泰农FC260 / FM360
质量流量控制器和流量计
低成本的质量流量控制器与长期重复性和性能
过程值
专为满足苛刻要求
半导体工艺和设备，该
泰农FC260和泰农FM360模型
优质橡胶密封质量流量
控制器和仪表。这些微生物燃料电池相结合
成熟的部件和技术，与
在这两种机械的创新概念和
电气设计。
卓越的性能
泰农FC260 QND FM360的质量流量控制器和
流量计准确，可靠地测量和
气体控制流量可达200升标准
每分钟而不需要压力或
温度修正。
产品特点
态度不敏感型流量传感器
产品优势
消除其内部的情况下，空气对流电流，而不会牺牲
响应速度。
可被安装在任何位置，而不需要调零。
高级旁路设计来操作
在层流状态
固态阀组件
建造316型不锈钢的
钢
层流
保证精度上的质量流量控制器的整个范围。
对范围变更容易去除。
与无功和腐蚀性的材料完全兼容。
设计消除了内部的死体积。
省去了复杂的，交互式多点线性化
在校准过程中
P ，R 0 ü （C T）
P ，R 0 F I L E
泰农FC260 / FM360微生物燃料电池和流量计 - 订购信息
前视图
SIDE VIEW
H
H1
150 PSIG MAX
L
L1
L2 （脸配件）
L3
0.164 “ -32 UNC -2B
0.25 “深， 2个地方
W
S
底部视图
W1
FC-260/FM-360
配件
2S
4S
4VCO
4V
in
mm
in
mm
in
mm
in
mm
配件
4S
4V
4VCO
6S
6V
in
mm
in
mm
in
mm
in
mm
in
mm
配件
4V
6S
6V
6VCO
in
mm
in
mm
in
mm
in
mm
7.13
181.1
5.75
146.1
1.50
38.1
H
H1
W
5.63
143.0
4.25
108.0
1.25
31.8
H
H1
W
5.38
136.7
4.00
101.6
1.00
25.4
H
H1
W
L4
W1
L5
W2
W2
L
L1
3.82
97.0
L2
4.38
111.3
4.44
112.7
4.55
115.6
4.88
123.9
L2
5.78
146.8
6.19
157.2
5.86
148.8
5.90
149.8
6.50
165.1
L2
6.87
174.6
7.57
192.3
7.10
180.2
L3
4.94
125.5
5.03
127.8
-
-
-
-
L3
6.36
161.5
-
-
-
-
6.48
164.5
-
-
L3
7.45
189.3
7.59
192.7
-
-
-
-
4.00
101.6
0.62
15.75
0.585
14.8
L4
L5
S
3.55
90.1
0.35
8.9
0.575
14.6
L4
L5
S
2.72
69.1
0.14
3.56
0.50
12.7
L4
L5
S
0.72
18.3
0.14
3.56
3.00
76.2
3.82
97.0
-
-
-
-
FC-261/FM-361
W1
W2
L
L1
5.16
131.0
-
-
0.97
24.6
0.14
3.56
4.25
108.0
-
-
5.17
131.3
-
-
W1
W2
L
L1
6.25
158.8
1.00
25.4
0.25
6.35
5.255
133.5
6.27
159.3
-
-
-
-
2S = 1/ 8英寸Swagelok
4S = 1/ 4英寸的世伟洛克
4V = 1/ 4英寸的录像机
4VCO = 1/ 4英寸的VCO
2
6S = 3/ 8英寸Swagelok
6V = 3/ 8英寸的录像机
6VCO = 3/ 8英寸的VCO
FC-262/FM-362
泰农FC260 / FM360微生物燃料电池和流量计 - 订购信息
性能
气体
阶跃响应时间
准确性
线性
重复性
态度灵敏度
控制范围
与已知的转换因子的任何气体
6秒（取决于步请求和条件）
满量程的± 1 ％
满量程为FC262 ± 2 ％
满刻度的0.5％的
满量程的± 0.2 ％
不敏感
50:1 (100% - 2%)
FC262 50：2 （100％ - 4％）
316型不锈钢，氟橡胶
，全氟醚橡胶
或
氯丁橡胶密封取决于气体的应用
1 x 10
-9
大气压毫升/秒他
0 - 5 VDC （ 5伏=满量程）
流量控制器：
+ 15 VDC ± 4 ％ ，最大25毫安
- 15 VDC ± 4 ％ ，最大180毫安
流量计：
+ 15 VDC ± 4 ％ ，最大25毫安
- 15 VDC ± 4 ％ ，最大25毫安
流量控制器：
最大4.0瓦特
流量计：
最大1.5瓦特
流量控制器：
0 - 5 VDC （ 2.5千欧最大源阻抗）
40-20毫安可选（ Mykrolis公司联系）
2000欧姆
满量程流量*
气
模型
流量控制器
配件
FC260
*请参阅规格表
2S = 1/8“世伟洛克
FC261
模型的具体限制。
4S = 1/4“世伟洛克
FC262
流量计4VC0 = 1/4“ VCO
4V = 1/4“ VCR
FM360
6S = 3/8 “世伟洛克
FM361
6VC0 = 3/8 “ VCO
FM362
6V = 3/8 “ VCR
订购信息
机械
物料
泄漏完整性
电动
模拟输出
输入功率
耗电量
指令信号
最小负载
阻力
环境的
温度范围
温度
系数
压力系数
5 - 43°C （ 40 - 110 °F ）
± 0.1%/° C
± 0.007 ％ /磅
注：根据SEMI标准E12-91 ，标准温度为0℃
和标准压力为760毫米汞柱（ 14.7 PSIA ） 。
流量控制器
模型
满量程
范围
压力
降
气压
燃气配件
重量
FC260
10 SCCM - 5 SLM
10 - 40 PSID
FC261
6 - 20 SLM
FC262
FC360
流量计
FC361
6 - 20 SLM
FC362
30 - 200 SLM
30 - 200 SLM 10 SCCM - 5 SLM
15 - 40 PSID 20 - 40 PSID
40 PSIG
最佳
150 PSID
最大
1/4“或3/8”
2.77千克
（5.0磅）
0.5 PSID在满量程流量
30 PSIG最佳
150 PSID最大
1/8“或1/4”
500克
（1.1磅）
1/4”
954克
（2.1磅）
500 PSID最大
1/8“或1/4”
454克
（1.0磅）
1/4”
907克
（2.0磅）
1/4“或3/8”
2.15千克
（ 4.75磅）
请咨询我们的应用专家的任何问题。
泰农是Mykrolis公司公司的注册商标。
Mykrolis公司和Mykrolis公司标志是Mykrolis公司公司的注册商标。
全氟醚橡胶和氟橡胶是杜邦陶氏弹性体，LLC的注册商标
世伟洛克是克劳福德装修公司的商标。
VCO和VCR的卡洪公司的注册商标。
法律/商标： www.mykrolis.com/corporate.nsf/docs/legal
全球办事处： www.mykrolis.com/corporate.nsf/docs/worldwide
美国
（ +1 ） 978-436-6500比尔里卡，MA
（ +1 ） 972-359-4000艾伦，得克萨斯州
3
欧洲
(+33) 4-76-35-73-50
亚洲
(+65) 6 745-2422
日本
（ 81 ） 3-5442-9718东京
（ 81 ） 92-471-8133九州
（ 81 ） 6-6390-0594大阪
点亮。第PF1062ENUS版本A 2003年4月18日
美国印刷 1998-2003 Mykrolis公司公司。版权所有。
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