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浪涌电压全环路DRAM结构的单个器件进行了电气分析

发布时间:2021/8/31 0:44:29 访问次数:199

埋入式字线的DRAM单元中,晶体管通道位于鳍片中部附近,这里的形状扭曲要比鳍片顶部严重。在这种情况下,受侧壁钝化的影响,该通道下方的鳍片CD也要大很多。

为评估AA形状扭曲对器件性能的影响,我们用SEMulator3D建模了0.1、2.5和5度的侧壁裂角以模拟不同程度的AA扭曲,并使用来自全环路DRAM结构的单个器件进行了电气分析

通过SEMulator3D分配电端口(源极、漏极、栅极和衬底)即可获得电气测量值,之后使用SEMulator3D内置漂移/扩散求解器即可计算不同程度AA扭曲可能导致的电气性能变化。

制造商:Xilinx产品种类:FPGA - 现场可编程门阵列RoHS:产品:Virtex-5系列:XC5VFX130T逻辑元件数量:131072 LE自适应逻辑模块 - ALM:20480 ALM嵌入式内存:10.48 Mbit输入/输出端数量:840 I/O工作电源电压:1 V最小工作温度:- 40 C最大工作温度:+ 100 C安装风格:SMD/SMT封装 / 箱体:FCBGA-1738数据速率:6.5 Gb/s商标:Xilinx分布式RAM:1580 kbit内嵌式块RAM - EBR:10728 kbit最大工作频率:550 MHz湿度敏感性:Yes逻辑数组块数量——LAB:10240 LAB收发器数量:20 Transceiver产品类型:FPGA - Field Programmable Gate Array工厂包装数量:1子类别:Programmable Logic ICs商标名:Virtex

通过这种建模技术,我们可以创建DRAM器件的3D模型并模拟出AA形状扭曲现象。通过SEMulator3D模拟的DRAM 3D结构和平面图、布局设计和图形相关掩膜。

通过对比可以看出,AA扭曲形态是类似的,这证明模型能正确反映实际制造结果。不同鳍片高度的AA剖面图,从中可以看出结构底部的扭曲幅度要远高于器件顶部的扭曲。

当线路上出现浪涌电压时,浪涌抑制器就会起作用,把浪涌能量旁路到大地,浪涌电流(可达几千安培)就会在地线上产生电压,这种电压可以很高,甚至会达到干扰数字电路的程度。

(素材来源:eccn和ttic.如涉版权请联系删除。特别感谢)

埋入式字线的DRAM单元中,晶体管通道位于鳍片中部附近,这里的形状扭曲要比鳍片顶部严重。在这种情况下,受侧壁钝化的影响,该通道下方的鳍片CD也要大很多。

为评估AA形状扭曲对器件性能的影响,我们用SEMulator3D建模了0.1、2.5和5度的侧壁裂角以模拟不同程度的AA扭曲,并使用来自全环路DRAM结构的单个器件进行了电气分析

通过SEMulator3D分配电端口(源极、漏极、栅极和衬底)即可获得电气测量值,之后使用SEMulator3D内置漂移/扩散求解器即可计算不同程度AA扭曲可能导致的电气性能变化。

制造商:Xilinx产品种类:FPGA - 现场可编程门阵列RoHS:产品:Virtex-5系列:XC5VFX130T逻辑元件数量:131072 LE自适应逻辑模块 - ALM:20480 ALM嵌入式内存:10.48 Mbit输入/输出端数量:840 I/O工作电源电压:1 V最小工作温度:- 40 C最大工作温度:+ 100 C安装风格:SMD/SMT封装 / 箱体:FCBGA-1738数据速率:6.5 Gb/s商标:Xilinx分布式RAM:1580 kbit内嵌式块RAM - EBR:10728 kbit最大工作频率:550 MHz湿度敏感性:Yes逻辑数组块数量——LAB:10240 LAB收发器数量:20 Transceiver产品类型:FPGA - Field Programmable Gate Array工厂包装数量:1子类别:Programmable Logic ICs商标名:Virtex

通过这种建模技术,我们可以创建DRAM器件的3D模型并模拟出AA形状扭曲现象。通过SEMulator3D模拟的DRAM 3D结构和平面图、布局设计和图形相关掩膜。

通过对比可以看出,AA扭曲形态是类似的,这证明模型能正确反映实际制造结果。不同鳍片高度的AA剖面图,从中可以看出结构底部的扭曲幅度要远高于器件顶部的扭曲。

当线路上出现浪涌电压时,浪涌抑制器就会起作用,把浪涌能量旁路到大地,浪涌电流(可达几千安培)就会在地线上产生电压,这种电压可以很高,甚至会达到干扰数字电路的程度。

(素材来源:eccn和ttic.如涉版权请联系删除。特别感谢)

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