温控静电吸盘(ESC)增强对关键尺寸均匀性和重复性的控制
发布时间:2021/4/19 19:23:16 访问次数:1251
Primo Twin-Star®使用了双反应台腔体设计和低电容耦合3D线圈设计，创新的反应腔设计可最大程度减弱非中心对称抽气口效应，通过采用多区温控静电吸盘（ESC）增强了对关键尺寸均匀性和重复性的控制。
凭借这些优异的性能和其他特性，与其他同类设备相比，Primo Twin-Star® 以更小的占地面积、更低的生产成本和更高的输出效率，进行ICP适用的逻辑和存储芯片的介质和导体的各种刻蚀应用，并用于功率器件和CMOS图像传感器（CIS）的刻蚀应用。
Longsys DDR5内存进一步减少了信号脉冲的反射干扰效应，让信号传输更加纯净。
DDR5内存使Bank Group的数量增加了一倍，并且每个Group的Bank数量保持不变。Longsys DDR5 BG提供更少的访问延迟，加倍提高了系统的整体效率，允许更多页面同时被打开。
由于Primo Twin-Star®反应器在很多方面采取了和单台机Primo nanova®相同或相似的设计，在众多的刻蚀应用中，Primo Twin-Star®显示了和单台反应器相同的刻蚀结果。
这就给客户提供了高质量、高输出和低成本的解决方案。
(素材来源：ttic和eccn.如涉版权请联系删除。特别感谢）
Primo Twin-Star®使用了双反应台腔体设计和低电容耦合3D线圈设计，创新的反应腔设计可最大程度减弱非中心对称抽气口效应，通过采用多区温控静电吸盘（ESC）增强了对关键尺寸均匀性和重复性的控制。
凭借这些优异的性能和其他特性，与其他同类设备相比，Primo Twin-Star® 以更小的占地面积、更低的生产成本和更高的输出效率，进行ICP适用的逻辑和存储芯片的介质和导体的各种刻蚀应用，并用于功率器件和CMOS图像传感器（CIS）的刻蚀应用。
Longsys DDR5内存进一步减少了信号脉冲的反射干扰效应，让信号传输更加纯净。
DDR5内存使Bank Group的数量增加了一倍，并且每个Group的Bank数量保持不变。Longsys DDR5 BG提供更少的访问延迟，加倍提高了系统的整体效率，允许更多页面同时被打开。
由于Primo Twin-Star®反应器在很多方面采取了和单台机Primo nanova®相同或相似的设计，在众多的刻蚀应用中，Primo Twin-Star®显示了和单台反应器相同的刻蚀结果。
这就给客户提供了高质量、高输出和低成本的解决方案。
(素材来源：ttic和eccn.如涉版权请联系删除。特别感谢）
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