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飞思卡尔半导体公司
飞思卡尔半导体公司...
传感器
器件数据手册
DL200/D
启5 , 01/2003
www.motorola.com/semiconductors
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飞思卡尔半导体公司
数据分类
产品预览
此标题在数据表显示,该设备是在形成阶段或设计(开发中) 。
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换货。摩托罗拉保留随时更改或终止本产品,恕不另行通知。 “
提前或初步信息
此标题在数据表显示,该设备是在取样,试,或者先生产阶段。该
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而此处的信息如有变更,恕不另行通知。 “
充分释放
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一个完全公布的数据表包含既不是分类的标题,也不是免责条款部分第一页的底部。
本文件包含在满负荷生产一个产品信息。保证限制将不无改变
以书面形式通知您当地的摩托罗拉半导体销售办事处。
摩托罗拉设备分类
在努力提供关于任何给定的设备的状态,向上的最新信息给客户,摩托罗拉有
分类所有设备分为三类:首选设备,目前产品和不推荐用于新
设计的产品。
甲优选类型是被推荐为将来使用一个第一选择的装置。这些设备是“首选”
由于它们的性能,价格,功能或属性,它提供了整体的“最佳”值的组合的
客户。这个类别包含先进成熟的设备将保持可用的fore-
seeable未来。
在数据表部分的优选设备
标识为“摩托罗拉的优选设备。'
标识为“当前”设备类型可能不是首选
设计,但将继续是可用的
因为在目前的生产设计中的普及和/或标准化和批量使用。这些产品可以
可以接受的新的设计,但首选的类型被认为是对长期使用更好的选择。
任何一个没有被确定为“优选的装置”的设备是“当前”设备。
指定为产品“不推荐用于新设计”可能会变得过时,因为决定市场不佳
接受,或技术或包被达到其生命周期的结束。此类别中的设备有
不确定的未来,并不代表一个很好的选择对新设备的设计或长期使用。
传感器数据手册中不包含任何
“不推荐用于新设计”的设备。
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传感器
设备数据
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在这本书中的信息进行了认真审查,并认为是准确的;但是,没有责任
被假定为不准确。此外,这些信息并没有传达到半导体的采购
设备根据专利权的制造商的任何许可。
摩托罗拉保留更改,恕不另行通知这里的任何产品的权利。摩托罗拉不作任何war-
保修资格,陈述或对其产品是否适合任何特定用途的保证,也不Motoro-
LA承担由此产生的任何产品或电路的应用或使用任何责任,并明确拒绝承担任何和
所有责任,包括但不限于间接或附带损失。 “典型”参数可以做不同的
不同的应用和实际性能可能随时间变化。所有的操作参数,包括“典型” ,必须
每个客户的客户应用的技术专家进行验证。摩托罗拉并没有传达任何许可
根据其专利权或他人的权利。摩托罗拉产品不是设计,意,或授权使用
作为系统组件用于外科植入到体内,或用于支持其他应用程序或
维持生命,或任何其他应用程序在摩托罗拉产品的故障可能造成一种情况,
可能发生的人身伤害或死亡。如果买方购买或使用摩托罗拉产品的任何意外或非
授权的应用程序,买方应赔偿并持有摩托罗拉和其职员,雇员,子公司,关联公司,
和分销商对所有索赔,费用,损失,费用无害,以及合理的律师费所产生
出,直接或间接造成人身伤害或死亡索赔等意外或未经授权的联系
使用,即使此类索赔称,摩托罗拉对零件的设计或制造疏忽造成的。摩托罗拉
及风格化M徽标已在美国专利&商标局注册。所有其它产品或服务名称均为
其各自所有者的财产。摩托罗拉公司是一个机会均等/肯定行动雇主。
第5版
摩托罗拉公司2003
“版权所有”
美国印刷
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目录
第一节 - 基本信息
质量和可靠性
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–2
概述。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-2
可靠性问题的硅压力传感器。 。 。 。 。 。 1-3
焊接注意事项。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-10
压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-11
静电的工艺控制。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-17
统计过程控制。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-11
测试结果
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–17
加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-17
介质兼容性概述
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–18
压力传感器概述
一般信息。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-7
摩托罗拉压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-8
集成。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-12
传感器应用。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-13
压力传感器的常见问题解答。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-14
数据表
MPX10 , MPXV10GC系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-15
MPX12系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-19
MPX2010 , MPXV2010G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-23
MPX2050系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-27
MPX2053 , MPXV2053G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-31
MPX2100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-35
MPX2102 , MPXV2102G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-39
MPX2200系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-43
MPX2202 , MPXV2202G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-47
MPX2300DT1 , MPX2301DT1 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-51
MPX4080D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-54
MPX4100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-59
MPX4100A , MPXA4100A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-64
MPX4101A MPXA4101A , MPXH6101A系列。 。 。 。 3-70
MPX4105A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-75
MPX4115A , MPXA4115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-79
MPX4200A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-84
MPX4250A , MPXA4250A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-88
MPX4250D系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-93
MPX5010 , MPXV5010G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-97
MPX5050 , MPXV5050G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-103
MPX5100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-108
MPX53 , MPXV53GC系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-114
MPX5500系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-118
MPX5700系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-122
MPX5999D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-126
MPXA6115A , MPXH6115A 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-130
MPXAZ4100A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-135
MPXAZ4115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-140
MPXAZ6115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-145
MPXC2011DT1 , MPXC2012DT1 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-150
MPXH6300A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-153
MPXM2010系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-158
MPXM2053系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-161
MPXM2102系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-164
MPXM2202系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-167
MPXV4006G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-170
MPXV4115V系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-174
MPXV5004G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-179
MPXV6115VC6U 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-183
应用笔记
AN935
在补偿非线性
MPX10系列压力变送器。 。 。 3-188
AN936
安装技术,引线成型
和摩托罗拉MPX系列测试
MPX10系列压力传感器。 。 。 。 。 。 3-195
AN1082
简单的设计一个3-20 mA变送器
界面使用摩托罗拉
压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-200
(续 - 下页)
飞思卡尔半导体公司...
第二节 - 加速度传感器产品
迷你选型指南
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–2
设备编号系统
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–2
传感器应用
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–3
加速度传感器的常见问题解答
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–4
数据表
MMA1200D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-5
MMA1201P 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-12
MMA1220D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-18
MMA1250D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-24
MMA1260D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-30
MMA1270D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-36
MMA2201D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-42
MMA2202D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-48
MMA3201D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 55
应用笔记
AN1559
申请注意事项交换
电容加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 62
AN1611
影响和倾斜测量
使用加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-65
AN1612
震动和静音寻呼应用
使用加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-77
AN1632
MMA1201P产品概述
和接口注意事项。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 84
AN1635
棒球间距测速仪。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 89
AN1640
降低加速度计
易患BCI 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-101
AN1925
使用摩托罗拉的加速度
评估板。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 104
案例大纲
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–107
术语表
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–109
第三节 - 压力传感器产品
迷你选型指南
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–2
设备编号系统
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–4
封装选择
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–5
订购的部件编号
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–6
v
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技术参数
文档编号: MMA1200D
转4 , 03/2006
表面贴装
微机械加速度计
在MMA系列硅电容的,微机械加速度计的功能
信号调理, 4极的低通滤波器和温度补偿。
零重力抵消满量程和滤波器截止的出厂设置,不需要
外部设备。一个完整的系统自检功能验证系统的功能。
特点
积分信号调理
线性输出
性能成比例
4阶贝塞尔滤波器保留脉冲波形完整性
校准的自测
低电压检测,时钟监控和EPROM奇偶校验状态
传感器密封在实现卓越的可靠性晶圆级
强大的设计,高冲击生存能力
MMA1200
MMA1200D : Z轴灵敏度
微机械
加速度计
±250g
典型应用
振动监测和记录
影响监测
后缀
EG后缀(无铅)
16引脚SOIC
CASE 475-01
SOIC-16
SOIC -16 ,带卷&
SOIC-16
SOIC -16 ,带卷&
订购信息
设备名称
MMA1200D
MMA1200DR2
MMA1200EG
MMA1200EGR2
温度范围
- 40至+ 125°C
- 40至+ 125°C
- 40至+ 125°C
- 40至+ 125°C
案件编号:
475-01
475-01
475-01
475-01
V
DD
G-细胞
传感器
积分
收益
滤波器
温度
COMP
V
OUT
N / C
N / C
N / C
ST
V
OUT
状态
V
SS
V
DD
1
2
3
4
5
6
7
8
16
15
14
13
12
11
10
9
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
ST
自检
控制逻辑&
EPROM TRIM电路
振荡器
时钟
发电机
V
SS
状态
图1.简化加速度计功能框图
图2.引脚连接
飞思卡尔半导体公司2006年版权所有。
表1.最大额定值
(最大额定值的限制,以使设备可以在不造成永久损坏被暴露)。
等级
动力加速(所有轴)
无动力加速(所有轴)
电源电压
跌落测试
(1)
存储温度范围
1.跌落到混凝土表面,从任何轴。
符号
G
pd
G
UPD
V
DD
D
T
英镑
价值
1500
2000
-0.3到+7.0
1.2
-40到+125
单位
g
g
V
m
°C
静电放电( ESD )
警告:本装置是对静电敏感
放电。
虽然飞思卡尔加速计包含内部
2千伏ESD保护电路,额外的预防措施,必须采取
由用户来保护免受ESD芯片。一次充电超过
2000伏堆积在人体或相关联的
测试设备。一次充电这种规模的可改变
该芯片的性能或导致故障。当处理
加速度计,适当的ESD防范措施,应遵循
为了避免该装置暴露于放电可以是
损害其性能。
MMA1200D
2
传感器
飞思卡尔半导体公司
表2.工作特性
(除非另有说明: -40°C
T
A
+105°C, 4.75
V
DD
5.25 ,加速度= 0克,输出负载
(1)
)
特征
工作范围
(2)
电源电压
(3)
电源电流
工作温度范围
加速范围
输出信号
零克(T
A
= 25 ° C,V
DD
= 5.0 V)
(4)
零加速度
灵敏度(T
A
= 25 ° C,V
DD
= 5.0 V)
(5)
灵敏度
带宽响应
非线性
噪音
RMS ( 0.1-1千赫)
功率谱密度
时钟噪声(无输出RC负载)
(6)
自检
输出响应
输入低
输入高
输入加载
(7)
响应时间
(8)
状态
(9),(10)
输出低(我
负载
= 100
A)
高输出(I
负载
= 100
A)
最小电源电压( LVD旅行)
时钟监视器故障检测频率
输出级性能
电气饱和恢复时间
(11)
满量程输出范围(I
OUT
= 200
A)
容性负载驱动
(12)
输出阻抗
机械特性
横向灵敏度
(13)
套餐共振
符号
V
DD
I
DD
T
A
g
FS
V
关闭
V
OFF ,V
S
S
V
f
–3dB
NL
OUT
n
RMS
n
PSD
n
CLK
g
ST
V
IL
V
IH
I
IN
t
ST
V
OL
V
OH
V
LVD
f
t
延迟
V
FSO
C
L
Z
O
V
XZ , YZ
f
PKG
4.75
3.0
–40
2.35
0.47 V
DD
7.6
1.49
360
–2.0
55
V
SS
0.7
×
V
DD
–30
V
DD
–0.8
2.7
50
0.25
典型值
5.00
281
2.5
0.50 V
DD
8.0
1.6
400
110
2.0
75
–100
2.0
3.25
0.2
300
10
最大
5.25
6.0
+125
2.65
0.53 V
DD
8.4
1.71
440
2.0
2.8
95
0.3
×
V
DD
V
DD
–260
10
0.4
4.0
260
V
DD
–0.25
100
5.0
单位
V
mA
C
g
V
V
毫伏/克
毫伏/ G / V
Hz
% FSO
毫伏有效值
μV / ( Hz的
1/2
)
mVpk
g
V
V
A
ms
V
V
V
千赫
ms
V
pF
% FSO
千赫
1.对于加载输出测量后的RC滤波器由一个1 kΩ电阻和一个0.01观察
F
电容到地。
2.这些界限决定动作的量,一部分将满足规范的范围内。
3.在4.75和5.25伏的电源电压范围,该器件作为一个完全校准的线性加速度计。除了这些供应限制
设备可以用作线性装置,但并不保证在校准。
4.该设备可同时测量+和 - 的加速度。没有输入加速度的输出处于中间电源。对于正加速度输出
将增加超过V
DD
/ 2和为负加速度的输出将减小低于V
DD
/2.
5.该设备校准在35克。
6.在时钟频率
70千赫。
7.数字输入引脚具有内部下拉电流源,以防止意外的自检开始,由于外部电路板级泄漏。
8.时间的输出达到90%最终值的启动自检之后。
9.状态管脚的输出是无效的通电后,直到至少有1个上升沿已被施加到自测试引脚。 STATUS引脚为高电平
每当自测试输入为高电平时,作为一个手段来检查在该应用程序的自测试和状态引脚的连接。
10. STATUS引脚输出锁存器高,如果低电压检测和时钟频率发生故障,或EPROM校验更改为奇。该
状态引脚可以复位低电平,如果自检销被脉冲具有高输入为至少100个
s,
除非故障状况仍然存在。
11.时间放大器恢复后的加速度信号,使他们达到饱和。
12.果脯相位裕度(60° ),以保证输出放大器的稳定性。
的设备的拒绝的加速能力13.测量施加90°灵敏度的真实轴。
MMA1200D
传感器
飞思卡尔半导体公司
3
工作原理
飞思卡尔加速度计是表面微机械加工的
集成电路的加速度计。
该装置由一个表面微加工的
电容感测单元(克细胞)和CMOS信号
调节ASIC包含在单个集成电路
封装。所述传感元件设置在所述密封
采用体硅微机械“帽''晶圆晶片级。
是一个机械结构,从所形成的克细胞
(多晶硅)采用半导体半导体材料
过程(掩模和蚀刻) 。它可以建模为两个
固定板与可动板在两者之间。该
中心板可以从它的静止位置由偏转
使该系统的加速度(图
3).
当中间板挠曲,从它到1的距离
固定板将用相同量的距离增加
到另一个板下降。距离的变化是
测量加速度。
在G-电池板形成两个背到背电容器
(图
4).
为中心板加速运动时,
板的变化和各个电容的之间的距离
值会发生变化, (C = Aε / D ) 。其中A是的领域
板,
ε
是介电常数,而D是距离
板之间。
该CMOS ASIC采用开关电容技术
测量G-电池电容和提取加速
由两个电容器之间的差值数据。该
ASIC还信号条件和过滤器(开关电容)
的信号,从而提供一个高电平输出电压即
比例和加速度成比例。
特殊功能
筛选
飞思卡尔加速计包含一个板载4针
开关电容滤波器。贝塞尔实现使用
因为它提供了最平坦的响应延迟(线性
相)从而保持脉冲形状的完整性。因为
过滤器是利用开关电容技术来实现,有
外部无源元件(电阻器没有要求
和电容器)来设置截止频率。
自检
该传感器提供了一个自检功能,可以让
验证的机械和电气完整性
加速度传感器在安装之前或之后的任何时间。这
特征是在应用,如汽车安全气囊临界
其中,系统的完整性,必须确保在系统使用寿命
该车辆的。第四个“板” '被用在克细胞作为自
试板。当用户施加一个逻辑高输入到自
测试管脚,一个标定电位跨越自检施加
板和所述可移动板。由此产生的静电
力( FE =
1
/
2
AV
2
/d
2
)使中心板偏斜。该
所得的偏转是由加速度计的测量
控制ASIC和比例的输出电压的结果。这
过程保证,无论是机械的(克细胞)和
加速度计的电子部分的功能一样。
比例调节
比例调节简单地意味着输出失调电压
和灵敏度会呈线性比例随外加电压。
也就是说,当增加的电源电压的灵敏度和
偏置线性增加;由于电源电压降低时,偏移
和敏感度降低线性。这是一个关键的特征时
接口与微控制器或A / D转换器,因为
它提供了电源引起的误差的系统级取消
在模拟到数字转换处理。
状态
飞思卡尔加速计包括故障检测电路
和故障锁存器。 STATUS引脚从故障输出
锁存器,逻辑与的具有自检,并且被设置为高时的一个(或
多个下述事件)发生:
电源电压低于低电压检测(LVD )
电压阈值
时钟振荡器低于时钟监视器
最小频率
的EPROM位奇偶变成单数。
故障锁存器可以通过自检的上升沿被复位
输入引脚,除非一项所述的故障条件(或更多)
继续存在。
促进
图3.传感器
物理模型
图4.等效
电路模型
MMA1200D
4
传感器
飞思卡尔半导体公司
基本连接
引脚说明
PCB布局
微控制器
加速度计
N / C
N / C
N / C
ST
V
OUT
状态
V
SS
V
DD
1
2
3
4
5
6
7
8
16
15
14
13
12
11
10
9
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
状态
ST
V
OUT
V
SS
V
DD
R
1 k
C 0.1
F
C 0.01
F
P1
P0
A / D在
V
SS
C
V
DD
0.1
F
V
RH
C
0.1
F
表3.引脚说明
PIN号
1通3
4
5
6
7
8
9至13
14通16
引脚名称
ST
V
OUT
状态
V
SS
V
DD
TRIM引脚
描述
悬空。
逻辑输入引脚用于启动自检。
该加速度计的输出电压。
逻辑输出引脚来指示故障。
电源地。
电源输入端。
用于工厂修剪。悬空。
无内部连接。离开
悬空。
电源
图6.推荐的PCB布局接口
加速度计,微控制器
注意事项:
1.使用0.1
F
电容上的V
DD
去耦电源
源。
加速度计到的2.物理耦合距离
微控制器应该是最小的。
3.放置一个地平面加速度计下方
降低噪音,接地平面应附
所有所示的开放式终端
图6 。
4.使用1 k和0.01的RC滤波器
F
上的输出
加速度计,以尽量减少时钟噪声(从
开关电容滤波器电路) 。
V
DD
MMA1200D
逻辑
输入
4 ST
8 V
DD
V
OUT
6
R1
1 k
5
C2
0.01
F
状态
产量
信号
电源线和地线的5 PCB布局不应夫妇
电源噪声。
6.加速度传感器和微控制器不应该是一个
高电流路径。
7, A / D采样速率和任何外部电源
开关频率应被选择为使得它们
不与内部加速度干扰
采样频率。这将防止混叠误差。
C1
0.1
F
7 V
SS
图5. SOIC加速度计与推荐
接线图
MMA1200D
传感器
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5
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传感器
器件数据手册
DL200/D
启5 , 01/2003
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数据分类
产品预览
此标题在数据表显示,该设备是在形成阶段或设计(开发中) 。
在第一页的底部免责声明内容如下:“本文件包含在开发一个产品信息
换货。摩托罗拉保留随时更改或终止本产品,恕不另行通知。 “
提前或初步信息
此标题在数据表显示,该设备是在取样,试,或者先生产阶段。该
免责声明在第一页的底部写着: “此文件包含一个新的产品信息。产品规格
而此处的信息如有变更,恕不另行通知。 “
充分释放
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一个完全公布的数据表包含既不是分类的标题,也不是免责条款部分第一页的底部。
本文件包含在满负荷生产一个产品信息。保证限制将不无改变
以书面形式通知您当地的摩托罗拉半导体销售办事处。
摩托罗拉设备分类
在努力提供关于任何给定的设备的状态,向上的最新信息给客户,摩托罗拉有
分类所有设备分为三类:首选设备,目前产品和不推荐用于新
设计的产品。
甲优选类型是被推荐为将来使用一个第一选择的装置。这些设备是“首选”
由于它们的性能,价格,功能或属性,它提供了整体的“最佳”值的组合的
客户。这个类别包含先进成熟的设备将保持可用的fore-
seeable未来。
在数据表部分的优选设备
标识为“摩托罗拉的优选设备。'
标识为“当前”设备类型可能不是首选
设计,但将继续是可用的
因为在目前的生产设计中的普及和/或标准化和批量使用。这些产品可以
可以接受的新的设计,但首选的类型被认为是对长期使用更好的选择。
任何一个没有被确定为“优选的装置”的设备是“当前”设备。
指定为产品“不推荐用于新设计”可能会变得过时,因为决定市场不佳
接受,或技术或包被达到其生命周期的结束。此类别中的设备有
不确定的未来,并不代表一个很好的选择对新设备的设计或长期使用。
传感器数据手册中不包含任何
“不推荐用于新设计”的设备。
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传感器
设备数据
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在这本书中的信息进行了认真审查,并认为是准确的;但是,没有责任
被假定为不准确。此外,这些信息并没有传达到半导体的采购
设备根据专利权的制造商的任何许可。
摩托罗拉保留更改,恕不另行通知这里的任何产品的权利。摩托罗拉不作任何war-
保修资格,陈述或对其产品是否适合任何特定用途的保证,也不Motoro-
LA承担由此产生的任何产品或电路的应用或使用任何责任,并明确拒绝承担任何和
所有责任,包括但不限于间接或附带损失。 “典型”参数可以做不同的
不同的应用和实际性能可能随时间变化。所有的操作参数,包括“典型” ,必须
每个客户的客户应用的技术专家进行验证。摩托罗拉并没有传达任何许可
根据其专利权或他人的权利。摩托罗拉产品不是设计,意,或授权使用
作为系统组件用于外科植入到体内,或用于支持其他应用程序或
维持生命,或任何其他应用程序在摩托罗拉产品的故障可能造成一种情况,
可能发生的人身伤害或死亡。如果买方购买或使用摩托罗拉产品的任何意外或非
授权的应用程序,买方应赔偿并持有摩托罗拉和其职员,雇员,子公司,关联公司,
和分销商对所有索赔,费用,损失,费用无害,以及合理的律师费所产生
出,直接或间接造成人身伤害或死亡索赔等意外或未经授权的联系
使用,即使此类索赔称,摩托罗拉对零件的设计或制造疏忽造成的。摩托罗拉
及风格化M徽标已在美国专利&商标局注册。所有其它产品或服务名称均为
其各自所有者的财产。摩托罗拉公司是一个机会均等/肯定行动雇主。
第5版
摩托罗拉公司2003
“版权所有”
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目录
第一节 - 基本信息
质量和可靠性
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–2
概述。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-2
可靠性问题的硅压力传感器。 。 。 。 。 。 1-3
焊接注意事项。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-10
压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-11
静电的工艺控制。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-17
统计过程控制。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-11
测试结果
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–17
加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 1-17
介质兼容性概述
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1–18
压力传感器概述
一般信息。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-7
摩托罗拉压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-8
集成。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-12
传感器应用。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-13
压力传感器的常见问题解答。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-14
数据表
MPX10 , MPXV10GC系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-15
MPX12系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-19
MPX2010 , MPXV2010G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-23
MPX2050系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-27
MPX2053 , MPXV2053G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-31
MPX2100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-35
MPX2102 , MPXV2102G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-39
MPX2200系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-43
MPX2202 , MPXV2202G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-47
MPX2300DT1 , MPX2301DT1 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-51
MPX4080D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-54
MPX4100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-59
MPX4100A , MPXA4100A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-64
MPX4101A MPXA4101A , MPXH6101A系列。 。 。 。 3-70
MPX4105A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-75
MPX4115A , MPXA4115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-79
MPX4200A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-84
MPX4250A , MPXA4250A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-88
MPX4250D系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-93
MPX5010 , MPXV5010G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-97
MPX5050 , MPXV5050G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-103
MPX5100系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-108
MPX53 , MPXV53GC系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-114
MPX5500系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-118
MPX5700系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-122
MPX5999D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-126
MPXA6115A , MPXH6115A 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-130
MPXAZ4100A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-135
MPXAZ4115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-140
MPXAZ6115A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-145
MPXC2011DT1 , MPXC2012DT1 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-150
MPXH6300A系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-153
MPXM2010系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-158
MPXM2053系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-161
MPXM2102系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-164
MPXM2202系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-167
MPXV4006G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-170
MPXV4115V系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-174
MPXV5004G系列。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-179
MPXV6115VC6U 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-183
应用笔记
AN935
在补偿非线性
MPX10系列压力变送器。 。 。 3-188
AN936
安装技术,引线成型
和摩托罗拉MPX系列测试
MPX10系列压力传感器。 。 。 。 。 。 3-195
AN1082
简单的设计一个3-20 mA变送器
界面使用摩托罗拉
压力传感器。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 3-200
(续 - 下页)
飞思卡尔半导体公司...
第二节 - 加速度传感器产品
迷你选型指南
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–2
设备编号系统
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–2
传感器应用
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–3
加速度传感器的常见问题解答
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–4
数据表
MMA1200D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-5
MMA1201P 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-12
MMA1220D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-18
MMA1250D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-24
MMA1260D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-30
MMA1270D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-36
MMA2201D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-42
MMA2202D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-48
MMA3201D 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 55
应用笔记
AN1559
申请注意事项交换
电容加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 62
AN1611
影响和倾斜测量
使用加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-65
AN1612
震动和静音寻呼应用
使用加速度计。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-77
AN1632
MMA1201P产品概述
和接口注意事项。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 84
AN1635
棒球间距测速仪。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 89
AN1640
降低加速度计
易患BCI 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2-101
AN1925
使用摩托罗拉的加速度
评估板。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 2 - 104
案例大纲
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–107
术语表
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2–109
第三节 - 压力传感器产品
迷你选型指南
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–2
设备编号系统
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–4
封装选择
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–5
订购的部件编号
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3–6
v
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摩托罗拉
半导体技术资料
订购此文件
通过MMA1200D / D
表面贴装
微机械加速度计
在MMA系列硅电容的,微机械加速度计
特征信号调理, 4极的低通滤波器和温度
补偿。零重力抵消满量程和滤波器截止的出厂设置和
无需外部设备。一个完整的系统自检功能验证系统
功能。
特点
积分信号调理
线性输出
性能成比例
4阶贝塞尔滤波器保留脉冲波形完整性
校准自检
低电压检测,时钟监控和EPROM奇偶校验状态
传感器密封在实现卓越的可靠性晶圆级
强大的设计,高冲击生存能力
典型应用
振动监测和记录
影响监测
MMA1200D
MMA1200D : Z轴灵敏度
微机械
加速度计
±250g
16
9
1
8
16引脚SOIC
CASE 475-01
引脚分配
N / C
N / C
N / C
ST
V
OUT
状态
V
SS
V
DD
1
2
3
4
5
6
7
8
16
15
14
13
12
11
10
9
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
简化加速度计功能框图
V
DD
G-细胞
传感器
积分
收益
滤波器
温度
COMP
V
OUT
ST
自检
控制逻辑&
EPROM TRIM电路
振荡器
钟将军
V
SS
状态
图1.简化加速度计功能框图
REV 0
摩托罗拉传感器设备数据
摩托罗拉公司2001年
1
MMA1200D
最大额定值
(最大额定值的限制,以使设备可以在不造成永久损坏被暴露)。
等级
动力加速(所有轴)
无动力加速(所有轴)
电源电压
跌落测试
(1)
存储温度范围
注意事项:
1.跌落到混凝土表面,从任何轴。
符号
G
pd
G
UPD
V
DD
D
T
英镑
价值
500
2000
-0.3到+7.0
1.2
-40到+105
单位
g
g
V
m
°C
静电放电( ESD )
警告:本装置是对静电敏感
放电。
虽然摩托罗拉加速度计包含内部
2kV的ESD保护电路,额外的预防措施,必须采取
由用户来保护免受ESD芯片。一次充电超过
2000伏堆积在人体或相关联的
测试设备。一次充电这种规模的可改变per-
芯片formance或导致故障。当处理
加速度计,适当的ESD防范措施,应遵循
为了避免该装置暴露于放电可以是
损害其性能。
2
摩托罗拉传感器设备数据
MMA1200D
工作特性
(除非另有说明: -40°C
v
T
A
v
+85°C, 4.75
v
V
DD
v
5.25 ,加速度= 0克,输出负载
(1)
)
特征
工作范围
(2)
电源电压
(3)
电源电流
工作温度范围
加速范围
输出信号
零G(V
DD
= 5.0 V)
(4)
零加速度
灵敏度(T
A
= 25 ° C,V
DD
= 5.0 V)
(5)
灵敏度
带宽响应
非线性
噪音
RMS ( .01-1千赫)
功率谱密度
时钟噪声(无输出RC负载)
(6)
自测
输出响应
输入低
输入高
输入加载
(7)
响应时间
(8)
状态
(12)(13)
输出低(我
负载
= 100
A)
高输出(I
负载
= 100
A)
最小电源电压( LVD旅行)
时钟监视器故障检测频率
输出级性能
电气饱和恢复时间
(9)
满量程输出范围(I
OUT
= 200
A)
容性负载驱动
(10)
输出阻抗
机械特性
横向灵敏度
(11)
套餐共振
符号
V
DD
I
DD
T
A
g
FS
V
关闭
V
OFF ,V
S
S
V
f
–3dB
NL
OUT
n
RMS
n
PSD
n
CLK
g
ST
V
IL
V
IH
I
IN
t
ST
V
OL
V
OH
V
LVD
f
t
延迟
V
FSO
C
L
Z
O
V
XZ , YZ
f
PKG
4.75
3.0
*40
2.2
0.44 V
DD
7.5
1.47
360
2.0
55
V
SS
0.7× V
DD
*30
V
DD
*.8
2.7
50
V
SST
典型值
5.00
47
2.5
0.50 V
DD
8.0
1.6
400
110
2.0
77
*100
2.0
3.25
0.2
300
10
最大
5.25
6.0
+85
2.8
0.56 V
DD
8.5
1.72
440
2.0
2.8
95
0.3× V
DD
V
DD
*260
10
0.4
4.0
260
V
DD
*0.3
100
5.0
单位
V
mA
°C
g
V
V
毫伏/克
毫伏/ G / V
Hz
% FSO
毫伏有效值
μV / ( Hz的
1/2
)
mVpk
g
V
V
A
ms
V
V
V
千赫
ms
V
pF
% FSO
千赫
注意事项:
1.对于加载输出测量后的RC滤波器由一个1 kΩ电阻和一个0.01观察
F
电容到地。
2.这些界限决定动作的量,一部分将满足规范的范围内。
3.在4.75和5.25伏的电源电压范围,该器件作为一个完全校准的线性加速度计。除了这些供应限制
该装置可以作为一个非线性器件,但不能保证在校准。
4.该设备可同时测量+和
*
加速。没有输入加速度的输出处于中间电源。对于正加速度输出
将增加超过V
DD
/ 2和为负加速度的输出将减小低于V
DD
/2.
5.该设备校准在35克。
6.在时钟频率
^
70千赫。
7.数字输入引脚具有内部下拉电流源,以防止意外的自检开始,由于外部电路板级泄漏。
8.时间的输出达到90%最终值的启动自检之后。
9.时间为放大器的加速度信号后的恢复,使它们达到饱和。
10.果脯相位裕度(60° ),以保证输出放大器的稳定性。
的设备的拒绝的加速能力11.测量施加90°灵敏度的真实轴。
12.状态管脚的输出是无效的通电后,直到至少有1个上升沿已被施加到自测试引脚。状态引脚
高每当自检输入为高。
13. STATUS引脚输出锁存器高,如果低电压检测和时钟频率发生故障,或EPROM校验更改为奇。该
状态引脚可以通过一个上升沿自检复位,除非故障状态继续存在。
摩托罗拉传感器设备数据
3
MMA1200D
工作原理
摩托罗拉加速度计是表面微机械加工的
集成电路的加速度计。
该装置由一个表面微机械加工的电容器的
略去传感细胞(克细胞)和CMOS信号调节
专用集成电路包含在单个集成电路封装。该
感测元件是在晶片级气密密封
采用体硅微机械“帽'的晶片。
是一个机械结构,从semicon-形成的克细胞
采用半导体亲导体材料(多晶硅)
正如事实(掩模和蚀刻) 。它可以建模为两个
固定板与可动板在两者之间。该
中心板可以从它的静止位置由子被偏转
jecting系统的加速度(图2)。
当中间板挠曲,从它到1的距离
固定板将用相同量的显示增加
tance到另一个板下降。距离的变化是
测量加速度。
在G-电池板形成两个背到背电容器
(图3) 。为中心板加速运动时,
板的变化和各个电容的之间的距离
值会发生变化, (C = Aε / D ) 。其中A是的领域
板,
ε
是介电常数,而D是距离
板之间。
该CMOS ASIC采用开关电容技术
测量G-电池电容和提取加速
由两个电容器之间的差值数据。该
ASIC还信号条件和过滤器(开关电容)
的信号,从而提供一个高电平输出电压是比 -
公制和加速度成比例。
促进
自测
该传感器提供了一个自检功能,可以让
验证的机械和电气完整性
加速度传感器在安装之前或之后的任何时间。这
特征是在应用,如汽车安全气囊临界
其中,系统的完整性,必须确保在系统使用寿命
该车辆的。第四个“板” '被用在克细胞作为自
试板。当用户施加一个逻辑高输入到
自测针,一个标定电位横跨施加
自测试板和可动板。由此产生的elec-
trostatic力( FE =
1
/
2
AV
2
/d
2
)使中心板来
偏转。所得到的偏转是由加速测
erometer控制ASIC和比例的输出电压
结果。这个过程确保了两者的机械
(克细胞)和加速计的电子部分是
工作。
比例调节
比例调节简单地意味着输出失调电压
和灵敏度会呈线性比例随外加电压。
也就是说,当增加的电源电压的灵敏度和
偏置线性增加;由于电源电压降低时,偏移
和敏感度降低线性。这是一个关键的特征时
接口与微控制器或A / D转换器,因为
它提供了电源引起的误差的系统级取消
在模拟到数字转换处理。
状态
摩托罗拉加速计包括故障检测电路
和故障锁存器。 STATUS引脚从故障输出
锁存器,逻辑与的具有自检,并且被设置为高时的一个(或
多个下述事件)发生:
电源电压低于低电压检测(LVD )
电压阈值
时钟振荡器落在时钟监视器低于最低
频率
的EPROM位奇偶变成单数。
故障锁存器可通过在自上升沿复位
试输入管脚,除非一项所述的故障条件(或更多)
继续存在。
图2.传感器
物理模型
图3.等效
电路模型
基本连接
引脚说明
N / C
N / C
N / C
ST
V
OUT
状态
V
SS
V
DD
1
2
3
4
5
6
7
8
16
15
14
13
12
11
10
9
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
N / C
特殊功能
筛选
摩托罗拉加速度计包含一个板载4针
开关电容滤波器。贝塞尔实现使用
因为它提供了最平坦的响应延迟(线性
相)从而保持脉冲形状的完整性。由于滤波器
之三是利用开关电容技术来实现,有
外部无源元件(电阻器没有要求
和电容器)来设置截止频率。
4
摩托罗拉传感器设备数据
MMA1200D
PIN号
1通3
4
5
6
7
8
9至13
14通16
引脚名称
ST
V
OUT
状态
V
SS
V
DD
TRIM引脚
描述
冗余V
SS
。离开不整合
连接的。
逻辑输入引脚用于启动
自检。
在accelerome-的输出电压
之三。
逻辑输出引脚来指示故障。
电源地。
电源输入端。
用于工厂修剪。离开
悬空。
无内部连接。离开
悬空。
PCB布局
状态
加速度计
ST
V
OUT
V
SS
V
DD
R
1 k
C 0.1
F
V
RH
C
0.1
F
C 0.01
F
P1
P0
A / D在
微控制器
V
SS
C 0.1
F
V
DD
电源
V
DD
逻辑
输入
MMA1200D
4 ST
8 V
DD
V
OUT
6
R1
1 k
状态
产量
信号
图5.推荐的PCB布局接口
加速度计,微控制器
注意事项:
使用0.1
F
电容上的V
DD
去耦电源
源。
该加速度计的物理耦合距离的
微控制器应该是最小的。
放置一个接地平面上的加速度计的下面,以减少
噪音,接地平面应附在所有的
打开图5所示端终端。
使用1 kΩ和0.01的RC滤波器
F
上的输出
加速度计,以尽量减少时钟噪声(从切换
电容滤波电路) 。
电源线和地线的PCB布局不应夫妇动力
电源噪声。
加速度传感器和微控制器不应该是一个高
电流路径。
A / D采样速率和外部电源开关
频率应当被选择为使得它们不互
FERE与内部加速度传感器的采样频率。
这将防止混叠误差。
5
C1
0.1
F
7 V
SS
C2
0.01
F
图4. SOIC加速度计与推荐
接线图
摩托罗拉传感器设备数据
5
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