目前精度最高、稳定性最好的压力传感器是水晶谐振式压力传感器。其精度已超过0.01%fs，温度稳定性优于10-6/时间稳定性高于10-6/年。近年来，随着传感器技术的发展，分析研究的结果表明，硅和水晶都是具有优良弹性的材料，它们的温度系数也大体相同，因此，研究人员已经利用硅来研制谐振式压力感器，并已有产品问世。 由于硅不具有压电性，因此，不如水晶那样容易实现谐 振的激励接收，只有解决硅谐 振激励和接收方法，才可以研制出硅谐 振式压力传感器。目前解决的方法有两种，其一是静电激励法，即利用电磁激励或热电激励；其二是压电激励法，即利用压电薄膜、铁电薄膜和压电陶瓷片激励。 硅谐振式压力传感器具有如下特点： 1、把膜片（起应力集中作用）和谐 振器制作在同一块单晶硅上，因此，不会在它的连接处产生迟滞、蠕变、漂移，可以获得稳定性好、重复性佳的压力传感器； 2、它的体积小、重量轻、动态特性好、热容量小，可以实现大批量生产和降低成本； 3、由于硅谐振器置于真空室内，所以不受被测流体密度的影响，机械q值非常高（高达5万），从而使传感器的分辨率很高。其工作原理是利用硅谐 振器与选频放大器构成一个正反馈振荡系统，当此系统受到压力作用时，其固有的振荡频率发生变化，因此，根据其频率的变化就可以测量出压力的大小。 硅谐振式压力传感器的结构基本有两种，即一是平面型硅谐 振式压力传感器。它是利用各向异性腐蚀技术在硅片上加工一谐振膜片，然后在膜上制作激励器（扩散电阻器）。当交变的电流在激励器中流过时，产生热应变，激励谐振膜片，利用另一个扩散电阻器检测其谐 振频率的变化。还有一种谐 振阻器检测其谐振频率的变化。还有一种谐 振膜片式压力传感器，只不过是利用压电反馈系统维持膜片振动，代替电磁激励器而已，其它的部分基本相同。二是立体型谐 振式膜片压力传感器。它是在单晶硅膜上设置固定电极，而在其上方再加工可动电极和谐 振器，硅膜和谐振器分别利用各向异性腐蚀技术和外延技术制作。当压力作用到膜片上时，膜片发生弯曲形变，通过支柱给谐振器施加了轴向力，从而使其谐振频率发生变化。在这种情况下，激励谐振器的方法有两种，一是在电极间施加静电方法；二是利用激光产生热应变方法。 硅谐振式压力传感器是一种新型的结构型压力传感器，它比扩散硅式之类的物性型压力传感器具有更高的分辨率、灵活度和重复性。今后，随着硅微机械加工技术和外延技术的发展，将会使硅谐振式压力传感器的性能得到更大的提高，其应用领域也将会更加拓宽。