在互连金属AlsCu/TiN/结构上,第一层的沉积,通常采用磁控DC溅射,使用的气体是氩,沉积厚度在200~500A之间,接下来第二层作为阻挡层之间的N,其制作方法是将一定厚度的,先以磁控DC溅射,沉积在衬底的表面,然后再将衬底置于含N2或NH3的环境中,借高温将这层⒎氮化成TiN。

另一种沉积TN方法是反应溅射,金属靶成分,利用氮气与氩气所混合的反应气体,经离子轰击而溅射出的,与等离子内因解离反应形成的氮原子一起,成TiN并沉积在衬底的表面。

三相异步电动机维护，常见故障及修理，电动机起动前的准各及检查，新的或长期不用电动机的检查。

通常TN厚度为500~1500A之间。

N除了可以作为阻挡层用以外,在钨塞工艺中,还可以用来作为钨回蚀时的刻蚀的中止层。另外,为了防止金属表面的反光对光刻胶曝光的影响,还可以用来作为铝层的防反射层。

电动机的定子绕组是二相异步电动机的电路部分,由二相对称绕组组成,二个绕组按一定的空间角度依次嵌放在定子槽内。二相绕组的首端分别用U1(D1)、V1(D2)、Wl(D3)表示。

检查铭牌检查铭牌所示电压、频率、接法与电源电压等是否相符,接法是否正确。

绝缘电阻每1kV工作电压不得小于1MQ,通常对500Ⅴ以下电动机用500V兆欧表测量,对500~3000v电动机用1000Ⅴ兆欧表测量,对3000Ⅴ以上电动机用2500V兆欧表测量。一般,三相380Ⅴ电动机的绝缘电阻大于0.5MΩ方可使用。

传统的阻挡层金属对铜的阻挡作用不够好,铜需要由一层薄膜阻挡层完全封装起来, EL5372IU这层封装薄膜的作用是加固附着并有效地阻止扩散。

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