电子束光刻无须使用产生图形的掩模版或放大掩模版。因为不用掩模版，一些由掩模版或放大掩模版曝光引起的缺陷和错误源被去除r。

电子束开关和导向由计算机来控制,计算机中存有直接来自计算机辅助设计( CAD)设计阶段晶圆图形。

光栅式扫描的缺点是费时，因为电子束要扫描整个晶圆表面。

而矢量式扫描曝光，电子束直接移到需要曝光的地方，在每一个需要曝光的地方，曝出一个个小的矩形或长方形，直到需要的图形曝光完成。

充电曲线开始对电瓶充电时/'采用恒流充电,充电电流在1C左右,以保证放电后电瓶能在1h左右内充足。

如波音57飞机主电瓶和APU电瓶为们Ah,恒流充电时充电电流为38A。波音737-800电瓶为48 Ah,恒流充电时充电电流为50A。

转折电压值随电瓶型号和温度的不同而不同,一般在室温下的转折值为31.4Ⅴ,当温度降低时,转折电压值升高。转折电压值由电瓶充电器根据电瓶温度计算得出。

这项工作很复杂，曝光必须在真空中进行，以防止空气分子对电子束的干扰。

电子束通过一组静电板然后到达掩模版、放大掩模版或晶圆,这组静电板的作用是调节电子束方向（在x-y方向）。它们的功能和电视机的电子束导向机理类似。为保证电子束精确到达晶片或掩模版，电子束源、相应的机械装置和要被曝光的衬底都在真空环境中。

当离合器脱开时,蜗杆不再被驱动,但还在离心力作用下继续旋转很短时间,使得离合器能够完全脱开。

在脱开之后,可以在ECAM或EICAS显示器上检查结果,发电机的输出电压和频率显,这时恒装可能已经损坏。