集成电路的版图设计规则
发布时间:2008/5/28 0:00:00 访问次数:782
ic设计与工艺制备之间的接口
制定目的:使芯片尺寸在尽可能小的前提下,避免线条宽度的偏差和不同层版套准偏差可能带来的问题,尽可能地提高电路制备的成品率
什么是设计规则?考虑器件在正常工作的条件下,根据实际工艺水平(包括光刻特性、刻蚀能力、对准容差等)和成品率要求,给出的一组同一工艺层及不同工艺层之间几何尺寸的限制,主要包括线宽、间距、覆盖、露头、凹口、面积等规则,分别给出它们的最小值,以防止掩膜图形的断裂、连接和一些不良物理效应的出现。
制定目的:使芯片尺寸在尽可能小的前提下,避免线条宽度的偏差和不同层版套准偏差可能带来的问题,尽可能地提高电路制备的成品率
什么是设计规则?考虑器件在正常工作的条件下,根据实际工艺水平(包括光刻特性、刻蚀能力、对准容差等)和成品率要求,给出的一组同一工艺层及不同工艺层之间几何尺寸的限制,主要包括线宽、间距、覆盖、露头、凹口、面积等规则,分别给出它们的最小值,以防止掩膜图形的断裂、连接和一些不良物理效应的出现。
对于双极型集成电路,是以引线孔为基准,尺寸规定如下(详细见图):
①引线孔的最小尺寸为2 ×2 。
②金属条的最小宽度为2 ,扩散区(包括基区、发射区和集电区)的最小宽度为2 ,
p+隔离框的最小宽度为2 .
③扩散区对引线孔各边留有的富裕量大于或等于1 ,埋层对基区各边应留有的富裕量大于或等于1 。
④除n+埋层与p+隔离槽间的最小间距应为4 外,其余的最小间距均为2 。这是因为p+的隔离扩散深度较深,故横向扩散也大,所以应留有较大富裕量。
①引线孔的最小尺寸为2 ×2 。
②金属条的最小宽度为2 ,扩散区(包括基区、发射区和集电区)的最小宽度为2 ,
p+隔离框的最小宽度为2 .
③扩散区对引线孔各边留有的富裕量大于或等于1 ,埋层对基区各边应留有的富裕量大于或等于1 。
④除n+埋层与p+隔离槽间的最小间距应为4 外,其余的最小间距均为2 。这是因为p+的隔离扩散深度较深,故横向扩散也大,所以应留有较大富裕量。
中速ttl电路版图设计规则(μm)
最小套刻间距 5
最小隔离槽宽度 10
元件与隔离槽最小间距 18
埋层与隔离槽最小间距 18
基区和集电极孔最小间距 5
最小发射极孔 8×8
最小基极孔宽 8
最小集电极孔宽 8
最小电阻条宽 10
电阻条间最小间距 7
最小电阻引线孔 8×8
铝条最小宽度(包括两边覆盖2μm) 10
长铝条最小间距 10
短铝条最小间距 5
键合点最小面积 100×100
两键合点最小间距 70
隔离槽外边界与键合点之间的最小间距 150
划片间距 400
ic设计与工艺制备之间的接口
制定目的:使芯片尺寸在尽可能小的前提下,避免线条宽度的偏差和不同层版套准偏差可能带来的问题,尽可能地提高电路制备的成品率
什么是设计规则?考虑器件在正常工作的条件下,根据实际工艺水平(包括光刻特性、刻蚀能力、对准容差等)和成品率要求,给出的一组同一工艺层及不同工艺层之间几何尺寸的限制,主要包括线宽、间距、覆盖、露头、凹口、面积等规则,分别给出它们的最小值,以防止掩膜图形的断裂、连接和一些不良物理效应的出现。
制定目的:使芯片尺寸在尽可能小的前提下,避免线条宽度的偏差和不同层版套准偏差可能带来的问题,尽可能地提高电路制备的成品率
什么是设计规则?考虑器件在正常工作的条件下,根据实际工艺水平(包括光刻特性、刻蚀能力、对准容差等)和成品率要求,给出的一组同一工艺层及不同工艺层之间几何尺寸的限制,主要包括线宽、间距、覆盖、露头、凹口、面积等规则,分别给出它们的最小值,以防止掩膜图形的断裂、连接和一些不良物理效应的出现。
对于双极型集成电路,是以引线孔为基准,尺寸规定如下(详细见图):
①引线孔的最小尺寸为2 ×2 。
②金属条的最小宽度为2 ,扩散区(包括基区、发射区和集电区)的最小宽度为2 ,
p+隔离框的最小宽度为2 .
③扩散区对引线孔各边留有的富裕量大于或等于1 ,埋层对基区各边应留有的富裕量大于或等于1 。
④除n+埋层与p+隔离槽间的最小间距应为4 外,其余的最小间距均为2 。这是因为p+的隔离扩散深度较深,故横向扩散也大,所以应留有较大富裕量。
①引线孔的最小尺寸为2 ×2 。
②金属条的最小宽度为2 ,扩散区(包括基区、发射区和集电区)的最小宽度为2 ,
p+隔离框的最小宽度为2 .
③扩散区对引线孔各边留有的富裕量大于或等于1 ,埋层对基区各边应留有的富裕量大于或等于1 。
④除n+埋层与p+隔离槽间的最小间距应为4 外,其余的最小间距均为2 。这是因为p+的隔离扩散深度较深,故横向扩散也大,所以应留有较大富裕量。
中速ttl电路版图设计规则(μm)
最小套刻间距 5
最小隔离槽宽度 10
元件与隔离槽最小间距 18
埋层与隔离槽最小间距 18
基区和集电极孔最小间距 5
最小发射极孔 8×8
最小基极孔宽 8
最小集电极孔宽 8
最小电阻条宽 10
电阻条间最小间距 7
最小电阻引线孔 8×8
铝条最小宽度(包括两边覆盖2μm) 10
长铝条最小间距 10
短铝条最小间距 5
键合点最小面积 100×100
两键合点最小间距 70
隔离槽外边界与键合点之间的最小间距 150
划片间距 400
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