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灯光
成像
电信
水银短弧灯
HSH3501PILO
灯光刻
描述
珀金埃尔默光电子是一家领先
水银短弧灯生产厂家
范围在输出功率为1000
8000瓦特。这些灯中所使用的
生产印刷电路板的,液体
液晶显示器和半导体。该
HSH系列灯具被广泛用于全球
微影系统制造
由ASML ,佳能, GCA ,尼康,卡尔
苏斯,雅达步进,和SVG 。同
极高的稳定性,均匀的输出
分布和延长灯管寿命,
在HSH系列已经成为灯
选择众多世界领先的
半导体制造商。
珀金埃尔默一直是领先的制造
商高强度弧光灯更多
超过30年,是一家一流的支持灯
钳固态激光器,医疗分析装备
包换,美国航空航天局的太空系统和
微影。珀金埃尔默
从稳步推进灯管性能
千瓦特到8000瓦。与介绍 -
新材料和专有duction
制造过程中,我们有扩及
ED灯泡寿命形成几百
小时到超过两千小时。
该HSH系列提供了更长的寿命,
出色的均匀性,以及优良的
光谱质量这导致增加
吞吐量,减少停机时间和
全面降低拥有成本。
应用
微光刻
.
www.perkinelmer.com/opto
HSH3501PILO
操作规范
描述
动力
当前
电压
纹波电流
温度
(在库)
一生
公称
3500瓦特
152安培( DC )
23伏(直流)
3%
220℃ (最大)
1500小时
135-175安培( DC )
20-26伏特(直流)
范围
物理规格
描述
电弧间距
阳极基地
阴极基
规范
4.5毫米(最大)
40毫米直径( M6 )
32.5毫米直径( M12 )
光谱输出
100
90
80
尺寸
相对强度(%)
70
60
50
40
30
20
10
0
250
300
350
400
450
500
550
600
650
700
750
阳极(+)
结果
波长(nm )
324
最大
典型性能曲线图
100
90
相对强度(%)
80
70
60
50
40
30
20
10
155.5
阴极( - )
降到底
81.5
所有尺寸以毫米为单位。
0
0
200
400
600
800
1000
1200
1400
营业时间
笔记
1.
灯必须与阳极落得进行操作和
阴极结束了。灯轴的倾斜,
垂直不得超过10° 。
型号参考
在使用
替换
ASML 400分之5500
SUV-3501-PIL
HBO-3501-W/PI
珀金埃尔默欢迎有关特殊灯具的查询。我们很高兴地讨论你的应用程序的需求和可行性
专门设计适合您的需要的灯。
欲了解更多信息,请发送电子邮件时opto@perkinelmer.com或访问我们的网站www.perkinelmer.com/opto 。
所有数值都是正常;规格若有变更,恕不另行通知。
美国:
珀金埃尔默光电子
44370克里斯蒂圣
弗里蒙特,加利福尼亚州94538
电话: ( 510 ) 979-6500
传真: ( 510 ) 687-1140
欧洲:
珀金埃尔默光电子有限公司
文策尔 - Jaksch -STR 。 31
65199威斯巴登
德国
电话: +49 611 492 0
传真: +49 611 492 177
亚洲:
珀金埃尔默光电子
47亚逸拉惹坊# 06-12
新加坡139947
电话: +65 775 2022
传真: +65 775 1008
.
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DS - 302版本A 0102
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