边缘设备快速上链电感耦合等离子体(ICP)重复性的控制
发布时间:2021/5/28 18:16:11 访问次数:434
整合数字签名功能与区块链技术的“InnoBTS™ SSD”（Blockchain Technology Storage）解决方案，进一步强化智能物联设备的数据正确性与最高等级保护。
区块链InnoBTS™ SSD解决方案，以专利技术将区块链的数字签名与数据上链功能，成功整合至单一存储载体中，大大简化了系统配置，提供轻松的区块链布建，并在智能物联时代，帮助大规模的边缘设备快速上链，扩大区块链网络应用。
透过区块链分散账本的特性，确保数据正确性与高度完整性，将特别适用于如智慧电表，智能无人商店，数字身份辨识等各种物联应用。
新一代电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo Twin-Star®，用于IC器件前道和后道制程导电/电介质膜的刻蚀应用。
单台反应器的电感耦合等离子体（ICP）刻蚀技术和双台反应器的Primo平台，Primo Twin-Star®为电介质前道/后道制程、多晶硅刻蚀、DTI和BSI刻蚀等提供了高性价比的刻蚀解决方案。
它的创新设计包括：Primo Twin-Star®使用了双反应台腔体设计和低电容耦合3D线圈设计，创新的反应腔设计可最大程度减弱非中心对称抽气口效应，通过采用多区温控静电吸盘（ESC）增强了对关键尺寸均匀性和重复性的控制。
(素材来源：ttic和eccn.如涉版权请联系删除。特别感谢）
整合数字签名功能与区块链技术的“InnoBTS™ SSD”（Blockchain Technology Storage）解决方案，进一步强化智能物联设备的数据正确性与最高等级保护。
区块链InnoBTS™ SSD解决方案，以专利技术将区块链的数字签名与数据上链功能，成功整合至单一存储载体中，大大简化了系统配置，提供轻松的区块链布建，并在智能物联时代，帮助大规模的边缘设备快速上链，扩大区块链网络应用。
透过区块链分散账本的特性，确保数据正确性与高度完整性，将特别适用于如智慧电表，智能无人商店，数字身份辨识等各种物联应用。
新一代电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo Twin-Star®，用于IC器件前道和后道制程导电/电介质膜的刻蚀应用。
单台反应器的电感耦合等离子体（ICP）刻蚀技术和双台反应器的Primo平台，Primo Twin-Star®为电介质前道/后道制程、多晶硅刻蚀、DTI和BSI刻蚀等提供了高性价比的刻蚀解决方案。
它的创新设计包括：Primo Twin-Star®使用了双反应台腔体设计和低电容耦合3D线圈设计，创新的反应腔设计可最大程度减弱非中心对称抽气口效应，通过采用多区温控静电吸盘（ESC）增强了对关键尺寸均匀性和重复性的控制。
(素材来源：ttic和eccn.如涉版权请联系删除。特别感谢）
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