气流传感器
微桥空气质量流量
AWM系列
AWM 1000/2000/3000系列
AWM 40000系列
AWM 5000系列
特点
硅的国家的最先进的
微
敏感的低流量 - 0.1 SCCM来
20 SLPM
为适应更高流量的使用
（参见应用笔记2 128页）
快速响应时间
模拟输出
低功耗
手术
微桥空气质量流量传感器OP-
erates传热的理论。块
气流穿过的表面定向
感测元件。输出电压弗吉尼亚州
里斯正比于质量空气或其它
通过入口和出口的气体流
包的。特别设计的
住房精确指挥和控制
横跨组织的气流
感测元件。机械设计
封装允许其被容易地安装到
印刷电路板。
微桥空气质量流量传感器
基于先进独特的硅芯片
显微技术。它由
薄膜，热隔离桥
含加热器和temper-结构
ATURE传感元件。桥struc-
TURE提供了一个敏感和快速重
sponse到空气或其它气体的过流
该芯片。双传感元件位置
tioned在中央加热的两侧
元件指示流动方向以及
流速。激光微调厚膜和薄
薄膜电阻器提供一致的接口
变性从一个设备到下一个。
重复响应
激光微调互换性
准确，符合成本效益的流量检测
在线印刷电路板端子
标准0.100 （ 2,54mm ）安装
中心
低压精确检测
0.001 4.0
2
O（ 0.003至10毫巴）
微桥空气质量流量传感器我们 -
西文温度敏感电阻器DE-
氮化硅薄膜内假定。
它们悬浮在两种形式
桥梁在中SIL-蚀刻腔
图标，如下图所示。该芯片位于
精确尺寸的气流通道
是提供一种可重复的流动响应。
为高效隔热
加热和感应电阻是达到
通过蚀刻下方的空腔空间
流量传感器的桥梁。小尺寸和
微桥质量的热隔离
气流传感器分别负责EX-
tremely响应速度快，灵敏度高
以流动。
双惠斯通电桥控制气流
测量 - One提供关闭
循环加热器控制，另一个包含
双传感元件。加热器电路
由于环境temper-最小化转变
通过提供一个输出ATURE变化
质量流量成比例。该电路
保持加热器温度，在一个反面
常数差（ 160℃）以上的环境
这是由一个感测到的空气温度
热沉在芯片上电阻器。该比 -
该设备corre-度量电压输出
sponds到差动电压跨
惠斯登电桥电路。
应用
阻尼器控制加热，通风，
和空调系统
气体分析仪
低真空控制
过程控制
医疗呼吸器和呼吸机
制氧机
检漏设备
排气罩
麻醉控制
燃气计量
气相色谱法
通告
灰尘污染可能在
一些应用中，其影响
可以最小化。按照设计，防尘分区
克莱斯可存在于空气
流将流过平行于芯片
在芯片表面上。此外， micros-
tructure芯片产生thermophoret-
集成电路的效果，这排斥微米尺寸
尘埃粒子远离桥
结构。
灰尘坚持芯片边缘和
通道表面可以防止US-
荷兰国际集团一个简单的过滤器。一次性五
串联使用微米的过滤器上的向上
气流装置的流侧会
提供最适当的应用程序过滤
阳离子。对于可能的过滤器sourc-列表
ES ，请参阅筛选器制造商，第126页。
小心
AWM系列微桥空气质量流量
传感器
不
设计感
液体流，并将由液体被损坏
流过该传感器。
产品损坏
64
霍尼韦尔微动开关传感与控制1-800-537-6945美国
1-815-235-6847国际1-800-737-3360加拿大
AWM43000系列
质量流量传感器，气体
特点
·范围0 ... 1000 SCCM
1
和0 ... 6标准升每分钟
2
·实际质量流量传感
· 1 ... 5 V输出
·歧管安装/ O形圈密封
服务
要只干气用
该AWM系列在设计上不液
流，并将由液体流过而损坏
传感器
特定网络阳离子
最大额定值
电源电压
3
8 15 V
（典型值） 。 10 ± 0.01 V
电气连接
P1
P2
耗电量
AWM43300V
AWM43600V
输出负载
NPN （沉没）
PNP （源）
温度限制
操作
存储
机械冲击
60毫瓦
75毫瓦
10毫安
20毫安
1 2 3
-25 85°C
-40 90℃
100克（5滴， 6轴）
引脚1 ： V
OUT
2脚： + V
s
3脚： GND
注意：
1
SCCM表示每分钟标准立方厘米， 1000 SCCM = 1 SLPM
2
标准升每分钟表示每分钟，这是引用到0 ℃， 1巴， 50％RH的标准条件下的流量测量标准升。
3
输出电压与供电电压成正比
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AWM43000系列
质量流量传感器，气体
流量传感器特性
4
V
S
= 10 ± 0.01 V，T
A
= 25°C
产品型号
AWM43300V
AWM43600V
流量范围
（满刻度）
SCCM 1000
1
6 SLPM
2
马克斯。流
CH一克é
5
5.0升/秒
5.0升/秒
输出电压
@修剪点
5 ± 0.15 V @ SCCM 1000
1
5 ± 0.15 V @ 6 SLPM
2
性能特点
V
S
= 10 ± 0.01 V，T
A
= 25°C
特征
零点偏移
重复性和迟滞
（联合）
比例调节错误
3
温度影响
6
OFFSET
跨度
-25 85°C
-25到25℃
AWM43300V
AWM43600V
2585 ℃下
AWM43300V
AWM43600V
响应时间
共模压力
AWM43300V
AWM43600V
AWM43300V
AWM43600V
分钟。
0.95
典型值。
1.0
马克斯。
1.05
±0.5
±1.0
±0.3
单位
V
％读数
±0.025
-5.0
-6.0
V
％读数
6.0
6.0
1.0
3.0
150
P SI
25
ms
注意事项：
1
SCCM表示每分钟标准立方厘米， 1000 SCCM = 1 SLPM
2
标准升每分钟表示每分钟，这是引用到0 ℃， 1巴， 50％RH的标准条件下的流量测量标准升。
3
输出电压与供电电压成正比
4
5微米过滤器被推荐用于所有设备。
5
流变化的最大允许速度，以防止损坏。
6
移相至25℃ 。
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AWM43000系列
质量流量传感器，气体
输出流量VS
互换性
V
S
= 10 ± 0.01 V，T
A
= 25°C
输出曲线
气体校正因子
7
气体类型
氦（He ）
氢（H
2
)
氩气（Ar ）
氮（N
2
)
氧（O
2
)
艾
一氧化氮（ NO）的
一氧化碳（CO）的
甲烷（CH
4
)
氨（NH
3
)
一氧化二氮（N
2
O)
二氧化氮（NO
2
)
二氧化碳（CO
2
)
校正因子（大约）
0.5
8
0.7
8,9
0.95
1.0
1.0
1.0
1.0
1.0
1.1
1.1
1.35
1.35
1.35
注意事项：
7
气体校正因子是参照氮（N
2
）为标定气体类型。提供校正因子近似气
作为唯一的指导方针。单独的气体种类可在极端温度下和不同的流量进行不同的。
8
当感测氢（H
2
）或氦（He） ，可能有必要使用增大的电源电压的质量流量传感器提供动力：
氢的典型。 12 V ，氦典型。 15 V
9
氢（H
2
）流量测量需要使用特殊的传感器。这些器件检测时提供正常运行
氢气流，并在订单号的末尾标有"H" 。
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AWM43000系列
质量流量传感器，气体
外形绘图
30.5
(1.20)
27.7
(1.09)
14.0
(0.55)
32.2
(1.19)
7.62
(0.30)
3 2 1
0.64
(0.025)
34.0
(1.34)
3.0
(0.12)
10.9 8.4
(0.43) (0.33)
3.0
( 0.12)
3.51
( 0.138)
2.54
(0.10)
7.9
(0.31)
12.7
(0.50)
质量：
约。 11克
2.5
(0.10)
17.3
(0.68)
4.8
(0.19)
6.2
( 0.24)
P1
1 2 3
P2
2.0
( 0.08)
引脚1 ： V
OUT
2脚： + V
s
3脚： GND
尺寸mm （英寸）
订购信息
流量范围
1 0 0 0 SCCM
6 S LP M
干气
AWM43300V
AWM43600V
氢气
9
AWM43300VH
---
注意：
9
氢（H
2
）流量测量需要使用特殊的传感器。这些器件检测时提供正常运行
氢气流，并在订单号的末尾标有"H" 。
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