(1)去脂溶剂蒸汽清洗工艺。
    这是较早采用的一种清洗工艺，具体C3225X5R1C106M方法是先将有机溶剂加热至沸点，产生高温有机溶剂蒸汽，然后将SMA敖入清洗机有机溶剂高温蒸汽区内，其蒸汽遇到温度较低的工件表面形成露珠，释放出汽相潜热，形成的液态露珠溶剂与表面污染物发生物理或化学，溶解掉残留污染物，含有污染物的液滴离开SMA表面并带走污染物，最后用通过蒸汽冷凝回收回来的洁净溶剂对工件进行喷淋，用机械力冲刷掉污染物。喷淋后工件仍在蒸汽区内，当表面温度达到蒸汽温度时，表面不再出现热交换，工件已洁净并干燥。此时取出工件，达到清洗的目的。此清洗工艺适合在污染不严重而洁净度要求较高的情况下使用，批量式溶剂
蒸汽清洗设备的结构如图3-13所示。工艺过程：加热有机溶剂一放入SMA一汽相洗一喷淋一干燥一取出SMA。

    (2)沸点超声清洗工艺。
    此工艺是在去脂溶剂蒸汽清洗工艺的基础上发展起来的，不同的是多了一套超声波发生装置。其工艺过程是将被清洗的SMA浸入装有去脂溶剂的超声槽中，将溶剂加热至沸点后，启动超声波发生器，发出的超声波能量经换能器转化为机械振动，清洗剂在机械振动作用下产生很强的冲击力，使分子间的物理键断裂，以清除SMA上的污染物。SMA经超声波高频振荡作用后，再用溶剂喷淋冲刷污染物，最后干燥并取出SMA，达到清洗目的。此工艺清洁效果好，适用于清洗污严重的SMA。但超声波的高频振荡波会透过封装材料进入器件的内部而对晶体管或IC内部芯片焊点造成破坏，对于航天航空、军事领域及生命保障类重要电子产品不宜使用这种清洗工艺。工艺过程：加热有机溶剂一SMA浸入溶剂一超声波清洗一喷淋一干燥一取出SMA。
    (3)连续式溶剂清洗工艺。
    连续式溶剂清洗工艺原理与去脂溶剂蒸汽清洗工艺相同。不同的是，整个过程是在清洗设备中连续完成的，此工艺蒸汽损失较小，适合大批量生产，连续式溶剂清洗机的结构如图3-14所示。工艺过程：加热有机溶剂一放入SMA一汽相洗（或启动超声清洗）一多次喷淋一干燥一取出SMA。