光度式自动调焦系统
发布时间:2008/12/17 0:00:00 访问次数:448
原苏联在显微密度计上采用了一种光度式自动调焦系统，其工作原理如图所示。在光路中，有意识令正确调焦状态下光阑j1的两个像j1和j1分别位于两个接收光路的前置光阑j2和j3的前方和后方，由于此时两间距相等（△1＝△2），故从两个光电接收器输出等量的电流，它们的差放输出△i=0。如果物面处于离焦状态（如图中的ⅱ位置），则j1的两个像将与j2、j3的间距不相等，此时差放输出△i将不为零。利用这个电流信号作为伺月艮系统的驱动源就可以实现自动正确调焦。此种系统在离焦一个焦深值时，光强下降20％。为了提高调焦灵敏度，要求物镜的数值孔径较大，狭缝小。两路接收组件及前置放大器的性能参数是否一致对定位精度有很大影响。
图 光度式自动调焦系统原理图
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原苏联在显微密度计上采用了一种光度式自动调焦系统，其工作原理如图所示。在光路中，有意识令正确调焦状态下光阑j1的两个像j1和j1分别位于两个接收光路的前置光阑j2和j3的前方和后方，由于此时两间距相等（△1＝△2），故从两个光电接收器输出等量的电流，它们的差放输出△i=0。如果物面处于离焦状态（如图中的ⅱ位置），则j1的两个像将与j2、j3的间距不相等，此时差放输出△i将不为零。利用这个电流信号作为伺月艮系统的驱动源就可以实现自动正确调焦。此种系统在离焦一个焦深值时，光强下降20％。为了提高调焦灵敏度，要求物镜的数值孔径较大，狭缝小。两路接收组件及前置放大器的性能参数是否一致对定位精度有很大影响。
图 光度式自动调焦系统原理图
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