可以是
损害其性能。
2
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摩托罗拉传感器设备数据
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MMA1201P MMA2200W
工作特性
(除非另有说明: 0℃下
v
TA
v
+85°C, 4.75
v
VDD
v
5.25 ,加速度= 0克,输出负载( 1 ) )
符号
VDD
国际直拨电话
TA
政府飞行服务队
VOFF
VOFF ,V
S
SV
F -3dB
NLOUT
NRMS
nPSD
NCLK
GST
VIL
VIH
IIN
TST
VOL
VOH
VLVD
FMIN
tDELAY时间
Vfso
CL
ZO
VZX , YX
fPKG
4.75
4.0
40
典型值
5.00
5.0
38
2.5
0.50 VDD
50
10
400
110
2.0
110
2.0
3.25
0.2
300
10
最大
5.25
6.0
+85
2.8
0.56 VDD
52.5
10.7
440
+1.0
3.5
30
0.3× VDD
VDD
300
10
单位
V
mA
°C
g
V
V
毫伏/克
毫伏/ G / V
Hz
% FSO
毫伏有效值
μV / ( Hz的
1/2)
mVpk
g
V
V
A
ms
V
V
V
千赫
ms
V
pF
% FSO
千赫
特征
工作范围( 2 )
电源电压( 3 )
电源电流
工作温度范围
加速范围
输出信号
零克( VDD = 5.0 V) ( 4 )
零加速度
灵敏度( TA = 25℃ , VDD = 5.0 V) ( 5 )
灵敏度( VDD = 5.0 V)
带宽响应
非线性
噪音
RMS ( .01-1千赫)
功率谱密度
时钟噪声(不上输出的RC负载)(6)
自测
输出响应
输入低
输入高
输入加载( 7 )
响应时间( 8)
Status(12)(13)
输出低(的Iload = 100
A)
输出高(的Iload = 100
A)
最小电源电压( LVD旅行)
时钟监视器故障检测频率
输出级性能
电气饱和恢复时间( 9 )
满量程输出范围( IOUT = 200
A)
容性负载驱动器( 10 )
输出阻抗
机械特性
横向灵敏度( 11 )
套餐共振
*
2.2
0.44 VDD
47.5
9.3
360
1.0
*
飞思卡尔半导体公司...
20
VSS
0.7× VDD
30
*
*
*
VDD
*
.8
0.4
4.0
260
2.7
50
0.3
VDD 0.3
100
5.0
*
注意事项:
1.对于加载输出测量后的RC滤波器由一个1 kΩ电阻和一个0.01观察
F
电容到地。
2.这些界限决定动作的量,一部分将满足规范的范围内。
3.在4.75和5.25伏的电源电压范围,该器件作为一个完全校准的线性加速度计。除了这些供应限制
该装置可以作为一个非线性器件,但不能保证在校准。
4.该设备可同时测量+和加速度。没有输入加速度的输出处于中间电源。对于正加速度输出
会增加高于VDD / 2和为负加速度的输出将减小低于VDD / 2 。
5.该设备校准在20克。
6.在时钟频率
70千赫。
7.数字输入引脚具有内部下拉电流源,以防止意外的自检开始,由于外部电路板级泄漏。
8.时间的输出达到90%最终值的启动自检之后。
9.时间为放大器的加速度信号后的恢复,使它们达到饱和。
10.果脯相位裕度(60° ),以保证输出放大器的稳定性。
的设备的拒绝的加速能力11.测量施加90°灵敏度的真实轴。
12.状态管脚的输出是无效的通电后,直到至少有1个上升沿已被施加到自测试引脚。状态引脚
高每当自检输入为高。
13. STATUS引脚输出锁存器高,如果低电压检测和时钟频率发生故障,或EPROM校验更改为奇。该
状态引脚可以通过一个上升沿自检复位,除非故障状态继续存在。
*
^
摩托罗拉传感器设备数据
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3
MMA1201P MMA2200W
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其中,系统的完整性,必须确保在系统使用寿命
该车辆的。第四个“板” '被用在克细胞作为自
试板。当用户施加一个逻辑高输入到
自测针,一个标定电位横跨施加
自测试板和可动板。由此产生的elec-
trostatic力( FE = 1/2 AV2 / D2 )使中心板
偏转。所得到的偏转是由加速测
erometer控制ASIC和比例的输出电压
结果。这个过程确保了两者的机械
(克细胞)和加速计的电子部分是
工作。
比例调节
比例调节简单地意味着输出失调电压
和灵敏度会呈线性比例随外加电压。
也就是说,当增加的电源电压的灵敏度和
偏置线性增加;由于电源电压降低时,偏移
和敏感度降低线性。这是一个关键的特征时
接口与微控制器或A / D转换器,因为
它提供了电源引起的误差的系统级取消
在模拟到数字转换处理。
状态
摩托罗拉加速计包括故障检测电路
和故障锁存器。 STATUS引脚从故障输出
锁存器,逻辑与的具有自检,并且被设置为高时的一个(或
多个下述事件)发生:
电源电压低于低电压检测(LVD )
电压阈值
时钟振荡器落在时钟监视器低于最低
频率
的EPROM位奇偶变成单数。
故障锁存器可通过在自上升沿复位
试输入管脚,除非一项所述的故障条件(或更多)
继续存在。
工作原理
摩托罗拉加速度计是表面微机械加工的
集成电路的加速度计。
该装置由一个表面微机械加工的电容器的
略去传感细胞(克细胞)和CMOS信号调节
专用集成电路包含在单个集成电路封装。该
感测元件是在晶片级气密密封
采用体硅微机械“帽'的晶片。
是一个机械结构,从semicon-形成的克细胞
采用半导体亲导体材料(多晶硅)
正如事实(掩模和蚀刻) 。它可以建模为两个
固定板与可动板在两者之间。该
中心板可以从它的静止位置由子被偏转
jecting系统的加速度(图2)。
当中间板挠曲,从它到1的距离
固定板将用相同量的显示增加
tance到另一个板下降。距离的变化是
测量加速度。
在G-电池板形成两个背到背电容器
(图3) 。为中心板加速运动时,
板的变化和各个电容的之间的距离
值会发生变化, (C = Aε / D ) 。其中A是的领域
板,
ε
是介电常数,而D是距离
板之间。
该CMOS ASIC采用开关电容技术
测量G-电池电容和提取加速
由两个电容器之间的差值数据。该
ASIC还信号条件和过滤器(开关电容)
的信号,从而提供一个高电平输出电压是比 -
公制和加速度成比例。
促进
飞思卡尔半导体公司...
基本连接
引脚说明的助攻边卫套餐
图2.传感器
物理模型
图3.等效
电路模型
12
3
4
5
特殊功能
筛选
摩托罗拉加速度计包含一个板载4针
开关电容滤波器。贝塞尔实现使用
因为它提供了最平坦的响应延迟(线性
相)从而保持脉冲形状的完整性。由于滤波器
之三是利用开关电容技术来实现,有
外部无源元件(电阻器没有要求
和电容器)来设置截止频率。
自测
该传感器提供了一个自检功能,可以让
验证的机械和电气完整性
加速度传感器在安装之前或之后的任何时间。这
特征是在应用,如汽车安全气囊临界
PIN号
1
2
3
4
5
6
引脚名称
ST
VOUT
状态
VSS
VDD
6
描述
悬空或连接到
信号地
逻辑输入引脚启动自检
输出电压
逻辑输出引脚来指示故障
信号地
电源电压( 5 V)的
支撑销,内部连接到
引线框架。 VSS连接。
4
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摩托罗拉传感器设备数据
飞思卡尔半导体公司
MMA1201P MMA2200W
VDD
MMA2200W
逻辑
输入
2 ST
6 VDD
C1
0.1
F
5 VSS
VOUT
3
4
R1
1 k
状态
VDD
MMA1201P
逻辑
输入
4 ST
8 VDD
C1
0.1
F
7 VSS
VOUT
5
6
R1
1 k
状态
产量
信号
产量
信号
C2
0.01
F
C2
0.01
F
图4助攻边卫加速度计
推荐的连接图
图5. DIP加速度计与推荐
接线图
PCB布局
状态
加速度计
P1
微控制器
P0
R
1 k
C 0.1
F
VRH
C
0.1
F
C 0.01
F
A / D在
飞思卡尔半导体公司...
引脚说明了DIP封装
N / C
N / C
N / C
ST
VOUT
状态
VSS
VDD
1
2
3
4
5
6
7
8
16
15
14
13
12
11
10
9
ST
VOUT
VSS
VDD
VSS
C 0.1
F
VDD
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
电源
图6.推荐的PCB布局接口
加速度计,微控制器
注意事项:
使用0.1
F
电容在VDD去耦电源
源。
该加速度计的物理耦合距离的
微控制器应该是最小的。
放置一个接地平面上的加速度计的下面,以减少
噪音,接地平面应附在所有的
打开图6所示端终端。
使用1 kΩ和0.01的RC滤波器
F
上的输出
加速度计,以尽量减少时钟噪声(从切换
电容滤波电路) 。
电源线和地线的PCB布局不应夫妇动力
电源噪声。
加速度传感器和微控制器不应该是一个高
电流路径。
A / D采样速率和外部电源开关
频率应当被选择为使得它们不互
FERE与内部加速度传感器的采样频率。
这将防止混叠误差。
PIN号
1
2到3
4
5
6
7
8
9至13
14通16
引脚名称
ST
VOUT
状态
VSS
VDD
TRIM引脚
描述
悬空或连接到
信号地。
无内部连接。离开
悬空。
逻辑输入引脚来启动自
测试。
输出电压
逻辑输出引脚来指示
错。
信号地
电源电压( 5 V)的
用于工厂修剪。离开
悬空。
无内部连接。离开
悬空。
摩托罗拉传感器设备数据
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5
摩托罗拉
半导体技术资料
飞思卡尔半导体公司
订购此文件
通过MMA1201P / D
微机械加速度计
在MMA系列硅电容的,微机械加速度计
特征信号调理, 4极的低通滤波器和温度
补偿。零重力抵消满量程和滤波器截止的出厂设置和
无需外部设备。一个完整的系统自检功能验证系统
功能。
特点
积分信号调理
线性输出
性能成比例
4阶贝塞尔滤波器保留脉冲波形完整性
校准自检
低电压检测,时钟监控和EPROM奇偶校验状态
传感器密封在实现卓越的可靠性晶圆级
强大的设计,高冲击生存能力
可提供两种安装模式:
1 )塑料DIP为Z轴感应( MMA1201P )
2 )助攻边卫的X轴感应( MMA2200W )
典型应用
振动监测和记录
家电控制
机械轴承监测
电脑硬盘保护
电脑鼠标和游戏杆
虚拟现实输入设备
体育的诊断设备和系统
MMA1201P
MMA2200W
MMA1201P : Z轴灵敏度
MMA2200W :X轴灵敏度
微机械
加速度计
±
40g
飞思卡尔半导体公司...
16
15
14
13
12
11
10
9
1
2
3
4
5
6
7
8
DIP封装
案例648C -04
MMA1201P
12
3
4
5
6
WB封装
案例456-06
MMA2200W
简化加速度计功能框图
VDD
G- CELL
传感器
积分
收益
滤波器
温度
COMP
VOUT
VST
自测
控制逻辑&
EPROM TRIM电路
振荡器
钟将军
VSS
状态
图1.简化加速度计功能框图
REV 0
摩托罗拉传感器设备数据
摩托罗拉公司2000
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1
MMA1201P MMA2200W
等级
动力加速(所有轴)
无动力加速(所有轴)
电源电压
跌落测试( 1 )
存储温度范围
飞思卡尔半导体公司
符号
GPD
Gupd
VDD
Ddrop
TSTG
价值
500
2000
-0.3到+7.0
1.2
- 40 + 105
单位
g
g
V
m
°C
最大额定值
(最大额定值的限制,以使设备可以在不造成永久损坏被暴露)。
注意事项:
1.跌落到混凝土表面,从任何轴。
静电放电( ESD )
警告:本装置是对静电敏感
放电。
虽然摩托罗拉加速度计包含内部
2kV的ESD保护电路,额外的预防措施,必须采取
由用户来保护免受ESD芯片。一次充电超过
飞思卡尔半导体公司...
2000伏堆积在人体或相关联的
测试设备。一次充电这种规模的可改变per-
芯片formance或导致故障。当处理
加速度计,适当的ESD防范措施,应遵循
为了避免该装置暴露于放电可以是
损害其性能。
2
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摩托罗拉传感器设备数据
飞思卡尔半导体公司
MMA1201P MMA2200W
工作特性
(除非另有说明: 0℃下
v
TA
v
+85°C, 4.75
v
VDD
v
5.25 ,加速度= 0克,输出负载( 1 ) )
符号
VDD
国际直拨电话
TA
政府飞行服务队
VOFF
VOFF ,V
S
SV
F -3dB
NLOUT
NRMS
nPSD
NCLK
GST
VIL
VIH
IIN
TST
VOL
VOH
VLVD
FMIN
tDELAY时间
Vfso
CL
ZO
VZX , YX
fPKG
4.75
4.0
40
典型值
5.00
5.0
38
2.5
0.50 VDD
50
10
400
110
2.0
110
2.0
3.25
0.2
300
10
最大
5.25
6.0
+85
2.8
0.56 VDD
52.5
10.7
440
+1.0
3.5
30
0.3× VDD
VDD
300
10
单位
V
mA
°C
g
V
V
毫伏/克
毫伏/ G / V
Hz
% FSO
毫伏有效值
μV / ( Hz的
1/2)
mVpk
g
V
V
A
ms
V
V
V
千赫
ms
V
pF
% FSO
千赫
特征
工作范围( 2 )
电源电压( 3 )
电源电流
工作温度范围
加速范围
输出信号
零克( VDD = 5.0 V) ( 4 )
零加速度
灵敏度( TA = 25℃ , VDD = 5.0 V) ( 5 )
灵敏度( VDD = 5.0 V)
带宽响应
非线性
噪音
RMS ( .01-1千赫)
功率谱密度
时钟噪声(不上输出的RC负载)(6)
自测
输出响应
输入低
输入高
输入加载( 7 )
响应时间( 8)
Status(12)(13)
输出低(的Iload = 100
A)
输出高(的Iload = 100
A)
最小电源电压( LVD旅行)
时钟监视器故障检测频率
输出级性能
电气饱和恢复时间( 9 )
满量程输出范围( IOUT = 200
A)
容性负载驱动器( 10 )
输出阻抗
机械特性
横向灵敏度( 11 )
套餐共振
*
2.2
0.44 VDD
47.5
9.3
360
1.0
*
飞思卡尔半导体公司...
20
VSS
0.7× VDD
30
*
*
*
VDD
*
.8
0.4
4.0
260
2.7
50
0.3
VDD 0.3
100
5.0
*
注意事项:
1.对于加载输出测量后的RC滤波器由一个1 kΩ电阻和一个0.01观察
F
电容到地。
2.这些界限决定动作的量,一部分将满足规范的范围内。
3.在4.75和5.25伏的电源电压范围,该器件作为一个完全校准的线性加速度计。除了这些供应限制
该装置可以作为一个非线性器件,但不能保证在校准。
4.该设备可同时测量+和加速度。没有输入加速度的输出处于中间电源。对于正加速度输出
会增加高于VDD / 2和为负加速度的输出将减小低于VDD / 2 。
5.该设备校准在20克。
6.在时钟频率
70千赫。
7.数字输入引脚具有内部下拉电流源,以防止意外的自检开始,由于外部电路板级泄漏。
8.时间的输出达到90%最终值的启动自检之后。
9.时间为放大器的加速度信号后的恢复,使它们达到饱和。
10.果脯相位裕度(60° ),以保证输出放大器的稳定性。
的设备的拒绝的加速能力11.测量施加90°灵敏度的真实轴。
12.状态管脚的输出是无效的通电后,直到至少有1个上升沿已被施加到自测试引脚。状态引脚
高每当自检输入为高。
13. STATUS引脚输出锁存器高,如果低电压检测和时钟频率发生故障,或EPROM校验更改为奇。该
状态引脚可以通过一个上升沿自检复位,除非故障状态继续存在。
*
^
摩托罗拉传感器设备数据
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3
MMA1201P MMA2200W
飞思卡尔半导体公司
其中,系统的完整性,必须确保在系统使用寿命
该车辆的。第四个“板” '被用在克细胞作为自
试板。当用户施加一个逻辑高输入到
自测针,一个标定电位横跨施加
自测试板和可动板。由此产生的elec-
trostatic力( FE = 1/2 AV2 / D2 )使中心板
偏转。所得到的偏转是由加速测
erometer控制ASIC和比例的输出电压
结果。这个过程确保了两者的机械
(克细胞)和加速计的电子部分是
工作。
比例调节
比例调节简单地意味着输出失调电压
和灵敏度会呈线性比例随外加电压。
也就是说,当增加的电源电压的灵敏度和
偏置线性增加;由于电源电压降低时,偏移
和敏感度降低线性。这是一个关键的特征时
接口与微控制器或A / D转换器,因为
它提供了电源引起的误差的系统级取消
在模拟到数字转换处理。
状态
摩托罗拉加速计包括故障检测电路
和故障锁存器。 STATUS引脚从故障输出
锁存器,逻辑与的具有自检,并且被设置为高时的一个(或
多个下述事件)发生:
电源电压低于低电压检测(LVD )
电压阈值
时钟振荡器落在时钟监视器低于最低
频率
的EPROM位奇偶变成单数。
故障锁存器可通过在自上升沿复位
试输入管脚,除非一项所述的故障条件(或更多)
继续存在。
工作原理
摩托罗拉加速度计是表面微机械加工的
集成电路的加速度计。
该装置由一个表面微机械加工的电容器的
略去传感细胞(克细胞)和CMOS信号调节
专用集成电路包含在单个集成电路封装。该
感测元件是在晶片级气密密封
采用体硅微机械“帽'的晶片。
是一个机械结构,从semicon-形成的克细胞
采用半导体亲导体材料(多晶硅)
正如事实(掩模和蚀刻) 。它可以建模为两个
固定板与可动板在两者之间。该
中心板可以从它的静止位置由子被偏转
jecting系统的加速度(图2)。
当中间板挠曲,从它到1的距离
固定板将用相同量的显示增加
tance到另一个板下降。距离的变化是
测量加速度。
在G-电池板形成两个背到背电容器
(图3) 。为中心板加速运动时,
板的变化和各个电容的之间的距离
值会发生变化, (C = Aε / D ) 。其中A是的领域
板,
ε
是介电常数,而D是距离
板之间。
该CMOS ASIC采用开关电容技术
测量G-电池电容和提取加速
由两个电容器之间的差值数据。该
ASIC还信号条件和过滤器(开关电容)
的信号,从而提供一个高电平输出电压是比 -
公制和加速度成比例。
促进
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基本连接
引脚说明的助攻边卫套餐
图2.传感器
物理模型
图3.等效
电路模型
12
3
4
5
特殊功能
筛选
摩托罗拉加速度计包含一个板载4针
开关电容滤波器。贝塞尔实现使用
因为它提供了最平坦的响应延迟(线性
相)从而保持脉冲形状的完整性。由于滤波器
之三是利用开关电容技术来实现,有
外部无源元件(电阻器没有要求
和电容器)来设置截止频率。
自测
该传感器提供了一个自检功能,可以让
验证的机械和电气完整性
加速度传感器在安装之前或之后的任何时间。这
特征是在应用,如汽车安全气囊临界
PIN号
1
2
3
4
5
6
引脚名称
ST
VOUT
状态
VSS
VDD
6
描述
悬空或连接到
信号地
逻辑输入引脚启动自检
输出电压
逻辑输出引脚来指示故障
信号地
电源电压( 5 V)的
支撑销,内部连接到
引线框架。 VSS连接。
4
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摩托罗拉传感器设备数据
飞思卡尔半导体公司
MMA1201P MMA2200W
VDD
MMA2200W
逻辑
输入
2 ST
6 VDD
C1
0.1
F
5 VSS
VOUT
3
4
R1
1 k
状态
VDD
MMA1201P
逻辑
输入
4 ST
8 VDD
C1
0.1
F
7 VSS
VOUT
5
6
R1
1 k
状态
产量
信号
产量
信号
C2
0.01
F
C2
0.01
F
图4助攻边卫加速度计
推荐的连接图
图5. DIP加速度计与推荐
接线图
PCB布局
状态
加速度计
P1
微控制器
P0
R
1 k
C 0.1
F
VRH
C
0.1
F
C 0.01
F
A / D在
飞思卡尔半导体公司...
引脚说明了DIP封装
N / C
N / C
N / C
ST
VOUT
状态
VSS
VDD
1
2
3
4
5
6
7
8
16
15
14
13
12
11
10
9
ST
VOUT
VSS
VDD
VSS
C 0.1
F
VDD
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
电源
图6.推荐的PCB布局接口
加速度计,微控制器
注意事项:
使用0.1
F
电容在VDD去耦电源
源。
该加速度计的物理耦合距离的
微控制器应该是最小的。
放置一个接地平面上的加速度计的下面,以减少
噪音,接地平面应附在所有的
打开图6所示端终端。
使用1 kΩ和0.01的RC滤波器
F
上的输出
加速度计,以尽量减少时钟噪声(从切换
电容滤波电路) 。
电源线和地线的PCB布局不应夫妇动力
电源噪声。
加速度传感器和微控制器不应该是一个高
电流路径。
A / D采样速率和外部电源开关
频率应当被选择为使得它们不互
FERE与内部加速度传感器的采样频率。
这将防止混叠误差。
PIN号
1
2到3
4
5
6
7
8
9至13
14通16
引脚名称
ST
VOUT
状态
VSS
VDD
TRIM引脚
描述
悬空或连接到
信号地。
无内部连接。离开
悬空。
逻辑输入引脚来启动自
测试。
输出电压
逻辑输出引脚来指示
错。
信号地
电源电压( 5 V)的
用于工厂修剪。离开
悬空。
无内部连接。离开
悬空。
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    电话:0755-82780082
    联系人:杨小姐
    地址:深圳市福田区振兴路156号上步工业区405栋3层

    MMA1201P
    -
    -
    -
    -
    终端采购配单精选

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电话:0755-83254070/18680328178
联系人:李小姐
地址:深圳市福田区华强北街道荔村社区振兴路120号赛格科技工业园4栋9层9B10房
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联系人:销售部
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MMA1201P
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电话:010-62962871、62104931、 62106431、62104891、62104791
联系人:刘经理
地址:北京市海淀区中关村大街32号和盛嘉业大厦10层1008
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联系人:李先生
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电话:0755-22929859
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