【AWM3000系列质量流量传感器，气体特点·范围0 ... 30 0 ... ± 1000 SCCM】,IC型号AWM3150V,AWM3150V PDF资料,AWM3150V经销商,ic,电子元器件-51电子网

AWM3000系列

质量流量传感器，气体

特点

·范围0 ... 30 0 ... ± 1000 SCCM

或0 ... 0.5至0 ... 2 "H

O（ 0 1.25 0 。5毫巴）

· 1 ... 5 V ， 1 ... 3.75 V， 4 ... 20 mA的输出

·实际质量流量传感

·低差压传感器

服务

要只干气用

该AWM系列在设计上不液

流，并将由液体流过而损坏

传感器

特定网络阳离子

最大额定值

电源电压

8 15 V

（典型值）。 10 ± 0.01 V

电气连接

耗电量

AWM3303V

AWM3...CR

所有其他

温度限制

操作

存储

机械冲击

（典型值）。 100毫瓦

（典型值）。 50毫瓦

（典型值）。为50mW ，最大60毫瓦

1 2 3

-25 85°C

-40 90℃

100克（5滴， 6轴）

引脚1 ： V

OUT

2脚： + V

3脚： GND

注意：

标准立方厘米表示每分钟标准立方厘米

输出电压与供电电压成正比

June 582分之2006

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AWM3000系列

质量流量传感器，气体

流量传感器特性

= 10 ± 0.01 V，T

= 25°C

产品型号

AWM3100V

AWM3150V

AWM3200V

AWM3300V

AWM3303V

AWM3200CR

AWM3201CR

流量范围

（满刻度）

2 0 0 SCCM

3 0 SCCM

压力

范围

马克斯。流量变化

5.0升/秒

输出电压

@修剪点

5 V @ 2 0 0 SCCM

3.4 V @ 25 SCCM

5 V @ 2 "H

5 V @ 1 0 0 0 SCCM

5 ±0.15 V

20 ±1毫安， 2 "H

20 ±1毫安， 0.5 "H

2 "H

1 0 0 0 SCCM

± 1000 SCCM

2 "H

0.5 "H

5.0升/秒

性能特点

电压输出版本（V

= 10 ± 0.01 V，T

= 25°C)

特征

零点偏移

AWM3100V

AWM3150V

AWM3200V

AWM3300V

AWM3303V

重复性和迟滞

（联合）

温度影响

OFFSET

-25 85°C

AWM3100V ， AWM3200V

所有其他

AWM3150V

AWM3303V

所有其他

跨度

-25到25℃

AWM3100V

AWM3150V

AWM3200V

AWM33...

2585 ℃下

AWM3100V

AWM3150V

AWM3200V

AWM33...

响应时间

共模压力

分钟。

0.95

0.90

0.92

0.90

2.95

典型值。

1.0

3.0

马克斯。

1.05

1.10

1.08

1.10

3.05

±0.5

±1.0

单位

％读数

±100

±50

±25

-4.0

±5.0

24.0

-5.0

4.0

±5.0

-24.0

5.0

1.0

3.0

P SI

％读数

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AWM3000系列

质量流量传感器，气体

性能特点

电流输出版本（V

= 10 ± 0.01 V，T

= 25°C)

特征

零点偏移

重复性和滞后（组合）

非线性

温度影响

OFFSET

跨度

-25 85°C

-25到25℃

2585 ℃下

AWM3200CR

AWM3201CR

AWM3200CR

AWM3201CR

响应时间

外部输出负载

AWM3200CR

AWM3201CR

分钟。

3.7

3.6

典型值。

4.0

马克斯。

4.3

4.4

±0.5

±2.0

-31

-32

单位

％读数

欧姆

100至300

气体校正因子

气体类型

氦（He ）

氢（H

)

氩气（Ar ）

氮（N

)

氧（O

)

艾

一氧化氮（ NO）的

一氧化碳（CO）的

甲烷（CH

)

氨（NH

)

一氧化二氮（N

二氧化氮（NO

)

二氧化碳（CO

)

校正因子（大约）

0.5

0.7

10,11

0.95

1.0

1.1

1.35

注意事项：

5微米过滤器被推荐用于所有设备。

流变化的最大允许速度，以防止损坏。

温度变化在差压装置大多是由于气体的温度过高的密度变化。

移相至25℃ 。

最初的热身时间，信号调理电路是最长1分钟。

从V输出负载连接

OUT

至GND （电流阱）。

气体校正因子是参照氮（N

）为标定气体类型。提供校正因子近似气

作为唯一的指导方针。单独的气体种类可在极端温度下和不同的流量进行不同的。

当感测氢（H

）或氦（He），可能有必要使用增大的电源电压的质量流量传感器提供动力：

氢的典型。 12 V ，氦典型。 15 V

氢（H

）流量测量需要使用特殊的传感器。这些器件检测时提供正常运行

氢气流，并在订单号的末尾标有"H" 。

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质量流量传感器，气体

输出流量VS互换性

= 10 ± 0.01 V，T

= 25°C

输出曲线

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输出流量VS互换性

= 10 ± 0.01 V，T

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