电流对人体的伤害极易造成死亡等严重后果,这就要求我们在供电、用电的过程中,操作和工作人员需要格外注意用电安全,不可麻痹疏忽。

电工安全用电常识，电工的日常工作作业总离不升同“电”相关的内容,而“电”像空气一样无色无味,也看不见摸不到,同时还伴有触电的危险,这就要求需要掌握一些切实有用的电工安全用电常识,在生活和工作中注意用电安全问题,切实保护好自身生命安全。

用两个质量流量计控制气体流量,可实现气体的准确混合,提高工艺重复性。可外接4种气体(如Ar、O2、N2等)。

设备特性与技术指标如下:

采用机械泵/分子泵组成的真空系统,真空室基压可达3×101Pa。

溅射电源共有两种:射频电源1500W,频率13.56MHz;直流电源⒛00W,电源功率可调。

淀积室有3个靶座,可同时溅射三种材料,可形成多层复合膜或实现金属共溅射。

衬底可以是2~4英寸圆片,衬底支架能够旋转,这不仅可以提高溅射薄膜的均匀性,也可以抑制衬底温升。

可用于各种材料的薄膜的淀积,如Au、Ag、Pt、W、Mo、Ta、Tl、Al、⒏、ITO等,特别适合于用光刻剥离技术制备各种难腐蚀金属如Au、Pt、Ta的亚微米薄膜图形。

将非平衡磁控溅射与射频电感耦合等离子体(ICP)增强电离技术结合起来,形成一种高效、高电离度的淀积技术。

应用这种技术可使所溅射铜原子的电离度达到95%,定向控制铜离子流,使其有效填充接触孔,从而实现通过溅射直接形成铜互连层的淀积。

将这个数值定为36Ⅴ,但是在安全电压下工作时触电,如果不及时处理,长时间触电也容易产生严重后果,比如由于触电刺激容易引起高空坠落、摔伤等二次性伤亡事故。

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