在新光罩质量控制和芯片生产过程中光罩合格性重新检定方面
发布时间:2023/8/3 22:54:09 访问次数:71
显示器为实现更鲜明的画质，改变了大尺寸有机发光二极体(OLED)面板生产制程使用的白光OLED(WOLED)有机材料发光层结构。制程难度虽然提升，但并未增加生产制程时间和成本。
大尺寸OLED面板，将不使用混合红色(R)、绿色(G)的黄色(Y)材料，改用垂直堆叠R、G、蓝色(B)的方式。显示器先使用黄、绿、蓝光材料，形成白光后，再于其上铺设彩色滤光片，以实现各种色彩。
黄色材料是由红色与绿色混合而成，是除R、G、B之外，为实现天然色彩而使用的发光材料。显示器采用的是形成蓝色层和黄色层垂直堆叠的“2 Stack”结构。
Teron光罩检测平台之上，通过采用193纳米光源和双成像模式,Teron 640支持先进的光学光罩检测。
此外，Teron 640还增强了先进的芯片-数据库检测算法，以进一步提高缺陷灵敏度，并提供新的更高产能选项，以缩短获取结果的时间。多套Teron 640光罩检测系统已经安装在晶圆代工厂和逻辑电路工厂中，用于高性能光罩的质量控制。
Teron SL655的核心技术STARlightGOLD能够在新光罩质量检查时从光罩生成黄金参考，然后使用此参考进行光罩合格性的重新检测。
这种独特的技术实现了全域光罩覆盖，并且创造出最佳的缺陷检测率，例如雾点生长或污染，籍此支持包括采用高度复杂的光学邻近技术在内的各种光罩类型。Teron SL655拥有业界领先的产能，支持更快的生产周期和检测更多数量的光罩，满足先进的多图案技术光罩技术。
此外，Teron SL655与超紫外线 检测技术兼容，能够与集成电路制造商及早协作，满足晶圆厂对EUV光罩的要求。在新光罩质量控制和芯片生产过程中的光罩合格性重新检定方面，Teron SL655系统正在接受集成电路制造商的评估。
隔板辅助四层成像,采用越来越复杂的光罩，这使得检验光罩质量并保持光罩状况对实现最佳的晶圆图案成像至关重要。
深圳市慈安科技有限公司http://cakj.51dzw.com
显示器为实现更鲜明的画质，改变了大尺寸有机发光二极体(OLED)面板生产制程使用的白光OLED(WOLED)有机材料发光层结构。制程难度虽然提升，但并未增加生产制程时间和成本。
大尺寸OLED面板，将不使用混合红色(R)、绿色(G)的黄色(Y)材料，改用垂直堆叠R、G、蓝色(B)的方式。显示器先使用黄、绿、蓝光材料，形成白光后，再于其上铺设彩色滤光片，以实现各种色彩。
黄色材料是由红色与绿色混合而成，是除R、G、B之外，为实现天然色彩而使用的发光材料。显示器采用的是形成蓝色层和黄色层垂直堆叠的“2 Stack”结构。
Teron光罩检测平台之上，通过采用193纳米光源和双成像模式,Teron 640支持先进的光学光罩检测。
此外，Teron 640还增强了先进的芯片-数据库检测算法，以进一步提高缺陷灵敏度，并提供新的更高产能选项，以缩短获取结果的时间。多套Teron 640光罩检测系统已经安装在晶圆代工厂和逻辑电路工厂中，用于高性能光罩的质量控制。
Teron SL655的核心技术STARlightGOLD能够在新光罩质量检查时从光罩生成黄金参考，然后使用此参考进行光罩合格性的重新检测。
这种独特的技术实现了全域光罩覆盖，并且创造出最佳的缺陷检测率，例如雾点生长或污染，籍此支持包括采用高度复杂的光学邻近技术在内的各种光罩类型。Teron SL655拥有业界领先的产能，支持更快的生产周期和检测更多数量的光罩，满足先进的多图案技术光罩技术。
此外，Teron SL655与超紫外线 检测技术兼容，能够与集成电路制造商及早协作，满足晶圆厂对EUV光罩的要求。在新光罩质量控制和芯片生产过程中的光罩合格性重新检定方面，Teron SL655系统正在接受集成电路制造商的评估。
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