5个EUV光刻层替换15个光学光刻层从而减少了周期时间
发布时间:2024/2/21 19:33:49 访问次数:72
将EUV引入第二代7nm工艺的可能性，其极紫外光光刻机(extreme ultraviolet lithography: ，简称EUV光刻机)产能已经取得了较大的进步，目前已经将其电源功率提高到160W，助力7nm和5nm制造，而250瓦EUV也已经安装到位。
7c比较容易实现，不会造成面积缩小，所以不需要重新设计，7c中使用5个EUV光刻层替换15个光学光刻层，从而减少了周期时间，EPE和来改善循环时间，EPE和电气分布特性也得到了改善。
高吞吐能力的EUV工具-在某种程度上，确定的功耗和吞吐量是不变的。ASML的机器有多个旋钮可以调整吞吐能力，他们现在正在尽最大努力提高吞吐能力和机器运行时间。他们现在出货的NXE3400b应该满足这个要求。
当人体触及漏电的电气设各的外壳时,因金属外壳已与大地作良好的连接.其接地电阻较之人体电阻小很多(在低压系统中,当电源容量小于100kV・A时,接地电阻不应超过10Ω;当电源容量大于100kV・A时,接地电阻不应超过4Ω),则漏电电流几乎全部流经接地线,从而保证了人身安全。
在接地系统中,采用保护接地是不能起到防护作用的,必须采用保护接零,此时所构成的系统称为TN系统(T表示电网中性点直接接地,N表示电气设各的金属外壳接零线)。
基于电磁感应原理的电流钳与互感器一样，铁芯被分成两部分，闭合时两部分铁芯需要紧密结合，有些电流钳次级连接了电阻输出为电压信号，没有内部电阻的输出为电流信号，这也是为什么有些厂家同一个型号的电流钳有电流和电压输出两种类型，最典型的就是法国CA的C117和C116。
受到两部分铁芯闭合程度的影响，电流钳精度通常比互感器差一些。同样地基于电磁感应的电流钳也只能测量交流。
将EUV引入第二代7nm工艺的可能性，其极紫外光光刻机(extreme ultraviolet lithography: ，简称EUV光刻机)产能已经取得了较大的进步，目前已经将其电源功率提高到160W，助力7nm和5nm制造，而250瓦EUV也已经安装到位。
7c比较容易实现，不会造成面积缩小，所以不需要重新设计，7c中使用5个EUV光刻层替换15个光学光刻层，从而减少了周期时间，EPE和来改善循环时间，EPE和电气分布特性也得到了改善。
高吞吐能力的EUV工具-在某种程度上，确定的功耗和吞吐量是不变的。ASML的机器有多个旋钮可以调整吞吐能力，他们现在正在尽最大努力提高吞吐能力和机器运行时间。他们现在出货的NXE3400b应该满足这个要求。
当人体触及漏电的电气设各的外壳时,因金属外壳已与大地作良好的连接.其接地电阻较之人体电阻小很多(在低压系统中,当电源容量小于100kV・A时,接地电阻不应超过10Ω;当电源容量大于100kV・A时,接地电阻不应超过4Ω),则漏电电流几乎全部流经接地线,从而保证了人身安全。
在接地系统中,采用保护接地是不能起到防护作用的,必须采用保护接零,此时所构成的系统称为TN系统(T表示电网中性点直接接地,N表示电气设各的金属外壳接零线)。
基于电磁感应原理的电流钳与互感器一样，铁芯被分成两部分，闭合时两部分铁芯需要紧密结合，有些电流钳次级连接了电阻输出为电压信号，没有内部电阻的输出为电流信号，这也是为什么有些厂家同一个型号的电流钳有电流和电压输出两种类型，最典型的就是法国CA的C117和C116。
受到两部分铁芯闭合程度的影响，电流钳精度通常比互感器差一些。同样地基于电磁感应的电流钳也只能测量交流。
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