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集成电路的特殊工艺及结构

发布时间:2008/5/28 0:00:00 访问次数:438

内容: 1 典型pn结隔离工艺

1.1 pn结隔离工艺的工艺流程

1.2 典型pn结隔离的实现及埋层作用

1.3 pn结隔离结构形成的说

2

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1.1 pn结隔离工艺的工艺流程

1.2 典型pn结隔离的实现及埋层作用

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