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压力传感器
C41系列
系列/型号:
订购代码:
发布日期:
版本:
压力表压力传感器芯片
2009-08-03
3
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识别/分类2
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订货代码: (右上标题栏)
系列/类型: (右上标题栏)
初步数据(可选) :
(如果必要)
部门:
发布日期:
版本:
AS SEN PD
2009-08-03
3
压力表压力传感器芯片
压力传感器
C41系列
EPCOS AG 2009.复制,出版和传播本出版物,本协议罩和信息
所载没有爱普科斯事先明确同意,不得
压力传感器
C41系列
压力表压力传感器芯片
应用
医疗器械
汽车
自动化
特点
压阻式MEMS技术
外形尺寸: 5.05 × 5.05毫米
广场隔膜
测介质(背面) :
非腐蚀性气体和液体。
不适用于其与反应的物质
玻璃或硅。
油石桥毫伏的输出,
供电电压成正比
额定压力范围25到60毫巴
选项
温度检测二极管
配送方式
TRAY
尺寸图
允许边缘中断
100微米最大。
允许边缘中断
100微米最大。
电气图
X1
X9
SI 100
R1 R2
玻璃
X5
R3 R4
检查焊垫
在微米所有尺寸
注1 :膜片几何
取决于规范
X8
X2
X1 :
X2 :
X3 :
X4 :
X5 :
X8 :
X9 :
X12:
VDD +
VOUT +
VDD “
VDD “
VOUT +
二极管( N)
二极管(P)的
基板
X4 X3
AS SEN PD
请仔细阅读注意事项和警告,并
重要注意事项在本文档的末尾。
第2页8
2009-08-03
压力传感器
C41系列
压力表压力传感器芯片
技术参数
绝对最大额定值
参数
电源电压
最大电源电压
温度范围
2)
符号
条件
分钟。
典型值。
马克斯。
单位
V
DD
无损伤
1)
10
V
工作温度范围
存储温度范围
压力范围
工作压力范围
过压
爆破压力
T
a
T
st
–40
–40
–40
135
140
150
°
C
°
C
°
C
对于T <15分钟
3)
p
r
p
ov
p
berst
表压
表压
表压
4)
5)
6)
0 ... 25
5
10
0 ... 60
MBAR
p
r
p
r
电气规格
参数
符号
条件
分钟。
典型值。
马克斯。
单位
电源电压/电桥电阻
工作电源电压
总电桥电阻
温度COEF网络cient
大桥总阻力
输出信号@ V
DD
= 5 V
OFFSET
灵敏度
温度COEF网络cient
的灵敏度的
压力滞后
V
0
S
α
S
β
S
物理层
16)
V
DD
R
S
α
Rs
β
Rs
7)
1.0
8)
5.0
5.0
2.4
6
6.0
2.7
8
V
k
10 /K
10 /K
–6
2
–3
@ 25 °
C
@ 25 °
C
4.0
2.1
4
9)
@ 25 °
C
@ 25 °
C
@ 25 °
C
10)
13)
–25
0
25
mV
毫伏/条
10 /K
10 /K
% FS
–6
2
–3
看下表
–2.5
3
–0.1
–2.2
5
–1.9
8
0.1
15)
可选的温度检测二极管
正向二极管电压
温度COEF网络cient
正向二极管电压
V
F
TCV
F
@ 25 ° I
F
= 50 A
C,
@ 25 ° I
F
= 50 A
C,
17)
550
–2.4
600
–2.2
650
–2.0
mV
毫伏/ K
18)
长期稳定性(满量程输出正常FSON = 40毫伏)
偏移温度迟滞
抵消温度漂移周期
偏移量高的温度漂移
胶印长期稳定性
THV
0
tCDV
0
HTDV
0
LTSV
0
19)
19)
19)
19)
–1
–0.75
–0.75
–1.4
±0.6
±0.3
±0.3
±0.9
1
0.75
0.75
1.4
% FSON
% FSON
% FSON
% FSON
AS SEN PD
请仔细阅读注意事项和警告,并
重要注意事项在本文档的末尾。
第3页8
2009-08-03
压力传感器
C41系列
压力表压力传感器芯片
工作压力和订购代码
参数@ 25 °V
DD
= 5 V
C,
工作压力
4)
符号
p
r
TCV
0
TCV
0
L
S
+
典型值。
0.025
–8/±4/8
–4/±2/4
±1.0/±1.75
640/1000/1280
是的
AER 0.025 C41 / 1 G05
典型值。
0.060
–8/±4/8
–4/±2/4
±0.75/±1.5
450/700/833
是的
AER 0.060 C41 / 1 G05
单位
BAR
μV / VK
μV / VK
% FS
毫伏/条
温度COEF网络cient
11)
的偏置电压(脱胶)
[最小值/典型值/最大值]
非线性
14)
[典型值/最大值]
灵敏度
[最小值/典型值/最大值]
温度检测二极管存在
13)
产品类型
B58601G5010A001
订购代码
根据要求其他经营压力。
AS SEN PD
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重要注意事项在本文档的末尾。
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B58601G5010A002
2009-08-03
压力传感器
C41系列
压力表压力传感器芯片
符号和术语
1)
2)
3)
4)
5)
6)
7)
最大电源V
DD
这是允许的最大电压,其可被施加到压阻桥电路无损坏。
工作温度范围T
a
这是工作温度范围T
一,分
给T
A, MAX
。因为大多数传感器的参数取决于组装
象胶合,引线接合等的条件下,该模具具有在工作温度范围内由用户待测试
完全组装。设计验证和过程控制样品,装在AK传感器封装( AK2系列)
被测试过的T减小的测量温度范围内
MEAS ,分
给T
MEAS ,最大
.
储存温度范围T
st
如果压力传感器管芯被存储在温度范围T
ST ,分
给T
ST ,最大
不施加电压的电源,这
不会影响压力传感器管芯的性能。
工作压力范围P
r
在操作压力范围为0为p
R,最大
该压力传感器芯片的输出特性是如本说明书中所定义。
在压力p
OV
在压力范围为0为p个压力循环
ov
不影响压力传感器管芯的性能。
爆压力p
berst
到突发压力p
berst
传感器芯片的膜片不会被机械地损坏。这个参数是
在室温下,通过增加施加压力,直到测试的安装在铝插座样品
隔膜被破坏。
工作电源V
DD
压力传感器参数被定义为V的电源电压
DD
= 5 V.在操作电源
电压范围V
DD , MIN
到V
DD , MAX
的比例参数R( V
DD
)像灵敏度,偏移电压和温度
的偏移电压的系数被定义为:
r
(
V
DD
)
=
r(下5 [V] )
8)
V
DD
5[ V ]
大桥总电阻R
S
总的电桥电阻的焊盘X1和X3 , X4之间定义的(请参见本数据手册中的尺寸图)
封闭压阻桥接电路。总的电桥电阻是在良好的近似的输出阻抗
压阻桥接电路。此参数是晶圆(晶圆级测试测量)的全面测试。
电阻温度系数
α
Rs
β
Rs
:
电阻的温度系数是测试样品上的设计验证,其安装在传感器的AK
包( AK2系列)通过降低温度范围T
MEAS
,
= -20 °至T
MEAS
,
最大
= 80 °和T
R
= 25 °
C
C
C.
的一阶和二阶的温度系数被定义为具有多项式:
9)
R
S
(T)
=
R
S
(T
=
25
°
C )
1
Rs
T
25
°
C
Rs
T
25
°
C
(
)
(
)
2
10)
11)
系数
α
Rs
β
Rs
使用R的三个测量点计算
s
(T )在T
MEAS ,分
, T
R
和T
MEAS ,最大
.
偏置电压V
0
偏置电压V
0
是输出电压V
OUT
(p值= 0巴表压),在零表压和一桥电压功率
电源V
DD
= 5 V ,该参数是在晶圆(晶圆级测试测量)完全测试。
但是应当注意的是,该参数可通过组件的影响。
偏移电压TCV温度系数
0
偏移电压的温度系数被定义为一电桥电压电源V
DD
= 5 V.
这些参数在很大程度上取决于装配条件像胶,引线键合等。
偏移电压的温度系数进行测试,以便对样本设计验证,安装在换能器的AK
包( AK2系列)在一个温度范围T
= -40 °至T
最大
= 135 °
C
C.
因此TCV
0+
和TCV
0-
被定义为在测量温度范围是:
TCVO
+
=
V
o
(T
最大
)
V
o
(25
°
C)
T
最大
25
°
C
TCVO
=
V
o
(T
)
V
o
(25
°
C)
T
25
°
C
AS SEN PD
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第5页8
2009-08-03
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