集成电路的特殊工艺及结构
发布时间:2008/5/28 0:00:00 访问次数:437
内容: 1 典型pn结隔离工艺
1.1 pn结隔离工艺的工艺流程
1.2 典型pn结隔离的实现及埋层作用
1.3 pn结隔离结构形成的说 明
2
内容: 1 典型pn结隔离工艺 1.1 pn结隔离工艺的工艺流程 1.2 典型pn结隔离的实现及埋层作用 1.3 pn结隔离结构形成的说 明 2
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