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旁热式Snoz气敏元件

发布时间:2014/12/5 21:35:34 访问次数:2269

   旁热式Snoz气敏元件  旁热式K2018-01L气敏元件实际上是一种厚膜型元件,其结构图如图7-4所示,在一根内经为0.8ym外径为1.2弘m的薄壁陶瓷管的两端设置一对金电极及铂一铱合金丝引出线,然后在瓷管的外壁涂覆由基础材料配制的浆料层,经烧结后形成厚膜气体敏感层厚度。在陶瓷管内放人一根螺旋形高阻金属丝【例如Ni-Cr丝)作为加热器(加热器电阻值一般为30~40C1)。这种管芯的测量电极与加热器分离,避免了相互干扰,而且元件的热容量较大,减少了环境温度变化对敏感元件特性的影响。其可靠性和使用寿命比直热式气敏元件高。目前市场所售的Sn02系列气敏元件大多为这种结构形式,图7-4所示是旁热式Sn02气敏元件的结构与符号。

       

    图7-4旁热式气敏元件结构与符号

   厚膜型Sn02气敏元件厚膜型Sn02气敏元件是用丝网印刷技术将浆料印刷而成的,其机械强度和一致性都比较好,而且与厚膜混合的集成电路工艺能较好相容,可将气敏元件与阻容元件制作在同一块基片上,利用微型组装技术与半导体集成电路芯片组装在一起,构成具有一定功能的器件。它一般由基片、加热器和气体敏感层三个主要部分组成,其结构如图7-5所示。其气敏特性如图7-6所示。

   旁热式Snoz气敏元件  旁热式K2018-01L气敏元件实际上是一种厚膜型元件,其结构图如图7-4所示,在一根内经为0.8ym外径为1.2弘m的薄壁陶瓷管的两端设置一对金电极及铂一铱合金丝引出线,然后在瓷管的外壁涂覆由基础材料配制的浆料层,经烧结后形成厚膜气体敏感层厚度。在陶瓷管内放人一根螺旋形高阻金属丝【例如Ni-Cr丝)作为加热器(加热器电阻值一般为30~40C1)。这种管芯的测量电极与加热器分离,避免了相互干扰,而且元件的热容量较大,减少了环境温度变化对敏感元件特性的影响。其可靠性和使用寿命比直热式气敏元件高。目前市场所售的Sn02系列气敏元件大多为这种结构形式,图7-4所示是旁热式Sn02气敏元件的结构与符号。

       

    图7-4旁热式气敏元件结构与符号

   厚膜型Sn02气敏元件厚膜型Sn02气敏元件是用丝网印刷技术将浆料印刷而成的,其机械强度和一致性都比较好,而且与厚膜混合的集成电路工艺能较好相容,可将气敏元件与阻容元件制作在同一块基片上,利用微型组装技术与半导体集成电路芯片组装在一起,构成具有一定功能的器件。它一般由基片、加热器和气体敏感层三个主要部分组成,其结构如图7-5所示。其气敏特性如图7-6所示。

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