安捷伦科技宣布推出基于windows的半导体器件分析仪，把电容对电压测量(cv)及电流对电压测量(iv)集成到一台仪器中，使半导体测试工程师节约了时间，提高了生产效率。安捷伦b1500a为参数测试和分析提供了完整的可单机、可扩展解决方案，能够处理65纳米(nm)及更小光刻工艺技术。模块化仪器采用10插槽配置，支持安捷伦新推出的easyexpert软件，提供了一个完整的器件检定方法。
　　
　　新的easyexpert软件提供了一个器件应用测试程序库，用户可以根据要求的测量类型进行选择。在进行几个简单的设置之后，如确认工艺类型，及选择适当的器件类型，软件便会选择相应的设置，进行测量，分析数据，以图形方式显示分析结果。通过使用基于windows的easyexpert软件，即使是新手也可以在b1500a开机几分钟后进行高效测量。
　　
　　当检定同时要求进行iv和cv测量时，工程师面临着额外的挑战。然而大多数仪器只是为一种测量设计的，这意味着必须透过两个接口连接两种不同的仪器来进行测量。必需把电容测量单元(cmu)的连接线正确连接到被测器件(dut)上，并精确补偿电缆长度，以保证精确的cv测量结果。此外，cmu采用bnc连接器，而电源测量单元(smu)采用三轴连接器。在这些不兼容的连接器之间切换可能会非常困难、麻烦，特别是与芯片探针台上搭配使用时。
　　
　　安捷伦b1500a提供了高度灵活性，帮助降低测试成本。其10插槽配置支持三种smu类型：高分辨率smu (hrsmu)、中等功率smu (mpsmu)和高功率smu (hpsmu)。安捷伦还提供一个多频率电容测量单元(mfcmu)，b1500a主机内接4.2a接地单元(gndu)。
　　
　　除把cv测量集成到器件分析仪主机外，mfcmu比类似的外部电容仪表提供更多的测量功能。它可以高达5 mhz的频率测量电容，提供了正负25v的dc偏置。此外，在同一部仪器中把mfcmu和smu结合起来，使得这些测量资源能够更加紧密地结合在一起。在结合使用b1500a smu cmu合一单元(scuu)时，mfcmu和smu组合支持正负100v的dc偏置的电容测量。
　　
　　b1500a scuu为把两部smu和mfcmu连接起来、并在这些不同测量资源之间切换提供了一种方便智能的方式，而不需使用单独的外部开关矩阵仪器。b1500a软件处理所有iv-cv测量切换、补偿和返回路径状态。为着手进行精确测量，用户只需选择iv或cv算法，然后按一个键即可。
　　
　　由本身具备的低电流、低电压和补偿电容测量功能，安捷伦b1500a可以用于半导体器件和新兴材料的各种检定需求，包括采用纳米工艺技术的器件。
　　
　　b1500a的自动传感和开关单元(asu)，提供了0.1 fa (100 attoamps)和0.5微伏的分辨率用以量测例如mosfet idoff和存储单元漏电检定等测量。工程师可以简便地通过asu所连接到的高分辨率smu和cmu时，作高精度iv和补偿cv测量之间的切换。
　　
　　安捷伦b1500a半导体器件分析仪现已接受订货。基本4-smu iv测量解决方案起价45,000美元，基本cv-iv测量解决方案起价58,000美元。