1前言

　　集成电路测试机的种类,若依照其测试功能一般可区分为logic测试机，memory测试机及mixed-signal测试机三大类。其中logic测试机应用于一般消费性ic，如voice，mcuic等测试使用，memory测试机应用于dram，flash，sram等ic测试使用，而mixed-signed测试机，则应用于mixed-signalic测试，如vedio，socic等测试使用。

　　虽然不同种类的ic测试机使用于不同类型的ic测试使用，但其最基本的测试功能及原理实际上差异性并不大，只是不同类型的测试机多了某些特别的测试功能罢了，其中以logic测试机之测试功能最为基本，故本文将以logic测试机之功能及使用作为ic测试机之介绍。logicic测试机之功能一般可区分为：ac测试部分，dc测试部分，电源供给部分。

　　（1）ac测试部分

　　该ac测试部分最主要的功能是将利用存放在localmemory的pattern，经由时序产生模块(timinggenerator)，波形格式模块(waveformformatter)及信号准位驱动模块（driver）产生给dutic所需要的输入信号。同时dutic输出的信号也经由信号准位比较模块(comparator)，时序产生模块（timinggenerator）及处理器（sequencer）和存放在localmemory的pattern比较(comparison)以测试该ic的输出信号是否正常。ac测试部分其模块如图1所示。

　　（2）dc测试部分

　　dc的测试是使用参数量测模块（parametermeasurementunit,pmu）来量测dutic有关该ic的漏电源，输出入工作电流/电压是否正常，pmu是一组可以提供电流源及电压源的电源供应器，同时也是一组具有可量测电流值及电压值的量测设备。pmu具有电流及电压限制功能，可让pmu所施予电流及电压值不会超过该电流及电压的限制值，以保护dutic不被施予的电流及电压烧掉。dc测试部分其模块如图2所示。

　　（3）电源供应部分

　　电源供给模块（devicepowersupply,dps）来供给dutic工作所需要的电源，并量测该ic的静态或动态电流是否正常。dps是一组可以提供电压源的电源供应器，同时也是一组具有可量测电流值的量测设备。dps具有电流限制功能，可让pmu所施予电流值不会超过该电流的限制值，以保护dutic不被施予的电流烧掉。电源供给部分其模块如图3所示。

　　2ic测试机的使用

　　ic测试机的使用包含有：测试图样编辑（testpattern），测试程序（testprogram）编写，测试程序除错，ic电气特性分析以及测试结果统计等主要项目。

　　（1）测试图样编辑

　　测试图样分为二部分，第一部分为控制指令（u-intrution）：控制测试图样的测试动作流程，其指令如：repeat，match，jump等，另一部分为：图样符号(patternsymbol)如0，1，l，h，z等。测试图样是用于ic功能ac测试使用，ic测试机的测试图样编辑功能提能供testpattern的显示，修改，贮存等功能。

　　（2）测试程序编写　

　　依照ic需要测试项目编写测试程序，程序编写可以利用图像(icon)拉图的方式编写，使用者只要在该测试图像中输入测试的参数就可以。此种使用方式对于测试程序编写较为容易。另一种是使用“指令”（command）方式编写测试程序，此种方式较为复杂，使用者需要熟记指令的语法，但对于特殊的ic测试应用，指令的使用则较拉图方式来得更有弹性且方便。

　　（3）时序图显示（logicwaveform）

　　该功能可以记录及显示ic测机输出信号的波形及dutic输出信号的波形，若dutic输出的信号和testpattern不一样该时序图显示功能也能显示出来。

　　（4）测试程序除错（debugging）

　　可以显示各种量测的结果,同时也让使用者直接修改测试参数，并可以立即量测。

　　（5）shmoo分析

　　可量测及分析ic的电气特性，使用者可以设定一个或多个测试参数的范围值后，再量测ic，以得知ic在某测试范围其功能会正常，在某测试范围会发生异常，如此就可以得知该ic的使用电气特性。

　　（6）测试结果（summaryreport）

　　ic测试机会将ic所测试的项目及测试值显示及记录下来，同时也会将ic依照测试程序的设定，将不同测试项目的结果给予分类及统计，以作为测试生产报表使用。

　　3总结

　　ic测试机除了给ic代工测试厂，作为ic测试使用之需要，同时也可以给ic设计公司，作为ic工程验证使用，它是十分方便且有用的设备，然而却发现ic测试的需要较高于ic测试机所能提供的测试功能，其原因不外乎是当ic有研发出来的新功能时，ic测试机才会要开始开始研发该部分的测试功能，故ic测试机总是无法完全满足使用ic功能的测试需要，因为如此，ic测试将提供给每位ic测试工程师及ic测试机制造厂一个很大的努力空间，最后期望于未来将有更多的优秀工程师能投入ic测试的领域，彼此相互研究及分享ic测试的经验，进而提高ic测试技术。