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风冷
真空紫外光光源单元L8998
配备真空法兰( ICF70 )
左侧:电源,右:光源
鉴于以上
滨松现在推出的真空紫外
( VUV)光源,它结合了30瓦特正面
键入氘灯与真空法兰。它的COM
契约规模和空冷配置便于
处理和操作。氘灯的用途
的氟化镁
2
(氟化镁)窗口有效
发射真空紫外线辐射降低到115纳米。
真空法兰( ICF70 ) ,组装成一个标
准功能,轻松连接到大多数真空盒释放
的BER 。
灯泡房产证的金属连接器
轻松连接到专用的电源也
从滨松。
特点
嘉禾碳素
真空紫外辐射输出强度
GAIR冷
(不需要冷却水)
GEquipped
真空法兰( ICF70 )
应用
GVUV
分光光度计
GOptical
气相生长
GVUV
光刻技术
GExcitation
光源
GLight
化学反应
GExperiment
并研究是否可使用真空紫外灯
特定网络阳离子
GGENERAL
评级
参数
光谱分布
窗口材料
光圈大小
冷却方式
工作温度范围
工作湿度范围*
*不结露
说明/值
115 400
MGF
2
1.0
风冷
10至35
20至85
单位
nm
mm
°C
% RH
GRecommended
运行情况和特性(25
°C)
参数
预热时间
放电起始电压(DC)的
阳极电流(DC)的
管压降电压(DC )
漂移
输出稳定
波动( P-P )
光源的预计工作寿命( 160纳米)
输入电压( AC)的
耗电量
说明/值
30
400
300
80
±1.0
0.05
300
90 115 /180可将250 (自动)
140
单位
s
V分钟。
mA
V典型值。
%/小时的最大值。
%最大。
h
V
VA
GVACUUM
轮缘
参数
法兰标准
密封方法
密封力保持
描述
ICF70 ( P.C.D. 58.7毫米 - 6孔)
垫片
-6
帕·米
3
s
-1
以下
5
×
10
光谱分布
(真空紫外区;基准数据)
100
TLSOB0079EA
80
相对输出
60
40
20
0
100
120
140
160
180
200
220
240
400
波长(nm )
维OUTLINES
(单位:毫米)
光源
(重量:约2.7公斤)
金属接头
(连接到电源)
6- 6.7
P.C.D. 58.7
真空法兰盘
ICF70
光束角
ARC点
70
20°
80
OUTPUT窗口15
71
204
80
散热风扇
替换光源L9026是availabie 。
电缆长度: 1800 ± 50
电缆被包括在内。
TLSOA0060EB
电源
(重量:约3公斤)
金属接头
(连接到光源)
顶视图
113
前视图
200
SIDE VIEW
后视图
TLSOA0061EA
122
真空紫外光光源
在使用过程中的注意事项
1.灯发出强烈的紫外线辐射是有害的眼睛和皮肤。不要直视灯泡,或允许紫外线辐射直接罢工
在皮肤上。总是有工作灯工作时佩戴护目镜或其他防护装备。
2,一种高电压用于操作灯。采取足够的谨慎,以防止触电。
保修期
滨松灯配有保修有效期为一年,自交付之日起。保修仅限于更换灯泡。该war-
保修资格并不适用,即使在这一年之内,向的情况下灯的工作时间超过了保证的寿命,或者在例
其中,故障或故障发生的自然灾害,事故或使用不当造成的。
受当地技术要求和规定,包括在此宣传材料可能会有所不同产品的可用性。请与我们的销售办事处咨询。
提供的信息滨松被认为是可靠的。但是,没有承担责任的可能不准确或遗漏。规格
如有更改,恕不另行通知。没有专利权授予任何本文所描述的电路。 2002滨松光子学株式会社
主页URL http://www.hamamatsu.com
滨松光子学株式会社,电子管中心
314-5 , Shimokanzo ,丰冈乡,磐田郡,静冈县, 438-0193 ,日本,电话: ( 81 ) 539 / 62-5248 ,传真: ( 81 ) 539 / 62-2205
U.S.A :
滨松公司:山麓路360号邮政信箱6910 ,布里奇沃特。 NJ 08807-0910 , USA ,电话: ( 1 ) 908-231-0960 ,传真: ( 1 ) 908-231-1218邮箱: usa@hamamatsu.com
德国:
滨松光子学德国公司: Arzbergerstr 。 10 , D- 82211的Herrsching很Ammersee的,德国,电话: ( 49 ) 8152-375-0传真: ( 49 ) 8152-2658电子邮件: info@hamamatsu.de
法国:
滨松光子学法国SARL : 8 ,杜街Sule酒店Trapu ,杜公园红磨坊德马西, 91882 Cedex的马西,法国,电话: ( 33 ) 1 69 53 71 00 ,传真: ( 33 ) 1 69 53 71 10电子信箱:相关信息@ hamamatsu.fr
英国:
滨松光子英国有限公司: 2霍华德法院, 10 Tewin路韦林花园城赫特福德郡AL7 1BW ,英国,电话: 44-( 0 ) 1707-294888 ,传真: 44 ( 0 ) 1707-325777电子邮件:信息@滨松。 co.uk
北欧:
滨松光子诺登AB : Smidesvgen 12 , SE- 171-41索尔纳瑞典,电话: ( 46 ) 8-509-031-00 ,传真: ( 46 ) 8-509-031-01电子邮件:信息@滨松。 SE
TLSO1037E03
意大利:
滨松光子意大利: SRL :斯特拉达德拉莫亚, 1 / E , 20020阿莱赛(米兰) ,意大利,电话: ( 39 ) 02-935 81 733传真: ( 39 ) 02-935 81 741电子邮件:信息@ hamamatsu.it
四月2002年IP
日本印刷( 1000)
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    地址:深圳市福田区振兴路156号上步工业区405栋3层

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联系人:刘先生
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