磁敏电阻的结构
发布时间:2014/11/6 21:12:08 访问次数:1440
磁阻效应除了与材料有关外,还与磁敏电阻的形状有关。考虑形状影响因素时,电阻率的相对变化为
式中,/、6分别为电阻的长和宽; ÷是形状效应系数。
图6-14所示的是3种不同形状的半导体内电流线的分布,第1行为不加磁场的情况, ADUM1301ARWZ第2行为加磁场的情况。不加磁场时,电流密度与外加电场方向致,即与样品边缘平行、与电极垂直。加磁场后,由于产生横向电场,使电流密度方向偏离合成电场而形成一个角度。可见,在磁场作用下,电流流过的路程Z增长,使样品电阻R增大。然而,Z的增加与样品的形状有关,对于/>b的长条形样品,Z增加不明显;但对于/<b的扁条形样品,Z增加较明显,因而电阻增加较多;特别是圆盘形样品,从圆盘中心加以辐射形外电场时,几何磁阻效应特别明显,即在恒定磁感应强度下.磁敏电阻的长度与宽度的比越小,电阻率的相对变化越大。长方形磁阻器件只有在Z<6的条件下,才表现出较高的灵敏度。在实际制作
磁阻器件时,需在/>b的长方形磁阻材料上制作许多平行等间距的金属条(即短路栅格),短路霍尔电势。科尔比诺圆盘形磁阻器件的中心和边缘各有一个电极,因为圆盘形的磁阻最大,故大多数的磁阻元件做成圆盘结构。
磁阻效应除了与材料有关外,还与磁敏电阻的形状有关。考虑形状影响因素时,电阻率的相对变化为
式中,/、6分别为电阻的长和宽; ÷是形状效应系数。
图6-14所示的是3种不同形状的半导体内电流线的分布,第1行为不加磁场的情况, ADUM1301ARWZ第2行为加磁场的情况。不加磁场时,电流密度与外加电场方向致,即与样品边缘平行、与电极垂直。加磁场后,由于产生横向电场,使电流密度方向偏离合成电场而形成一个角度。可见,在磁场作用下,电流流过的路程Z增长,使样品电阻R增大。然而,Z的增加与样品的形状有关,对于/>b的长条形样品,Z增加不明显;但对于/<b的扁条形样品,Z增加较明显,因而电阻增加较多;特别是圆盘形样品,从圆盘中心加以辐射形外电场时,几何磁阻效应特别明显,即在恒定磁感应强度下.磁敏电阻的长度与宽度的比越小,电阻率的相对变化越大。长方形磁阻器件只有在Z<6的条件下,才表现出较高的灵敏度。在实际制作
磁阻器件时,需在/>b的长方形磁阻材料上制作许多平行等间距的金属条(即短路栅格),短路霍尔电势。科尔比诺圆盘形磁阻器件的中心和边缘各有一个电极,因为圆盘形的磁阻最大,故大多数的磁阻元件做成圆盘结构。
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