半水清洗工艺流OV6690程如下：
    1．工艺参数
    常用溶剂：萜烯EC-70/EC-7R或Axarel 38/32;
    溶剂喷淋：流速为220～300L/min，压力为0.24～0.36MPa，温度为200C～220C，N2保护；
    一次水漂洗：流速为116～160L/min，压力为0.12～0.24MPa，温度为65 0C；
    二次水漂洗：流速为lOL/min，压力为0.05～O.lMPa，温度为350C～400C，水净度≥3MQ。

           
    2．半水类清洗工艺特点
    清洗能力比较强，能清洗石蜡、黄油、松香树脂等重污垢污染物，特别是对工件既有
    极性又有非极性污染物的双重污染，具有较好的清洗能力；
    清洗和漂洗使用两种不同性质的介质，清洗剂可多次使用。
    3．半水类清洗工艺缺点
    由于半水系清洗最后使用纯水漂洗，故其不足之处同纯水清洗工艺。