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1.2微米CMOS工艺系列
工艺参数
1.2m
5volts
金属I或II的间距(宽度/间距)
1.2 / 1.2
5.0 / 5.0
1.2 / 1.2
1.2 x 1.2
1.4 x 1.4
1.2
4.0
4.0
0.20
0.31
225
390
单位
m
m
m
m
m
m
m
m
m
m
特点
双聚/双金属,
2.4
m
保利和金我间距,
5.5伏特,最大工作电压,
双缸过程上的P型或N型硅片,
ProToDuction
TM
选择低成本的原型,
提供三重金属的选择,
。低漏电工艺
可用的标准单元库
金属三间距(宽度/间距)
聚间距(宽度/间距)
联系
通过1 & 2
门几何
N阱结深
P-阱的结深
N +结深
P +结深
栅氧化层厚度
国米聚氧化层厚度
描述
1.2m
过程中提供了灵活性,
速度和封装密度需要在混合信号
设计。两个金属上的激进的设计规则
层可媲美最0.8μm的过程。
另外,整体的设计规则兼容
使第二大等1.2um工艺
采购方便。
MOSFET电气参数
1.2 MICRON - 5伏
技术概要
排水工程结构,以确保
对热载流子注入可靠性
平坦化与非回蚀
SOG流程
:金属技术的国家的最先进的
钛/锡/铝/锡三明治
等离子氮化硅钝化
为防止水分的可靠性
对非表免费闭锁过程
材料取得
VT( 10x1.2μm )
IDS ( 10x1.2μm )
收益
β
(10x10m)
体因子( 50x50μm )
BVDSS
亚阈值斜率
最大基板
电流( 50x1.2μm )
场阈值
l有效
N沟道
P沟道
分钟。典型值。马克斯。分钟。典型值。马克斯。
0.55
0.70
220
73
0.56
10
15
90
0.20
10
15
1.0
10
10
0.85
0.55
0.70
115
24
0.73
12
90
.01
15
0.82
0.85
单位
条件
V
μA /微米
μA / V
2
√v
V
毫伏/减速
μA /微米
V
m
饱和
Vds=Vgs=5v
Ids=20nA
Vds=0.1v
Vds=5.5v
Vgs=2.7v
IDS = 14μA
L =抽
1.5m
www.dalsasemi.com
欲了解更多信息:
DALSA半导体销售
18大道DE L' Aéroport酒店
布罗蒙,魁北克,加拿大
J2L 1S7
联系电话:
传真
电子邮件:
( 450 ) 534-2321分机。 1448
(800) 718-9701
(450) 534-3201
dalsasales@dalsasemi.com
1.2微米CMOS工艺系列[续]
电容(FF /微米
2
)
分钟。
多晶硅间
栅氧化层
N +结
P +结
0.88
1.4
典型值。
1.06
1.5
0.35
0.60
马克斯。
1.27
1.6
亿客*
PWELL
N+
P+
多晶硅栅
多晶硅电容器
35
80
15
75
电阻( Ω /□ )。
分钟。
典型值。
570
2300
42
85
22
100
0.038
0.038
55
120
25
125
马克斯。
双极
收益
1
典型值。
金属I
金属II
*对于狭窄的N阱电阻
R = ( 573 ×宽) / (宽 - 2.0 )
NPN横向[对基板]
垂直PNP
1
TEST
80
10
条件:的Vce = 5伏
图1 : IV特性的50x1.2μm N-MOSFET
12
VGS = 5伏
图2 : IV特性的50x1.2μm P-MOSFET
-7
VGS = -5伏
-6
10
VGS = 4伏
-5
IDS (毫安)
IDS (毫安)
8
VGS = -4伏
-4
-3
VGS = -3伏
-2
6
VGS = 3伏
4
VGS = 2伏
2
0
-1
0
0
1
2
3
4
5
6
0
-1
-2
VGS = -2伏
-3
-4
-5
-6
VDS (伏特)
VDS (伏特)
10
图3 :在Vds的亚阈值特性= 0.1伏的
一50x1.2
1.2m
N-MOSFET
-03
360
320
280
240
图4 :在Vds的亚阈值特性= -0.1伏的
一个50x1.2μm P-MOSFET
10
-03
10
-04
10
-05
10
-06
14
12
10
8
6
10
-04
10
-05
10
-06
10
-08
10
-09
10
-10
10
-11
10
-12
10
-13
0
0.4
0.8
1.2
1.6
2.0
IDS ( A)
200
160
120
80
40
0
IDS ( μA )
10
-08
10
-09
10
-10
10
-11
10
-12
10
-13
0
0.4
0.8
1.2
1.6
-8
-6
4
-4 2
-2
2.0
0
VGS (伏特)
VGS (伏特)
注意:这些值仅作为指导。其中许多可以调整,以满足客户需求。
如需了解完整的流程规范与敏迪的销售办事处或代表。
IDS ( μA )
IDS ( A)
10
-07
10
-07
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    C12C
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    -
    -
    -
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联系人:刘先生
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