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水溶性干膜显影工艺常见问题及解决方法

发布时间:2008/9/4 0:00:00 访问次数:637


常见问题
原因
解决方法
过显影或显影不足
显影点位置不对。
调整显影速度、温度。
部份显影不足或过显影
消泡剂补充不足、
后段清洗问题。
补充消泡剂检查清洗段。
干膜质量差。
更换干膜。
储存时受到其它光源的影响。
改善储存条件。
曝光过度。
使用曝光尺检查曝光强度。
底片问题。
使用仪器检查底片的透光率。
真空不良引起底片与基板接触不好产生虚光。
检查设备真空及框架的气密性。
显影液失效。
更换显影液。
显影时间短，喷嘴堵塞，压力过低，显影液中泡沫过多。
检查设备，加消泡剂，测量显影点。
喷嘴堵塞。
清洗设备。
显影后干膜比平时脆
显影(或/及)烘干温度过高。
调整温度。
曝光过度。
调整曝光指数。
显影后线条上有毛边
过显影或曝光不足。
调整显影速度、温度和溶液浓度，使用曝光尺改善曝光时间。
显影段温度高造成过显影
显影段冷凝管堵塞或冷凝水供应不足，加热段失控。
检查和清洗设备，检查冷凝水供水系统。
显影后干膜的附着力不强
干膜存储条件不符合要求导致失效。
改善储存条件。
干膜储存时间过长失效。
改善储存条件。
环境湿度过大。
调整环境湿度。
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常见问题
原因
解决方法
过显影或显影不足
显影点位置不对。
调整显影速度、温度。
部份显影不足或过显影
消泡剂补充不足、
后段清洗问题。
补充消泡剂检查清洗段。
干膜质量差。
更换干膜。
储存时受到其它光源的影响。
改善储存条件。
曝光过度。
使用曝光尺检查曝光强度。
底片问题。
使用仪器检查底片的透光率。
真空不良引起底片与基板接触不好产生虚光。
检查设备真空及框架的气密性。
显影液失效。
更换显影液。
显影时间短，喷嘴堵塞，压力过低，显影液中泡沫过多。
检查设备，加消泡剂，测量显影点。
喷嘴堵塞。
清洗设备。
显影后干膜比平时脆
显影(或/及)烘干温度过高。
调整温度。
曝光过度。
调整曝光指数。
显影后线条上有毛边
过显影或曝光不足。
调整显影速度、温度和溶液浓度，使用曝光尺改善曝光时间。
显影段温度高造成过显影
显影段冷凝管堵塞或冷凝水供应不足，加热段失控。
检查和清洗设备，检查冷凝水供水系统。
显影后干膜的附着力不强
干膜存储条件不符合要求导致失效。
改善储存条件。
干膜储存时间过长失效。
改善储存条件。
环境湿度过大。
调整环境湿度。
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