磁栅尺由磁栅尺、磁头检测N330SH26电路组成，利用电磁特性和录磁原理对位移进行测量。磁栅尺是在非导磁性标尺基础上采用化学涂敷或电镀工艺在非磁性标尺上沉积一层磁性膜（一般10～20ym），在磁性膜上录制代表一定长度、具有一定波长的方波或正弦波磁轨迹信号。磁头在磁栅尺上移动读取磁信号，并转变成电信号输入控制电路，最终控制AC伺服电机的运行，通常磁栅尺直接安装在X,Y，导轨上，它的工作原理与安装示意如图11.16和图11.17所示。
    磁栅尺的优点是制造简单，安装方便，稳定性高，量程范围大。其测量精度高达1～5pLm，一般高精度自动贴片机采用此装置；贴片重复精度一般为0.02mm。

              
    光栅尺
    该系统同磁栅尺系统相类似，也是由光栅尺、光栅读数头与检测电路组成的。光栅尺在透明玻璃或金属镜面上真空沉积镀膜，利用光刻技术制作均匀密集的条纹（每毫米100～300条条纹），条纹距离相等且平行，光栅读数头由指示光栅、光源、透镜及光敏器件组成。指示光栅有相同密度的条纹。光栅尺根据物理学的莫尔条纹形成原理进行位移测量，测量精度高，一般为0.1～1Um。光栅尺在高精度贴片机中应用，其定位精度比磁栅尺还要高1～2个数量级。
    西门子贴片机最早采用光栅尺-AC伺服电动机系统，但装有光栅尺的贴片机对环境要求比较高，特别是需要防尘，尘埃落在光尺上将会引起贴片机出故障。
    总之，上述三种测量方法均能获得很高的运动定位精度，但仅能对单轴向运动位置的偏差进行检测，而对导轨的变形、弯曲等因素造成的正交或旋转误差却无能为力。例如，图11.11中最新的贴片机在X, y导轨土装有冷却系统，可以有效地防止导轨的热变形。