但是电荷放大器体积大、成本高，而且电缆振动和弯曲时会有电噪声影响，所以NB100LVEP17MNG近年来内置电路压电(Integrated Circuits Piezoelectric，ICP)加速度传感器得到迅速发展。ICP传感器内部虽然集成了电荷放大电路，但是体积比传统的压电传感器增加很少。这种传感器需要恒流源（通常为4mA）激励。输出信号的电压就与振动的加速度成正比关系。激励和输出信号用一根同轴电缆连接就可以，最好采用低噪声电缆。ICP传感器的灵敏度用输出电压与所测量的加速度之比表示，单位是V／(m]s2)，即伏特每米秒方。工程上也常用mV/g为单位，“g”就是大家熟知的重力加速度，所以两种单位的换算也很简单。

   ICP传感器通常有很高的直流分量，使振动信号的中心倔离零均值线。直流分量对振动测试没有意义，可以在软件中消除，也可以在一些高档数据采集卡中消除。例如，NI-4472数据采集卡设置为交流耦合( Coupling-AC)时，不仅可以为ICP传感器提供4mA电流激励，还可以消除ICP传感器的直流分量。

   压电加速度传感器在工业现场安装方式主要是用钢制双头螺栓或尼龙螺栓，这两种方式安装牢固、拆卸方便、频率特性好，后者还可以实现传感器与设备绝缘；压电加速度传感器在实验室应用也常采用磁座安装，可以随时移动，但是只适用于1～2k Hz频率振动的测试；压电加速度传感器用于一些手持仪器时可以用按住使用，仅适用于lk Hz以下的频率。