Owens的200/300mm晶圆处理方案新增加热冷却模块
发布时间:2007/9/5 0:00:00 访问次数:312
Owens Design公司的定制晶圆处理方案中新增了晶圆加热冷却模块。该模块专为200/300mm晶圆而设计，与BOLTS兼容，可简单地集成到标准晶圆处理自动化工艺中。它使用阻性加热元件，不足15秒即可将晶圆加热到450℃，之后，又能迅速将其冷却，安全返回到FOUP。测试数据表明，该系统具有良好的温度一致性，金属和后部污染极低。
（转自 国际电子商情）
Owens Design公司的定制晶圆处理方案中新增了晶圆加热冷却模块。该模块专为200/300mm晶圆而设计，与BOLTS兼容，可简单地集成到标准晶圆处理自动化工艺中。它使用阻性加热元件，不足15秒即可将晶圆加热到450℃，之后，又能迅速将其冷却，安全返回到FOUP。测试数据表明，该系统具有良好的温度一致性，金属和后部污染极低。
（转自 国际电子商情）
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