100Ω/单位单层薄膜电阻材料用简单几何图形可以制作高性能射频电阻
发布时间:2024/2/7 22:50:17 访问次数:50
一个典型的移动电话产品中射频和基带的需要,就要能制作1pF~100nF范围的电容。
集成无源技术虽然只能提供 0.25pF~500pF范围的电容值,但仍能满足典型的射频 IPD、单功能射频模块和完整的射频模块子系统的所有要求。
必须特别注意的是,在设计这些集成无源 MIM 结构电容时,要确保极低的电极串联电阻和最小的对地寄生电容。这些电容元件具有很小的固有寄生电感。这些元件的结构和工艺都须经过专门设计,以确保达到规定的击穿电压(通常保证最低50V的直流电压)。
薄膜电阻材料主要是根据它们的电阻率、工艺的兼容性和电阻的温度系数(TCR)来选定的。通常还要求在加负载情况下性能稳定性优于0.5%。
在温度变化时,相邻电阻器的跟踪精度与匹配精度均优于0.5%。有代表性的集成无源薄膜电阻材料的特性。
在通常的移动电话产品中,电感元件只占元件总数的不到10%,电感值在1~100nH范围里,但是它们对总的射频性能有很重要的影响。
氮化钽也许是薄膜集成无源技术中使用最广泛的电阻材料,因为它为100Ω/单位的薄膜电阻提供了合理的厚度和很低的温度系数。
这种材料还可用干法工艺刻蚀,能制备高精度的几何图形。这些薄膜电阻一般在整个工艺流程前期制作,通常直接制作在基本衬底表面,以求达到最优的图形制作精度,并有利于加负载情况下的散热。
一个典型的移动电话产品中射频和基带的需要,就要能制作1pF~100nF范围的电容。
集成无源技术虽然只能提供 0.25pF~500pF范围的电容值,但仍能满足典型的射频 IPD、单功能射频模块和完整的射频模块子系统的所有要求。
必须特别注意的是,在设计这些集成无源 MIM 结构电容时,要确保极低的电极串联电阻和最小的对地寄生电容。这些电容元件具有很小的固有寄生电感。这些元件的结构和工艺都须经过专门设计,以确保达到规定的击穿电压(通常保证最低50V的直流电压)。
薄膜电阻材料主要是根据它们的电阻率、工艺的兼容性和电阻的温度系数(TCR)来选定的。通常还要求在加负载情况下性能稳定性优于0.5%。
在温度变化时,相邻电阻器的跟踪精度与匹配精度均优于0.5%。有代表性的集成无源薄膜电阻材料的特性。
在通常的移动电话产品中,电感元件只占元件总数的不到10%,电感值在1~100nH范围里,但是它们对总的射频性能有很重要的影响。
氮化钽也许是薄膜集成无源技术中使用最广泛的电阻材料,因为它为100Ω/单位的薄膜电阻提供了合理的厚度和很低的温度系数。
这种材料还可用干法工艺刻蚀,能制备高精度的几何图形。这些薄膜电阻一般在整个工艺流程前期制作,通常直接制作在基本衬底表面,以求达到最优的图形制作精度,并有利于加负载情况下的散热。