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AWM3000系列
质量流量传感器,气体
特点
·范围0 ... 30 0 ... ± 1000 SCCM
1
或0 ... 0.5至0 ... 2 "H
2
O( 0 1.25 0 。5毫巴)
· 1 ... 5 V , 1 ... 3.75 V, 4 ... 20 mA的输出
·实际质量流量传感
·低差压传感器
服务
要只干气用
该AWM系列在设计上不液
流,并将由液体流过而损坏
传感器
特定网络阳离子
最大额定值
电源电压
2
8 15 V
(典型值) 。 10 ± 0.01 V
电气连接
P1
P2
耗电量
AWM3303V
AWM3...CR
所有其他
温度限制
操作
存储
机械冲击
(典型值) 。 100毫瓦
(典型值) 。 50毫瓦
(典型值) 。为50mW ,最大60毫瓦
1 2 3
-25 85°C
-40 90℃
100克(5滴, 6轴)
引脚1 : V
OUT
2脚: + V
s
3脚: GND
注意:
1
标准立方厘米表示每分钟标准立方厘米
2
输出电压与供电电压成正比
June 582分之2006
1/6
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AWM3000系列
质量流量传感器,气体
流量传感器特性
3
V
S
= 10 ± 0.01 V,T
A
= 25°C
产品型号
AWM3100V
AWM3150V
AWM3200V
AWM3300V
AWM3303V
AWM3200CR
AWM3201CR
流量范围
(满刻度)
2 0 0 SCCM
3 0 SCCM
压力
范围
马克斯。流量变化
4
5.0升/秒
5.0升/秒
输出电压
@修剪点
5 V @ 2 0 0 SCCM
3.4 V @ 25 SCCM
5 V @ 2 "H
2
O
5 V @ 1 0 0 0 SCCM
5 ±0.15 V
20 ±1毫安, 2 "H
2
O
20 ±1毫安, 0.5 "H
2
O
2 "H
2
O
1 0 0 0 SCCM
± 1000 SCCM
2 "H
2
O
0.5 "H
2
O
5.0升/秒
5.0升/秒
5.0升/秒
5.0升/秒
5.0升/秒
性能特点
电压输出版本(V
S
= 10 ± 0.01 V,T
A
= 25°C)
特征
零点偏移
AWM3100V
AWM3150V
AWM3200V
AWM3300V
AWM3303V
重复性和迟滞
(联合)
温度影响
5
OFFSET
-25 85°C
6
AWM3100V , AWM3200V
所有其他
AWM3150V
AWM3303V
所有其他
跨度
-25到25℃
AWM3100V
AWM3150V
AWM3200V
AWM33...
2585 ℃下
AWM3100V
AWM3150V
AWM3200V
AWM33...
响应时间
7
共模压力
分钟。
0.95
0.90
0.92
0.90
2.95
典型值。
1.0
1.0
1.0
1.0
3.0
马克斯。
1.05
1.10
1.08
1.10
3.05
±0.5
±1.0
单位
V
%读数
±100
±50
±25
-4.0
±5.0
24.0
5
-5.0
4.0
±5.0
-24.0
5
5.0
1.0
3.0
25
ms
P SI
%读数
mV
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AWM3000系列
质量流量传感器,气体
性能特点
电流输出版本(V
S
= 10 ± 0.01 V,T
A
= 25°C)
特征
零点偏移
重复性和滞后(组合)
非线性
温度影响
5
OFFSET
跨度
-25 85°C
6
-25到25℃
2585 ℃下
AWM3200CR
AWM3201CR
AWM3200CR
AWM3201CR
响应时间
7
外部输出负载
8
AWM3200CR
AWM3201CR
分钟。
3.7
3.6
典型值。
4.0
4.0
5
马克斯。
4.3
4.4
±0.5
±2.0
24
5
32
5
-31
5
-32
5
60
单位
mA
%读数
mA
%读数
ms
欧姆
100至300
气体校正因子
9
气体类型
氦(He )
氢(H
2
)
氩气(Ar )
氮(N
2
)
氧(O
2
)
一氧化氮( NO)的
一氧化碳(CO)的
甲烷(CH
4
)
氨(NH
3
)
一氧化二氮(N
2
O)
二氧化氮(NO
2
)
二氧化碳(CO
2
)
校正因子(大约)
0.5
10
0.7
10,11
0.95
1.0
1.0
1.0
1.0
1.0
1.1
1.1
1.35
1.35
1.35
注意事项:
3
5微米过滤器被推荐用于所有设备。
4
流变化的最大允许速度,以防止损坏。
5
温度变化在差压装置大多是由于气体的温度过高的密度变化。
6
移相至25℃ 。
7
最初的热身时间,信号调理电路是最长1分钟。
8
从V输出负载连接
OUT
至GND (电流阱) 。
9
气体校正因子是参照氮(N
2
)为标定气体类型。提供校正因子近似气
作为唯一的指导方针。单独的气体种类可在极端温度下和不同的流量进行不同的。
10
当感测氢(H
2
)或氦(He) ,可能有必要使用增大的电源电压的质量流量传感器提供动力:
氢的典型。 12 V ,氦典型。 15 V
11
氢(H
2
)流量测量需要使用特殊的传感器。这些器件检测时提供正常运行
氢气流,并在订单号的末尾标有"H" 。
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AWM3000系列
质量流量传感器,气体
输出流量VS互换性
V
S
= 10 ± 0.01 V,T
A
= 25°C
13
12
13
输出曲线
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AWM3000系列
质量流量传感器,气体
输出流量VS互换性
V
S
= 10 ± 0.01 V,T
A
= 25°C
13
13
12
13
输出曲线
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