STARlightGold™技术帮助集成电路制造商评估新光罩的质量
发布时间:2023/8/3 22:48:29 访问次数:198
三款先进的光罩检测系统，Teron™640、Teron™SL655和光罩决策中心(RDC)。
所有这三套系统是实现当前和下一代掩膜设计的关键，使得光罩厂和集成电路晶圆厂能够更高效地辨识光刻中显著并严重损害成品率的缺陷。
利用创新的双重成像技术，Teron 640检测系统为光罩厂提供了必要的灵敏度，对先进的光罩进行准确的品质检验。
Teron SL655检测系统采用全新的STARlightGold™技术，帮助集成电路制造商评估新光罩的质量，监测光罩退化，并检测对成品率至关重要的光罩缺陷。
设计能够在802.11无线网络范围内产生高品质发送信号，同时放大噪声因数低至2.5dB的接收信号，从而产生尽可能最高的数据速率。
通过将Teron 640和Teron SL655生成的大量数据与RDC的评估功能紧密结合，光罩厂和集成电路晶圆厂能够更高效地辨识光刻中显著的光罩缺陷，从而改善光罩的质量控制，并获得更好的产品图案成像。
Teron检测机台的综合光罩质量测量是由光罩决策中心(RDC)所支持的，RDC 是一套数据分析与管理系统，具备多种功能，支持缺陷的自动识别判断，缩短生产周期，并减少影响成品率的与光罩相关的掩模图案错误。
放大器的典型发射增益水平为20~23dB，增益平坦度为±0.5 dB。另一个重要特性是发送（Tx）和接收（RX）状态之间的快速切换能力（1μs，典型值）。
Fairview的全新同轴封装双向放大器系列非常独特，具有快速的Tx与Rx切换功能，传输距离远，能高效运行，符合双路通信系统工程师和设计者的期望。
深圳市慈安科技有限公司http://cakj.51dzw.com
三款先进的光罩检测系统，Teron™640、Teron™SL655和光罩决策中心(RDC)。
所有这三套系统是实现当前和下一代掩膜设计的关键，使得光罩厂和集成电路晶圆厂能够更高效地辨识光刻中显著并严重损害成品率的缺陷。
利用创新的双重成像技术，Teron 640检测系统为光罩厂提供了必要的灵敏度，对先进的光罩进行准确的品质检验。
Teron SL655检测系统采用全新的STARlightGold™技术，帮助集成电路制造商评估新光罩的质量，监测光罩退化，并检测对成品率至关重要的光罩缺陷。
设计能够在802.11无线网络范围内产生高品质发送信号，同时放大噪声因数低至2.5dB的接收信号，从而产生尽可能最高的数据速率。
通过将Teron 640和Teron SL655生成的大量数据与RDC的评估功能紧密结合，光罩厂和集成电路晶圆厂能够更高效地辨识光刻中显著的光罩缺陷，从而改善光罩的质量控制，并获得更好的产品图案成像。
Teron检测机台的综合光罩质量测量是由光罩决策中心(RDC)所支持的，RDC 是一套数据分析与管理系统，具备多种功能，支持缺陷的自动识别判断，缩短生产周期，并减少影响成品率的与光罩相关的掩模图案错误。
放大器的典型发射增益水平为20~23dB，增益平坦度为±0.5 dB。另一个重要特性是发送（Tx）和接收（RX）状态之间的快速切换能力（1μs，典型值）。
Fairview的全新同轴封装双向放大器系列非常独特，具有快速的Tx与Rx切换功能，传输距离远，能高效运行，符合双路通信系统工程师和设计者的期望。
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